標準解讀

《GB/T 13843-1992 藍寶石單晶拋光襯底片》這一標準規(guī)定了藍寶石單晶拋光襯底片的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及標志、包裝、運輸和儲存要求。具體來說，它涵蓋了以下幾個關(guān)鍵方面：

  1. 定義與分類：標準首先明確了藍寶石單晶拋光襯底片的基本概念，以及按照尺寸、厚度、晶向等不同參數(shù)進行的分類。

  2. 技術(shù)要求：

    • 材料：規(guī)定了用于制造襯底片的藍寶石單晶應滿足的純度和晶體質(zhì)量要求。
    • 尺寸和形狀：詳細說明了襯底片的尺寸公差、平面度、平行度及厚度公差等指標。
    • 表面質(zhì)量：包括表面粗糙度、平整度、潔凈度等，要求無明顯劃痕、污染點或其它缺陷。
    • 物理性能：可能包括密度、熱膨脹系數(shù)等物理特性指標，確保襯底片在后續(xù)應用中的穩(wěn)定性。

  3. 試驗方法：為驗證上述技術(shù)要求，標準詳細介紹了各項測試的執(zhí)行方法，如如何測量尺寸、使用何種設(shè)備檢測表面粗糙度等。

  4. 檢驗規(guī)則：明確了產(chǎn)品檢驗的程序、抽樣方法及合格判定準則，確保每批產(chǎn)品的質(zhì)量一致性。

  5. 標志、包裝、運輸和儲存：規(guī)定了產(chǎn)品上應標注的信息（如生產(chǎn)日期、批號、規(guī)格等），以及包裝材料、方式、運輸條件和儲存環(huán)境的要求，以防止在流通和存儲過程中對產(chǎn)品質(zhì)量造成損害。


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  • 廢止
  • 已被廢除、停止使用，并不再更新
  • 1992-12-28 頒布
  • 1993-08-01 實施
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UDC621.382.032.9L90中華人民共和國國家標準GB/T13843-92藍寶石單晶拋光襯底片Polishedmonocrystallinesapphiresubstrates1992-12-28發(fā)布1993-08-01實施國家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國國家標準CB/T13843-92藍寶石單晶拋光襯底片Polishedmonocrystallinesapphiresubstrates主題內(nèi)客與適用范圍本標準規(guī)定了生長硅的高純藍寶石單品拋光襯底片的技術(shù)要求、測試方法、檢驗規(guī)則：本標準適用于制備半導體器件的生長硅的高純藍寶石單品拋光襯底片。引用標準GB/T1556硅單晶晶向X衍射測量方法GB6618硅片厚度和總厚度變化的測試方法GB6619硅片彎曲度的接觸式測試方法GB6621硅拋光片表面平整度的非接觸式測試方法GB66244硅單晶拋光片表面質(zhì)量目測檢驗方法GB10311表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值GB2828逐批檢查計數(shù)抽樣程序及抽樣表(適用于連續(xù)批的檢查》硅片上的缺陷、浩污觀察標準和規(guī)程術(shù)語，硅品體完整性見附錄A。3技術(shù)要求3.11化學組成為高純的α-Al.O,,總雜質(zhì)含量應小于1×10-。322結(jié)品完整性在所有直徑范圍內(nèi)都是單品結(jié)構(gòu)，位錯應等于或小于10°個/cm2.3.33制備襯底所使用的藍寶石單品的生長方法采用直拉法(CZ)。3.44表面取向在所有直徑范圍內(nèi)均為(1102)±2"。3.5參考面3.5.1主參考面取向C軸在(1102)面上的投影順時針旋轉(zhuǎn)45"±2"見圖1)。3.5.2次參考面取向C軸在(1102)面上的投影逆時針旋轉(zhuǎn)45°±2（

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