標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 14143-1993 300～900μm硅片間隙氧含量紅外吸收測(cè)量方法》這一標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)規(guī)定了如何利用紅外吸收技術(shù)來(lái)測(cè)定厚度在300至900微米范圍內(nèi)的硅片中的間隙氧含量。然而，您未提供另一個(gè)具體的標(biāo)準(zhǔn)或版本以進(jìn)行直接的變更對(duì)比。沒有指定比較對(duì)象的情況下，無(wú)法直接列出相對(duì)于某個(gè)特定前任或后續(xù)標(biāo)準(zhǔn)的具體變化。

不過(guò)，通常來(lái)說(shuō)，當(dāng)一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)被更新或者替代時(shí)，變更可能涉及以下幾個(gè)方面：

  1. 技術(shù)方法的改進(jìn)：新標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)采用更先進(jìn)的測(cè)量技術(shù)或儀器，提高測(cè)試精度和效率。
  2. 參數(shù)范圍調(diào)整：可能會(huì)擴(kuò)展或縮小測(cè)試對(duì)象的適用范圍，比如測(cè)試硅片的厚度范圍、氧含量的測(cè)量極限等。
  3. 測(cè)試程序的優(yōu)化：更新標(biāo)準(zhǔn)可能會(huì)簡(jiǎn)化測(cè)試步驟，明確操作流程，以增強(qiáng)可執(zhí)行性。
  4. 精度與誤差要求的修訂：根據(jù)技術(shù)進(jìn)步和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，對(duì)測(cè)量結(jié)果的精度要求和允許誤差范圍進(jìn)行調(diào)整。
  5. 術(shù)語(yǔ)與定義的統(tǒng)一：為保持與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的一致性，可能會(huì)更新或新增專業(yè)術(shù)語(yǔ)定義。
  6. 質(zhì)量控制與校準(zhǔn)要求：加強(qiáng)對(duì)檢測(cè)設(shè)備的校準(zhǔn)要求，確保測(cè)量結(jié)果的可比性和重復(fù)性。
  7. 合規(guī)性與認(rèn)證：增加或修改與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)、法規(guī)的符合性要求，以及產(chǎn)品認(rèn)證的相關(guān)規(guī)定。


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  • 被代替
  • 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替，建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 1557-2006
  • 1993-02-06 頒布
  • 1993-10-01 實(shí)施
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GB/T 14143-1993300～900μm硅片間隙氧含量紅外吸收測(cè)量方法_第1頁(yè)
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GB/T 14143-1993300～900μm硅片間隙氧含量紅外吸收測(cè)量方法-免費(fèi)下載試讀頁(yè)

文檔簡(jiǎn)介

9DC.669.782百26中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T：14143—93300～900㎡m硅片間隙氧含量紅外吸收測(cè)量方法300~900：mSiliconsliccs-MeasuringofinterstitialloxygencontentInfraredabsorptionmethod1993-02-06發(fā)布1993-10-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)300~900um硅片間隙氧含量紅外吸收測(cè)量方法GB/T14143-93300~900umSiliconslices-Measuringorinterstitialoxygencontent-Infraredabsorptionmethod主題內(nèi)客與適用范田本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用紅外吸收法測(cè)定厚度為300～900m的硅片間隙氧含量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電阻率大于0.10·cm的硅片間隙氧含量的測(cè)量。測(cè)量范圍為3×10"·cm-至間隙氧在硅中的最大固溶度。2引用標(biāo)準(zhǔn)GB1557硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法。方法原理本方法借助于硅單品中氧含量與硅-氧鍵在1107cm~9.033m)處吸收系數(shù)間的關(guān)系，用紅外光譜儀測(cè)定1107cm-處吸收系數(shù)來(lái)確定300～900m硅片中間隙氧含量。4測(cè)量?jī)x器4.1付里葉變換紅外光譜儀或雙光束紅外分光光度計(jì),儀器在1107cm-"處的分辨率小于5cm2。4.2樣品架。具有調(diào)整功能，通光孔徑為6～10mm.4.3厚度測(cè)量?jī)x，精度小于2rm.5試樣要求5.1試樣5.1.1試樣測(cè)試部位厚度偏差應(yīng)小于0.5%。5.1.2元武樣在1300～1000m范圍的透射特性應(yīng)符合附錄A的規(guī)定5.1.3對(duì)于仲裁測(cè)量，試樣在1300～1000cm～范圍基線透過(guò)率不低于30%。5.2參比樣品5.2.1參比樣品氧含量應(yīng)小于5×10"at·cm-",可以從高真空多次區(qū)熔制得的硅單品中選取，5.2.2參比樣品與試樣應(yīng)具有相同的透射特性，厚度差小于0.5%。6測(cè)量步驃6.1l選取通光孔徑為6～lomm的樣品架。6.2對(duì)雙光束紅外分光光度計(jì).測(cè)量程序參照GB1557中的5.2

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