PECVD介紹PECVD工作原理PECVD結構介紹PECVD控制系統簡介PECVD報警系統介紹PECVD操作系統介紹PECVD工藝氣體特點簡介PECVD工作程序介紹PECVD工藝分析與操作注意事項《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第1頁!工作原理：CentrothermPECVD系統是一組利用平行板鍍膜舟和高頻等離子激發(fā)器的系列發(fā)生器。在低壓的情況下，等離子發(fā)生器直接在，裝在鍍膜板中間的介質的中間發(fā)生反應。所用的活性氣體為硅烷SiH4和氨NH3?？梢愿鶕淖児柰閷Π钡谋嚷?，來得到不同的折射指數。在沉積工藝中，伴有大量的氫原子和氫離子的產生，使得晶片的氫鈍化性十分良好。PECVD的原理及作用

《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第2頁!PECVD設備結構晶片裝載區(qū)爐體特氣柜真空系統控制系統《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第3頁!PECVD設備結構示意圖《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第4頁!上下裝載區(qū)：槳、LIFT、抽風系統、SLS系統。槳：由碳化硅材料制成，具有耐高溫、防變形等性能。作用是將石墨舟放入或取出石英管。LIFT：機械臂系統，使舟在機械臂作用下在小車、槳、儲存區(qū)之間互相移動。抽風系統：位于晶片裝載區(qū)上方，初步的冷卻石墨舟和一定程度的過濾殘余氣體SLS系統：軟著陸系統，控制槳的上下，移動范圍在2—3厘米PECVD設備結構《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第5頁!石墨舟電極口《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第6頁!加熱反應室熱電偶1ＴＭＭ６《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第7頁!窗口電極熱電偶2排氣口爐管后段《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第8頁!冷卻水系統進水口出水口《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第9頁!真空系統真空泵：每一根石英管配置一組泵，包括主泵和輔助泵。蝶閥：可以根據要求控制閥門的開關的大小，來調節(jié)管內氣壓的

PECVD設備結構《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第10頁!控制系統

CMI：是Centrotherm研發(fā)的一個控制系統，其中界面包括Jobs、System、Datalog、Setup、Alarms、Help.Jobs:機器的工作狀態(tài)。System:四根管子的工作狀態(tài)，舟的狀態(tài)以及手動操作機器臂的內容。Datalog:機器運行的每一步。

《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第11頁!CMI-accessgatetoCESARS《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第12頁!《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第13頁!《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第14頁!《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第15頁!《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第16頁!管式PECVD日常報警說明Processrecipehasterminatedwitherrorstate----AlarmACK----(1)tostore(2)tostoreenableunload(3)Restartrecipe.說明：進行中的工藝以錯誤的狀態(tài)結束----警報確認----（1）儲存（2）儲存并卸下（3）重新開始工藝。(1)用錯工藝號，手動結束工藝，重新開始新的其它工藝時進行選擇。(2)多數情況下選擇此項。；(3)工藝中斷需要重新進行時選擇，選擇前應查看鍍膜情況。1《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第17頁!管式PECVD日常報警說明Losthoming,checkposition.說明：失去引導，檢查位置。此報警會自動解除，只需要檢查一下槳是否在原點的位置即可。3《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第18頁!管式PECVD日常報警說明Recipeabort2----processabort!TOcontinue:enterAB.說明：工藝推出----運行終止。繼續(xù)輸入AB。對工藝異常確認輸入AB后，會出現第（一）個報警5《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第19頁!管式PECVD日常報警說明Boatsensorofgrabhaschangedwithoutpermission.說明：機械手上的傳感器被非允許移動。機械手喜愛上下移動時不會前后移動，若這時前后的位置發(fā)生變化，機械臂將會被鎖定，出現報警。此警報需要通知工序長或領班。7《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第20頁!管式PECVD日常報警說明GasN2(SiH4、NH3)outof1st(2nd)tolerance.說明：特氣氮氣（硅烷、氨氣）超過（二）個限值。出現這種報警的原因是多面的：高頻放電失敗、管內的壓力不正?；蛘哂捎谀撤N原因系統被鎖定（冷卻水報警），都會出現這樣的報警，出現超過個限值報警，只是警告；超過第二個限值報警出現后工藝會自動停止，此時報警消失，出現第五個報警信息9《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第21頁!管式PECVD日常報警說明Recipecouldn’tdestarted.pleasecheckprotocolforreason.。說明：工藝不能被運行，請檢查原因。原因：此管已有一個工藝在運行；此管沒有你要選的工藝文件；狀態(tài)不正確11《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第22頁!管式PECVD日常報警說明TubereadyinundefinedpleaseensurethattheCESARloadingmachineisat“0”positionandsoftlanderis“UP”.說明：管子的狀態(tài)無法被確認，請確保CESAR接收到槳在“0”和“UP”的位置。檢查槳是否在上位和原點的位置，如果是的，在空槳的情況下運行homing工藝；如果不是，手動移動槳到上位和原點。13《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第23頁!管式PECVD日常報警說明Theboatsensorhasdetectednoboatinthegrabalthoughaboatshouldbeinthegrab.pleasecheckboatingrabsensorandtryagain.說明：雖然有一個舟在機械臂上，但傳感器測不到，請檢查一下舟是否接觸到傳感器后再試一次。機械臂上的傳感器沒有感應到舟，將舟放到正確的位置即可。15《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第24頁!管式PECVD日常報警說明Boatposition(speed)outof1st(2nd)tolerance.說明：舟的位置（速度）超過（二）限值。通常會發(fā)生在退舟失敗后，手動使槳復位。17《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第25頁!管式PECVD日常報警說明Waterflowgassidest.1.說明：TGA（gasside）冷卻水報警。將石英管后的冷卻水流量調整一下即可19《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第26頁!PECVD操作與工藝過程1開機過程簡介2關機過程簡介3操作過程簡介4工藝氣體介紹5工藝過程介紹《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第27頁!按壓START真空泵啟動按鈕，啟動真空泵。CBI按鈕START按鈕PECVD操作簡介PECVD開機《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第28頁!打開并檢查氣源。打開壓縮空氣閥，氮氣閥，NH3閥，SiH4閥。機器上壓縮空氣壓力應在6kg/cm2—7kg/cm2。其他氣體為4kg/cm2—10kg/cm2范圍PECVD操作簡介PECVD開機《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第29頁!PECVD的操作流程戴好無紡布口罩戴好潔凈手套取來待鍍膜的硅片在刻蝕處檢查硅片數量把石墨舟推到潔凈工作臺下取出承片盒放入潔凈工作臺取出石英吸筆，并擦拭干凈把硅片一片片插入石墨舟內注意硅片的擴散方向一舟插完后，用小車推到設備的上料口對計算機進行相應的操作后，讓其自動運行工藝結束（鍍膜結束）開門退舟（設備自動運行）待報警后，按退車按鈕退車把裝有石墨舟的小車推到冷卻房內進行冷卻冷卻結束后，把小車推到插片房內卸片結束后，放入指定的承載盒內把放滿的承載盒拿到絲網上料，準備進行印刷開始卸片。注意工藝點的一致性《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第30頁!用手推車槳舟移動到固定位置查看爐管的工作，并等待爐管的工作編寫LOTNUMBER號，并用機械手放到要去的槳上，并將機械手回位將舟進入到爐管內《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第31頁!PECVD關機檢查確認生產已完畢。機器中舟已卸出。PECVD每個真空管壓力設定為10000mToor,等每管實際壓力達到10000mToor。關閉CMI程序。再關計算機。關主電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，逆時針方向轉90度。關閉氣源。注意：除N2外關閉所有氣體。關閉冷卻水。等待二十分鐘后關閉冷卻水。先關進水，再關出水。關閉真空泵。按壓真空泵面板“OFF”按鈕停泵。等待20分鐘后關閉冷卻水和N2閥《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第32頁!硅烷SiH4危險性概述爆炸危險：易燃，暴露在空氣中能自燃。健康危害：吸入硅烷蒸氣后，引起頭痛、頭暈、發(fā)熱、惡心、多汗，嚴重者面色蒼白，脈搏微弱，陷入半昏迷狀態(tài)。脫離現場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，必要時進行人工呼吸，就醫(yī)。《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第33頁!泄漏應急處理迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風處，并隔離至氣體散去，切斷火源。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般消防護服，切斷氣源，噴灑霧狀水稀釋、抽排(室內)或強力通風(室外)。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風機送至水洗塔或與塔相連的通風櫥內，漏氣容器不能再用，且要經過技術處理，以除去可能剩下的氣體。硅烷SiH4《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第34頁!環(huán)境危害：對環(huán)境有嚴重危害，應特別注意對地表水、土壤、大氣和飲用水的污染。皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，應用2%硼酸液或大量清水沖洗，就醫(yī)。眼睛接觸：立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底清洗，至少15分鐘，就醫(yī)。吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，如呼吸困難，給輸氧；如呼吸停止，立即進行人工呼吸，就醫(yī)。危險特性：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒、爆炸，與氟、氯等接觸會發(fā)生劇烈的化學反應，若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。氨氣NH3《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第35頁!泄漏應急處理迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風向，并立即隔離150米，嚴格限制出入，切斷火源，建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服，盡可能切斷泄漏源，合理通風，加速擴散，高濃度泄漏區(qū)，噴含HCl的噴霧水中和、稀釋、溶解，構筑圍堤或挖坑收容產生的大量廢水。如可能將殘余氣或漏出氣體用排風機送至水洗塔或與塔相連的通風櫥內。儲罐區(qū)最好設稀酸噴灑設施。漏氣容器要妥善處理，修復，檢驗后再用。氨氣NH3《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第36頁!SiNx的優(yōu)點：優(yōu)良的表面鈍化效果;高效的光學減反射性能（厚度折射率匹配）低溫工藝（有效降低成本）;反應生成的H離子對硅片表面進行鈍化.Si3N4膜的作用:減少光的反射:良好的折射率和厚度可以促進太陽光的吸收。防氧化:結構致密保證硅片不被氧化。《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第37頁!PECVD整個程序的運行過程中的控制《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第38頁!微波功率：較高的P-mean－稍微提高沉積速率。P-peak－調整等離子體分布長度。

壓強：較高壓強－較低的沉積速率。

溫度：較高溫度－稍微降低沉積速率。

氣流量：較高氣流量－較高的沉積速率。氣體比例：更多SiH4－提高折射率。各個條件影響分析《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第39頁!4影響電池片在片內不均勻的有輝光放電時電壓控制不準確、氣體流量不準確爐內氣體壓強不準確真空有泄露舟已經超過最大位置槳上的舟已經丟失5電池片上沒有膜的出現輝光放電的電極關閉沒有氣體流過《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第40頁!更改資料選擇Setboatactactiveforhandling點擊NEXT在BOATID中更改舟號，在PROCESSTUBE中選擇運行工藝的管號。點擊NEXT在Actualboatlocation中選擇舟的實際的位置，在BOATSTATE—NOTACTIVE中選擇舟的狀況。點擊NEXT在Recipe中選擇工藝文件，在Lotsinboat中輸入操作者。點Finish完成設定。《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第41頁!《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第42頁!PECVD安全注意事項人身安全舟和槳從爐管中出來后帶有高溫，移動小車時要注意不要被燙傷。機器在自動運行狀態(tài)下嚴禁進入機器內部。進入機器前，需把選擇開關打到手動“HAND”，待機械手執(zhí)行完命令停下后，方可進入機器。清理管內碎片時需戴上高溫手套和防護眼鏡。接觸到碎片時，務必戴好乳膠手套，以防刺到手。做吸筆時，要防止吸筆切斷的部分對自己或他人造成傷害。上班要精神飽滿，動作嚴禁“自主創(chuàng)新”，必須按章操作《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第43頁!舟位于儲存架時，一定要確認儲存架上的感應器有沒有感應到。遇到兩舟向撞時，立即按壓“HANDLINGSTOP”。機械臂把舟抓到槳上后，工藝無法正常運行，先確定舟在槳上的位置，以及Tube=ready、SLS=up、TGA=yes，然后進行其它操作。退舟時，發(fā)生“Boatfailure”的警報，觀察舟的位置是否正確后才可以對警報進行復位。當發(fā)生舟槳分離時，立即按壓“HANDLINGSTOP”。清理管內碎片要注意熱電偶，清理結束后一定要將熱電偶放于管子的中間位置，否則進退舟時有可能被撞掉。PECVD安全注意事項《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第44頁!產品安全進入機器需戴手套不允許手直接接觸石墨舟和小車上的不銹鋼網罩從刻蝕間運片子時保證有片子的小車蓋子蓋好拉到PECVD崗位后，需將片子放入潔凈柜中保證流到下道工序片子的質量拿片子時，只允許一只手拿一盒搬運木制承載盒時，雙手要托住盒子底部PECVD安全注意事項《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第45頁!手推車的推法從刻蝕間推硅片時，把數量對號后，蓋子蓋好之后方可推行推行的方位是小車蓋子的打開方向，不可以按扶手的方向推車，以免蓋子的支撐柱傷到人或其他。推行時要注意小車的平穩(wěn)，嚴禁忽快忽慢。到達崗位時將小車放到指定的位置。蓋子打開取出硅片后，要把蓋子重新蓋好。卸空了的承載盒放到小車下面或者車子里面。蓋子蓋好后返還刻蝕間?！禘CVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第46頁!石膜舟清洗機,烘箱,冷卻臺,裝片臺承載臺,存儲柜,保護柜奧曼特橢偏儀SENTECH《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第47頁!●上下載部分:有電腦系統,凈化風機,機械手等部分;主要作用:電腦是整個系統的控制中樞,凈化風機起局部環(huán)境凈化作用同時也是上料和下料部分.●廢氣室:有爐門排風系統組成;主要作用:為了保持擴散爐管內良好的密封性能,并將未能從尾氣管排出的殘留廢氣及時抽走,防止廢氣泄露.●爐體部分:由加熱電阻絲組成;主要作用:通過大電流發(fā)熱滿足工藝要求的擴散溫度.●氣柜部分:由所需的各種氣路,流量計及.主要作用:為工藝提供所需的氣體流量.簡要部分介紹《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第48頁!載片區(qū)部分介紹

機械手槳小推車操作平臺指示燈爐門《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第49頁!爐體：石英管、加熱系統、冷卻系統石英管：爐體內有四根石英管，是鍍膜的作業(yè)區(qū)域，耐高溫、防反應。加熱系統：位于石英管外，又五個溫區(qū)。PECVD設備結構《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第50頁!爐管內部電極熱電偶２窗口《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第51頁!PECVD設備結構冷卻系統：是一套封閉的循環(huán)水系統，位于加熱系統的金屬外殼，四進四出并有一個主管道，可適量調節(jié)流量大小?！禘CVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第52頁!特氣柜：MFC氣動閥

MFC：氣體流量計（NH3SiH4N2等）氣動閥：之所以不用電磁閥是因為電磁閥在工作時容易產生火花，而氣動閥可以最大程度的避免火花。PECVD設備結構《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第53頁!PECVD控制系統主要從事的是下面的四種控制系統1PECVD真空的控制

2PECVD的機械手的控制

3PECVD的特氣控制

4PECVD的電器控制PECVD控制系統《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第54頁!PECVD控制系統《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第55頁!Menuformanualoperations《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第56頁!《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第57頁!《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第58頁!溫度控制系統《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第59頁!PECVD日常報警說明《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第60頁!管式PECVD日常報警說明Boatalreadyintube----select:[process=0unload=1].說明：石墨舟已經在管內----選擇[運行工藝=0取出卸下=1]。當管內有石墨舟時，異常排除后手動運行工藝時會出現這樣的提示，查看鍍膜情況后在做選擇。2《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第61頁!管式PECVD日常報警說明HFGenoutof1st(2nd)tolerance.說明：高頻發(fā)生器超過（二）個位置，如果在鍍膜中退出，如已經沉積到氮化硅，檢查鍍膜時間后，選擇手動工藝輸入剩余時間。通常出現這樣的報警有三種情況：(1)石墨舟的電極孔放反。(2)石墨電極內有硅片倒落或者小碎片卡在兩片電極的中間。(3)爐內的碎片太多，石墨電極底部接觸到碎片形成兩片電極之間的短路。4《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第62頁!管式PECVD日常報警說明Vacuumtubeoutof1st(2nd)tolerance.說明：石英管內的真空度超過（二）個限值。系統會對石英管內的真空度三秒鐘檢查一次，由于某種原因導致抽真空被延時，在特定的時間內無法達到真空設定值的要求，系統會出現這樣的報警，檢查一下狀態(tài)欄中的壓力值和真空泵的工作是否正常，如正常過幾分鐘后報警會自動解除；如果此報警連同第（八）個報警一起出現的話，聯系工序長和領班。6《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第63頁!管式PECVD日常報警說明Collectivealertpumpst.1說明：真空泵報警。一般情況下是由于真空泵的負壓太大，導致報警。如復位無效的話通知工序長或領班。8《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第64頁!管式PECVD日常報警說明Warming:checkSiH4distribution.說明：警告,檢查硅烷的流量。檢查硅烷的流量是否于設定值吻合，如果不是退出并重新運行工藝10《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第65頁!管式PECVD日常報警說明Thereisalreadyanactiverecipe×××formlocallisting.說明：已經有×××工藝在此管的工藝列表中。十一、十二倆個報警有時會一起出現，終止任何一個報警都會解除。12《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第66頁!管式PECVD日常報警說明Boatcollision.說明：舟被撞擊。Handling對話框中將舟移動到安全的位置；若是在上下舟，檢查一下小車和儲存架的位置是否于舟的位置匹配。14《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第67頁!管式PECVD日常報警說明Grabsensorundefined.Nomovementpossible!Checkboatposition.說明：傳感器不明確，無法移動，檢查舟的位置。機械臂不在正確的位置，無法移動，若機械臂沒有被鎖定在Handling的界面中將機械臂移至正確的位置。16《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第68頁!管式PECVD日常報警說明Boatfailure.說明：退舟失敗。檢查舟在槳上的位置，如果正確手動將槳復位；如果不正確，戴上高溫手套把舟拉到正確的位置后手動復位。18《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第69頁!管式PECVD日常報警說明VN:Noprocessboatinsourceposition.說明：在設定的位置沒有舟的存在。通常是因為機械臂將石墨舟放到儲存架上，儲存架上的傳感器沒有感應到。調節(jié)傳感器或者調節(jié)舟的位置即可。20《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第70頁!PECVD開機打開N2閥。確認面板上綠色N2閥已打開。壓力值為1kg/cm2左右N2閥PECVD操作簡介PECVD操作簡介《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第71頁!打開設備冷卻水。先打開出水閥，再開進水閥。壓力在3kg/cm2---6kg/cm2范圍內進水閥出水閥PECVD操作簡介PECVD開機《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第72頁!開總電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，順時針方向旋轉90度。機器上指示燈

VAT控制器燈亮，可確定總電源已開啟。該狀態(tài)為已經扳過90度PECVD操作簡介PECVD開機《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第73頁!啟動CMI程序。開總電源后計算機自動啟動。輸入密碼后自動進入Windows桌面。用鼠標左鍵雙擊“CMI”圖標，啟動CMI。進入CMI畫面，檢查設備狀態(tài)：SLS=UP，DOOR=CLOSED，PLC=OK，LIFT=READY，TUBE=READY，TGAFREE=YESSET/ACTPOSITION=0，PROCFLAG=OK選擇工藝程序，生產。2PECVD操作簡介《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第74頁!撤舟，撤舟的后關門運行已經調處的程序siNx鍍膜程序運行完進行吹掃沖氮氣撤舟等待爐管溫度均勻，此時沖氮氣抽真空，分預抽與主抽氨氣進入，先輝光放電通氨氣與硅烷停止通氨氣與硅烷，通入氮氣抽真空通氮氣到大氣壓《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第75頁!工藝氣體特點介紹從上面的工藝氣體的反應來看,對于硅烷和氨氣的鍵能來看,氨氣的鍵能大于硅烷的鍵能,所以在輝光放電時,要先通氨氣,在通硅烷,這樣才能使之共同進行輝光放電.《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第76頁!消防措施危險特性：易燃，遇明火、高熱極易燃燒，暴露在空氣中能自燃，與氟、氯等發(fā)生劇烈的化學反應。滅火方法：切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。滅火劑：二氧化碳。硅烷SiH4《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第77頁!爆炸危險：易燃，能與空氣混合形成爆炸性氣體，遇明火及高熱會燃燒、爆炸。健康危害：低濃度氨對粘膜有刺激作用，高濃度可造成組織溶解壞死。急性中毒：輕度者出現眼淚、咽痛、聲音嘶啞、咳嗽、咯痰等，眼結膜、鼻粘膜、咽部充血、水腫、胸部X線癥象符合支氣管炎或支氣管周圍炎。中度中毒：上述癥狀加重，出現呼吸困難、紫紺、胸部X線癥象符合肺炎或間質性肺炎，嚴重者可發(fā)生中毒性肺水腫，或有呼吸道窘迫綜合癥，患者劇烈咳嗽，咯大量粉紅色泡沫痰，呼吸窘迫，譫意、昏迷、休克，可發(fā)生喉頭水腫或支氣管粘膜壞死脫落窒息，高濃度NH3可引起反射性呼吸停止。濃氨或高濃度氨可致眼灼傷，濃氨可致皮膚灼傷。氨氣NH3《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第78頁!滅火方法:消防人員必須穿戴全身防火防毒服，切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。滅火劑：霧狀水、抗溶性泡沫、二氧化碳、砂土.氨氣NH3《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第79頁!Si3N4的認識:Si3N4膜的顏色隨著它的厚度的變化而變化，其理想的厚度是73—77nm之間，表面呈現的顏色是深藍色，Si3N4膜的折射率在1.9—2.1之間為最佳，與酒精的折射率相乎，通常用酒精來測其折射率。

Si/N比對SiNx薄膜性質的影響:電阻率隨x增加而降低折射率n隨x增加而增加腐蝕速率隨密度增加而降低鍍膜的作用與膜的要求《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第80頁!PECVD機械手操作界面《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第81頁!影響PECVD膜的因素沉積溫度沉積壓強氣體流量、比例微波功率：最大功率，ton，toff傳輸速度《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第82頁!1影響PECVD膜厚的有程序運行時間太長爐內的壓力太大輝光放電時的電壓太大真空度有泄露去PSG清洗不干凈2影響鍍膜的薄的原因有程序運行時間短爐內的壓力小輝光放電時的電壓小氣體流量少3影響膜的折射率低的原因有

氣體流量不穩(wěn)定影響膜不均勻的主要因素《ECVD詳細介紹》課件共91頁，您現在瀏覽的是第83頁!更改資料

打開SETUP菜單，點擊BOAT更改或刪除舟的資料。選擇你要更改或刪除的舟的資料。輸入密碼后顯示〔設定〕Setboatactactiveforhandling.〔刪