標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 20726-2006 半導(dǎo)體探測(cè)器X射線能譜儀通則》是一項(xiàng)由中國(guó)發(fā)布的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)范半導(dǎo)體探測(cè)器X射線能譜儀的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等方面，以確保此類儀器的性能穩(wěn)定、可靠，并促進(jìn)其在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的準(zhǔn)確使用。以下是該標(biāo)準(zhǔn)的主要內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用的半導(dǎo)體探測(cè)器X射線能譜儀類型，這類儀器主要用于測(cè)量X射線的能量分布，廣泛應(yīng)用于材料分析、環(huán)境監(jiān)測(cè)、醫(yī)學(xué)診斷等領(lǐng)域。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)所直接引用或參考的其他標(biāo)準(zhǔn)文獻(xiàn)，這些文獻(xiàn)對(duì)于理解和執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的具體要求至關(guān)重要。

  3. 術(shù)語(yǔ)和定義：對(duì)涉及的專有名詞和技術(shù)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了明確界定，如半導(dǎo)體探測(cè)器、能量分辨率、探測(cè)效率等，為后續(xù)技術(shù)要求的闡述提供清晰的語(yǔ)境基礎(chǔ)。

  4. 分類與標(biāo)記：規(guī)定了X射線能譜儀的分類原則和產(chǎn)品標(biāo)記方法，確保用戶能夠根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的儀器型號(hào)，并便于追蹤和識(shí)別產(chǎn)品信息。

  5. 技術(shù)要求：

    • 性能指標(biāo)：詳細(xì)描述了半導(dǎo)體探測(cè)器、前置放大器、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)等關(guān)鍵部件及整個(gè)系統(tǒng)的性能指標(biāo)，如能量分辨率、線性范圍、穩(wěn)定性、探測(cè)效率等。
    • 機(jī)械和環(huán)境條件：規(guī)定了儀器應(yīng)能在特定的溫度、濕度、振動(dòng)等環(huán)境下正常工作，確保其耐用性和適應(yīng)性。
    • 安全要求：強(qiáng)調(diào)了儀器設(shè)計(jì)和操作中必須遵循的安全原則，防止輻射泄漏，保護(hù)使用者健康。

  6. 試驗(yàn)方法：闡述了如何進(jìn)行各項(xiàng)性能測(cè)試，包括但不限于能量分辨率測(cè)試、線性度驗(yàn)證、穩(wěn)定性考察等，確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

  7. 檢驗(yàn)規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)程序、抽樣方法及合格判定準(zhǔn)則，以及用戶接收時(shí)的驗(yàn)收依據(jù)。

  8. 標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存：說(shuō)明了產(chǎn)品標(biāo)識(shí)應(yīng)包含的信息、包裝要求以防止運(yùn)輸中的損壞、以及適宜的存儲(chǔ)條件，以保證儀器從生產(chǎn)到使用的全程質(zhì)量控制。


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  • 2006-12-25 頒布
  • 2007-08-01 實(shí)施
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GB/T 20726-2006半導(dǎo)體探測(cè)器X射線能譜儀通則_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

ICS71.040.99N33中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T20726—2006/ISO15632:2002半導(dǎo)體探測(cè)器X射線能譜儀通則InstrumentalSpecificationforenergydispersiveX-rayspectrometerswithsemiconductordetectors(ISO15632:2002,Microbeamanalysis--InstrumentalspecificationforenergydispersiveX-rayspectrometerswithsemiconductordetectors,IDT)2006-12-25發(fā)布2007-08-01實(shí)施中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局愛(ài)布中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T20726-2006/ISO15632:2002本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO15632:2002《半導(dǎo)體探測(cè)器X射線能譜儀通則》本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A、附錄B為規(guī)范性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國(guó)科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：曾榮樹(shù)、徐文東、毛賽、馬玉光、范光

GB/T20726-2006/ISO15632:2002近年來(lái).通過(guò)改進(jìn)探測(cè)器的探頭品體和X射線入射窗口新材料的制備工藝以及應(yīng)用先進(jìn)的脈沖處理技術(shù),在X射線能譜儀(EDS)技術(shù)上取得的進(jìn)展增強(qiáng)了能譜儀的總體性能,并且將其應(yīng)用范圍擴(kuò)展到低能量（低于1keV）區(qū)域過(guò)去.能譜儀的特性通常用高能狀態(tài)下能量的分辨力來(lái)表示.定義為Mn-Ka峰半高寬(FWHM)。為了表示在低能量范圍的特性.生產(chǎn)廠家給出了C-K.F-K的峰半高寬值或者零峰。一些生產(chǎn)商還規(guī)定了峰背比(峰高與本底的比值).即"Fe譜線中的峰與基線的比值或硼(B)的譜線中的峰谷比值。這些量即使相同.它們的定義也可能不同。能譜儀在低能端的靈敏度相對(duì)于高能量區(qū)而言,明顯的依賴于探測(cè)品體和X射線入射窗口的設(shè)計(jì)。盡管低能端的高靈敏度對(duì)于分析輕元素化合物非常重要，但是生產(chǎn)商通常不給出能量與譜儀效率的依賴關(guān)系。在全球范圍內(nèi)要求制定X射線能譜儀(EDS)基本規(guī)范的呼聲中，本標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)運(yùn)而生。EDS是分析固體和薄膜化學(xué)成分最常用的方法之一。本標(biāo)準(zhǔn)容許在相同規(guī)范的基礎(chǔ)上,對(duì)不同設(shè)計(jì)的能譜儀性能進(jìn)行比較.同時(shí)根據(jù)特殊的要求，幫助找到最合適的能譜儀。另外，本標(biāo)準(zhǔn)也便于對(duì)不同實(shí)驗(yàn)室的儀器標(biāo)準(zhǔn)與分析結(jié)果進(jìn)行比對(duì)。依照ISO/IEC17025規(guī)定，這些實(shí)驗(yàn)室應(yīng)按規(guī)定的程序定期檢查、校準(zhǔn)儀器。本標(biāo)準(zhǔn)可作為所有相關(guān)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室制定相似操作程序的指南

GB/T20726—2006/IS015632:2002半導(dǎo)體探測(cè)器X射線能譜儀通則1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了表征以半導(dǎo)體探測(cè)器、前置放大器和信號(hào)處理系統(tǒng)為基本構(gòu)成的X射線能譜儀（EDS)特性最重要的量值。本標(biāo)準(zhǔn)僅適用于固態(tài)電離作用原理的半導(dǎo)體探測(cè)器EDS。本標(biāo)準(zhǔn)只規(guī)定了與電子探針(EPMA)或掃描電鏡(SEM)聯(lián)用的此類EDS的最低要求,至于如何實(shí)現(xiàn)分析則不在本標(biāo)淮的規(guī)定范圍之內(nèi)。2術(shù)語(yǔ)和定義下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)注：除2.1外，這些定義都按ISO18115中相同或相似的形式規(guī)定21能譜儀energydispersivespectrometer同時(shí)記錄整個(gè)X射線譜的譜儀。注：譜儀包括固態(tài)探測(cè)器、前置放大器和將X射線光子轉(zhuǎn)換為電脈沖的脈沖處理器，其中波高分析被用于給不同能量的X射線在脈沖處理器中所形成的脈沖信號(hào)分配能量通道2.2譜通道spectralchannel所測(cè)譜中測(cè)量能量的間隔.其寬度由一定的能量增量表示28儀器檢測(cè)效率_instrumentaldetectionefficieney檢測(cè)到的光子量與可用于測(cè)量的光子量的比值24信號(hào)強(qiáng)度Signalintensity經(jīng)脈沖處理后，能譜儀輸出的以每通道計(jì)數(shù)或每通道每秒的計(jì)數(shù)所表示的量2.5峰強(qiáng)度penkintensity在特定本底上以峰高測(cè)量的譜峰信號(hào)強(qiáng)度。2-6峰面積peakarea凈峰面積netpeakarea在去除本底后，一個(gè)譜峰的面積。27背景信號(hào)backgroundsignal由于韌致輻射或儀器本底在譜通道中形成的

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