標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 20726-2006 半導(dǎo)體探測器X射線能譜儀通則》是一項由中國發(fā)布的國家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)范半導(dǎo)體探測器X射線能譜儀的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運輸和貯存等方面，以確保此類儀器的性能穩(wěn)定、可靠，并促進其在各個應(yīng)用領(lǐng)域的準(zhǔn)確使用。以下是該標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用的半導(dǎo)體探測器X射線能譜儀類型，這類儀器主要用于測量X射線的能量分布，廣泛應(yīng)用于材料分析、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)學(xué)診斷等領(lǐng)域。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了實施本標(biāo)準(zhǔn)時所直接引用或參考的其他標(biāo)準(zhǔn)文獻，這些文獻對于理解和執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的具體要求至關(guān)重要。

  3. 術(shù)語和定義：對涉及的專有名詞和技術(shù)術(shù)語進行了明確界定，如半導(dǎo)體探測器、能量分辨率、探測效率等，為后續(xù)技術(shù)要求的闡述提供清晰的語境基礎(chǔ)。

  4. 分類與標(biāo)記：規(guī)定了X射線能譜儀的分類原則和產(chǎn)品標(biāo)記方法，確保用戶能夠根據(jù)實際需求選擇合適的儀器型號，并便于追蹤和識別產(chǎn)品信息。

  5. 技術(shù)要求：

    • 性能指標(biāo)：詳細描述了半導(dǎo)體探測器、前置放大器、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)等關(guān)鍵部件及整個系統(tǒng)的性能指標(biāo)，如能量分辨率、線性范圍、穩(wěn)定性、探測效率等。
    • 機械和環(huán)境條件：規(guī)定了儀器應(yīng)能在特定的溫度、濕度、振動等環(huán)境下正常工作，確保其耐用性和適應(yīng)性。
    • 安全要求：強調(diào)了儀器設(shè)計和操作中必須遵循的安全原則，防止輻射泄漏，保護使用者健康。

  6. 試驗方法：闡述了如何進行各項性能測試，包括但不限于能量分辨率測試、線性度驗證、穩(wěn)定性考察等，確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

  7. 檢驗規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗程序、抽樣方法及合格判定準(zhǔn)則，以及用戶接收時的驗收依據(jù)。

  8. 標(biāo)志、包裝、運輸和貯存：說明了產(chǎn)品標(biāo)識應(yīng)包含的信息、包裝要求以防止運輸中的損壞、以及適宜的存儲條件，以保證儀器從生產(chǎn)到使用的全程質(zhì)量控制。


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  • 2006-12-25 頒布
  • 2007-08-01 實施
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文檔簡介

ICS71.040.99N33中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T20726—2006/ISO15632:2002半導(dǎo)體探測器X射線能譜儀通則InstrumentalSpecificationforenergydispersiveX-rayspectrometerswithsemiconductordetectors(ISO15632:2002,Microbeamanalysis--InstrumentalspecificationforenergydispersiveX-rayspectrometerswithsemiconductordetectors,IDT)2006-12-25發(fā)布2007-08-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局愛布中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T20726-2006/ISO15632:2002本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO15632:2002《半導(dǎo)體探測器X射線能譜儀通則》本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A、附錄B為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：曾榮樹、徐文東、毛賽、馬玉光、范光

GB/T20726-2006/ISO15632:2002近年來.通過改進探測器的探頭品體和X射線入射窗口新材料的制備工藝以及應(yīng)用先進的脈沖處理技術(shù),在X射線能譜儀(EDS)技術(shù)上取得的進展增強了能譜儀的總體性能,并且將其應(yīng)用范圍擴展到低能量（低于1keV）區(qū)域過去.能譜儀的特性通常用高能狀態(tài)下能量的分辨力來表示.定義為Mn-Ka峰半高寬(FWHM)。為了表示在低能量范圍的特性.生產(chǎn)廠家給出了C-K.F-K的峰半高寬值或者零峰。一些生產(chǎn)商還規(guī)定了峰背比(峰高與本底的比值).即"Fe譜線中的峰與基線的比值或硼(B)的譜線中的峰谷比值。這些量即使相同.它們的定義也可能不同。能譜儀在低能端的靈敏度相對于高能量區(qū)而言,明顯的依賴于探測品體和X射線入射窗口的設(shè)計。盡管低能端的高靈敏度對于分析輕元素化合物非常重要，但是生產(chǎn)商通常不給出能量與譜儀效率的依賴關(guān)系。在全球范圍內(nèi)要求制定X射線能譜儀(EDS)基本規(guī)范的呼聲中，本標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)運而生。EDS是分析固體和薄膜化學(xué)成分最常用的方法之一。本標(biāo)準(zhǔn)容許在相同規(guī)范的基礎(chǔ)上,對不同設(shè)計的能譜儀性能進行比較.同時根據(jù)特殊的要求，幫助找到最合適的能譜儀。另外，本標(biāo)準(zhǔn)也便于對不同實驗室的儀器標(biāo)準(zhǔn)與分析結(jié)果進行比對。依照ISO/IEC17025規(guī)定，這些實驗室應(yīng)按規(guī)定的程序定期檢查、校準(zhǔn)儀器。本標(biāo)準(zhǔn)可作為所有相關(guān)測試實驗室制定相似操作程序的指南

GB/T20726—2006/IS015632:2002半導(dǎo)體探測器X射線能譜儀通則1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了表征以半導(dǎo)體探測器、前置放大器和信號處理系統(tǒng)為基本構(gòu)成的X射線能譜儀（EDS)特性最重要的量值。本標(biāo)準(zhǔn)僅適用于固態(tài)電離作用原理的半導(dǎo)體探測器EDS。本標(biāo)準(zhǔn)只規(guī)定了與電子探針(EPMA)或掃描電鏡(SEM)聯(lián)用的此類EDS的最低要求,至于如何實現(xiàn)分析則不在本標(biāo)淮的規(guī)定范圍之內(nèi)。2術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)注：除2.1外，這些定義都按ISO18115中相同或相似的形式規(guī)定21能譜儀energydispersivespectrometer同時記錄整個X射線譜的譜儀。注：譜儀包括固態(tài)探測器、前置放大器和將X射線光子轉(zhuǎn)換為電脈沖的脈沖處理器，其中波高分析被用于給不同能量的X射線在脈沖處理器中所形成的脈沖信號分配能量通道2.2譜通道spectralchannel所測譜中測量能量的間隔.其寬度由一定的能量增量表示28儀器檢測效率_instrumentaldetectionefficieney檢測到的光子量與可用于測量的光子量的比值24信號強度Signalintensity經(jīng)脈沖處理后，能譜儀輸出的以每通道計數(shù)或每通道每秒的計數(shù)所表示的量2.5峰強度penkintensity在特定本底上以峰高測量的譜峰信號強度。2-6峰面積peakarea凈峰面積netpeakarea在去除本底后，一個譜峰的面積。27背景信號backgroundsignal由于韌致輻射或儀器本底在譜通道中形成的

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