犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１６９４２—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７

電子工業(yè)用氣體氫

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犎狔犱狉狅犵犲狀

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書(shū)

犌犅／犜１６９４２—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７《電子工業(yè)用氣體氫》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７相比主要變化如下：

———修改電子工業(yè)用氫的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第３章，本版的第３章）；

———修改電子工業(yè)用氫抽樣規(guī)則（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的４．１，本版的４．１．１、４．１．２）；

———修改電子工業(yè)用氫采樣要求（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的４．２，本版的４．１．３）；

———修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法（１６９４２—１９９７的４．４、４．６，本版的４．３）；

———修改總烴分析方法的檢測(cè)限（１６９４２—１９９７的４．７，本版的４．５）；

———修改水分含量的分析方法（１６９４２—１９９７的４．８，本版的４．７）；

———修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第５章，本版的第５章）；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測(cè)定電子工業(yè)用氫中的氮、一氧化碳、二氧

化碳組分的方法寫(xiě)入該附錄（見(jiàn)附錄Ａ）。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：周澤義、周鵬云。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７。

Ⅰ

書(shū)

犌犅／犜１６９４２—２００９

電子工業(yè)用氣體氫

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氫氣為原料經(jīng)凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主

要被用來(lái)提供還原氣氛，作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。

分子式：Ｈ２。

相對(duì)分子質(zhì)量：２．０１５８８（按２００５年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０—２００９危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３６３４．１氫氣第１部分工業(yè)氫

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ４９６２氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ／Ｔ６２８５氣體中微量氧的測(cè)定電化學(xué)法

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定

３技術(shù)要求

電子工業(yè)用氣體氫的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

－２

氫（Ｈ２）純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０≥９９．９９９９９９．９９９７９９．９９９５

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．５２．０２

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．２０．２０．５

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６＜０．０５０．５

０．２

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．０５０．５

總烴（以甲烷計(jì)）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６＜０．０５０．２０．５

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．２０．２０．５

總雜質(zhì)含量（體積分