犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜１６９４５—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７

電子工業(yè)用氣體氬

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犃狉犵狅狀

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜１６９４５—２００９

前言

本標準代替ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７《電子工業(yè)用氣體氬》。

本標準與ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７相比主要變化如下：

———修改氬的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的第１章，本版的第１章）；

———增加規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的第２章，本版的第２章）；

———修改技術指標內(nèi)容：增加一類純度和雜質(zhì)含量（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的第３章，本版的第３章）；

———修改瓶裝氬抽樣方法（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的４．１．１，本版的４．１．１）；

———增加集裝閣裝、大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶和杜瓦罐裝氬產(chǎn)品并規(guī)定檢驗方法（見４．１．１）；

———修改管道輸送的氬抽樣方法（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的４．１．１，本版的４．１．２）；

———增加氬的采樣安全要求（見４．１．３）；

———修改氫、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的測定方法（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的４．３、４．４、４．５，本版的

４．３）；

———增加其他方法測定總烴；當出現(xiàn)多種分析方法時，增加規(guī)定仲裁方法（見４．３、４．４、４．５）；

———修改水分的測定方法（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的４．７，本版的４．５）；

———修改標志、包裝、貯運及安全（ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７的第５章，本版的第５章）。

本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會提出。

本標準由全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會歸口。

本標準起草單位：北京氦普北分氣體工業(yè)有限公司、西南化工研究設計院。

本標準主要起草人：趙俊秀、周鵬云。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６９４５—１９９７。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６９４５—２００９

電子工業(yè)用氣體氬

１范圍

本標準規(guī)定了氬的技術要求，試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。

本標準適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)和氣態(tài)氬以及經(jīng)純化方法得到的氬。

氬用于系統(tǒng)的吹掃、保護和增壓，它還可以用于化學汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退

火等不同工藝中。

分子式：Ａｒ。

相對分子質(zhì)量：３９．９４８（按２００５年國際相對原子質(zhì)量）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標準，然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ／Ｔ４８４２—２００６氬

ＧＢ／Ｔ５８３２．１氣體中濕度的測定電解法

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳氫化合物的測定氣相色譜法

３技術要求

３．１電子工業(yè)用氣體氬的質(zhì)量應符合表１的要求。

表１技術指標

項目指標

氬氣（Ａｒ）純度（體積分數(shù)）／１０－２≥９９．９９９９９９．９９９２

－６

氫（Ｈ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．１１

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．５５

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．２０．５

一氧化碳：０．１

－６

一氧化碳（ＣＯ）和二氧化碳（ＣＯ２）總含量（體積分數(shù)）／１０＜０．５

二氧化碳：０．１

總烴（以甲烷計）含量（體積分數(shù)）／１０－６＜０．１０．５

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分數(shù)）／１０＜０．２０．５

雜質(zhì)總含量（體積分數(shù)）／１０－６≤１