冷等離子體改性設(shè)備PART1.

真空冷凍干燥機(jī)工作原理用途操作步驟操作中注意事項(xiàng)操作中的異常情況及處理方法1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理等離子體

(中文)=PLASMA(英文)=電漿(臺灣)等離子體的發(fā)現(xiàn):1879、英國物理學(xué)家、WilliamCrookes----物質(zhì)第四狀態(tài)1929、美國化學(xué)物理學(xué)家、Langmuir----等離子體等離子體定義：部分或是全部電離的氣體；主要包括：電子、離子、中性基團(tuán)、分子、光子1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理等離子體成分,對外呈現(xiàn)電中性物質(zhì)的第四種形態(tài)1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理在減壓（1.33~1330Pa）和高頻電場下發(fā)生輝光放電，少量氣體分子被電離產(chǎn)生高溫電子，穿梭在常溫或接近常溫的氣體中發(fā)生碰撞，此時電子溫度高達(dá)104~105K，而氣體的離子和分子的溫度與環(huán)境相同，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于電子的溫度，這種非平衡體系稱為冷等離子體。非平衡性對等離子體化學(xué)與工藝過程非常重要。這意味著：一方面電子有足夠高的能量使反應(yīng)物分子激發(fā)、離解和電離；另一方面反應(yīng)體系又得以保持低溫乃至接近室溫。1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的組成示意圖：真空反應(yīng)室。真空系統(tǒng)及測量設(shè)備。充氣系統(tǒng)及流量測量設(shè)備。放電系統(tǒng)和射頻電源。設(shè)備電路控制系統(tǒng)。1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理冷等離子體改性設(shè)備的結(jié)構(gòu)真空反應(yīng)室電阻真空計射頻電源射頻調(diào)節(jié)裝置轉(zhuǎn)子流量計及真空調(diào)節(jié)定時器（蜂鳴）真空泵啟動/關(guān)停按鈕真空泵真空泵及卡箍的結(jié)構(gòu)1.1冷等離子體改性設(shè)備的工作原理1.2冷等離子體改性設(shè)備的用途ApplicationApplicationforUs1.2冷等離子體改性設(shè)備的用途ApplicationforUs1.2冷等離子體改性設(shè)備的用途HydrophobicModification1.2冷等離子體改性設(shè)備的用途HydrophobicModification1.2冷等離子體改性設(shè)備的用途1.3操作步驟（FromInstruction）1.3操作步驟（FromInstruction）1.3操作步驟（OurExperience）開電源，打開總開關(guān)。將樣品放置在真空反應(yīng)室，將裝有改性劑的具塞單口燒瓶與設(shè)備單體入口連接。1.3操作步驟（OurExperience）確認(rèn)各外接氣閥為關(guān)閉狀態(tài)（包括活塞）；檢查密封圈完好且無雜物的前提下，罩上反應(yīng)室金屬面罩；打開真空計、真空泵；等待真空度下降至實(shí)驗(yàn)所需的要求，并確保真空泵運(yùn)行過程中無異響。1.3操作步驟（OurExperience）按Uf燈預(yù)熱電極（完畢后Ua綠燈亮）；旋開單體瓶活塞；按下板壓開關(guān)綠色按鈕（Ua綠燈）；1.3操作步驟（OurExperience）緩緩調(diào)節(jié)Ua功率調(diào)節(jié)按扭，觀察功率計，把功率調(diào)至真空室氣體起輝，然后反復(fù)調(diào)節(jié)匹配電容C1和C2，直至反射功率最小（切忌反射功率太大，否則易壞元器件）。1.3操作步驟（OurExperience）按下計時器開關(guān)綠色按鈕，計時器開始計時。（實(shí)驗(yàn)前，必須預(yù)先設(shè)定好工作時間）1.3操作步驟（OurExperience）工作時間到，計時器報警。逆時針調(diào)節(jié)板壓電位器旋鈕Ua到最低位置。按下板壓開關(guān)紅色按鈕切斷板壓電源，再按下橙色燈絲按鈕。（如果連續(xù)工作不必關(guān)閉橙色燈絲按鈕）關(guān)閉真空。打開放氣閥門，緩慢放氣，當(dāng)反應(yīng)室內(nèi)處于大氣壓后，再打開反應(yīng)室蓋板，取出實(shí)驗(yàn)樣品。1.4操作中注意事項(xiàng)實(shí)驗(yàn)過程中注意做好防毒措施，盡量在有人知曉的情況下完成實(shí)驗(yàn)，處理后的工件不可用手觸摸。氣氛置換時必須對腔體充氣5～10分鐘，清除置換前的殘留氣體。射頻源的操作和氣源供給的操作必須由二人同時完成，不可一人單獨(dú)操作。設(shè)備不工作時，真空室必須保持真空狀態(tài)（每隔一周抽真空到本底）。設(shè)備放置場所必須保持清潔，不可掃出浮塵。真空室內(nèi)不可放置金屬工件（除電極外）。為防止功率計表頭損壞，實(shí)驗(yàn)開始時必須使功率計量程Pf位于2000檔，然后再根據(jù)實(shí)驗(yàn)實(shí)際工作量程換檔。真空泵的使用請按規(guī)執(zhí)行。1.5操作中的異常情況及處理方法真空度達(dá)不到正常工作要求檢查真空泵與主機(jī)之間連接，卡箍是否正確卡緊。檢查有機(jī)玻璃罩下端平面是否清潔