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犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２４４６９—２００９

電子工業(yè)用氣體５犖氯化氫

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２００９１０１５發(fā)布２００９１２０１實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２４４６９—２００９

前言

本標準根據ＧＢ／Ｔ１４６０２—１９９３《電子工業(yè)用氣體氯化氫》同類產品標準，結合原料、生產工藝特

點及半導體工藝對氯化氫產品的新要求而制定。國家標準ＧＢ／Ｔ１４６０２—１９９３《電子工業(yè)用氣體氯

化氫》在產品質量控制指標及其檢驗方法上已不適合當前半導體工藝的新要求，尤其未能規(guī)定對半導體

器件質量有重要影響的雜質———金屬離子的含量。因此，需要制定本標準。

本標準對雜質水、甲烷＋乙炔和金屬離子含量的測定方法與國際先進標準ＳＥＭＩＣ３．３５１１０１的方

法基本相似，而對雜質氧＋氬、氮和一氧化碳、二氧化碳含量的測定方法則優(yōu)于標準ＳＥＭＩＣ３．３５１１０１

的方法。

本標準首次提出了氯化氫專用鋼瓶的處理、產品充裝和分裝規(guī)則等。

本標準附錄Ａ、附錄Ｂ為規(guī)范性附錄，附錄Ｃ為資料性附錄。

本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出并歸口。

本標準起草單位：北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司、光明化工研究設計院、信息產業(yè)部標準化

四所。

本標準主要起草人：張吉瑞、孫福楠、劉筠。

Ⅰ

書

犌犅／犜２４４６９—２００９

電子工業(yè)用氣體５犖氯化氫

１范圍

本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體５Ｎ氯化氫的技術要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運

輸、儲存、充裝、分裝和安全要求。

本標準適用于以工業(yè)氯化氫為原料經凈化制得的瓶裝液化氯化氫。

氯化氫主要用于微電子工業(yè)半導體器件生產中單晶硅片氣相拋光、外延和基座腐蝕工藝。也可用

于硬質合金和玻璃表面處理、醫(yī)藥中間體和精細化學品制造、科學研究等領域。

分子式：ＨＣｌ

相對分子質量：３６．４６１（按２００５年國際相對原子質量）

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ１９０危險貨物包裝標志

ＧＢ５０９９鋼質無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９８３）

ＧＢ／Ｔ５８３２．２氣體中微量水分的測定第２部分：露點法

ＧＢ／Ｔ６６８１氣體化工產品采樣通則

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標志

ＧＢ１３００４鋼質無縫氣瓶定期檢驗與評定

ＧＢ１４１９３液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

ＧＢ１５２５８化學品安全標簽編寫規(guī)定

ＧＢ１５３８２氣瓶閥通用技術條件

ＧＢ／Ｔ１６９４２電子工業(yè)用氣體氫

ＧＢ／Ｔ１６９４３電子工業(yè)用氣體氦

ＧＢ／Ｔ１６９４４電子工業(yè)用氣體氮

ＧＢ１７２６５液化氣體氣瓶充裝站安全技術條件

定量包裝商品計量監(jiān)督管理辦法

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)定

危險貨物運輸規(guī)則

３要求

５Ｎ氯化氫產品的質量控制項目及技術指標應符合表１要求。

表１５犖氯化氫產品的質量控制項目及技術指標

項目指標

氯化氫純度（體積分數）／１０－２≥９９．９９９

氮