1、主講人：林晏彤系統(tǒng)結(jié)構(gòu)2011/1/22#2011/1/22#流程示意圖系統(tǒng)配置2011/1/223元件說明1. 流程不思CCSS Room :Monitoring System(中央供酸系統(tǒng)) Center Chemical Supply System2011/1/22#2011/1/22#r iDay TankSupply Unrt無塵室下Sub FABCharge(Transfer) Unit1. 廠房平面圖2. 系統(tǒng)裝置3. 管路連接監(jiān)控系統(tǒng)管理室污水系統(tǒng)7 89限定條件結(jié)構(gòu)安全及管理規(guī)章2011/1/225無薦宣、潔淨(jìng)室Clean Room a* MB Rap FABTee Box1

2、. 使用點2. VMB（閥分支箱）POU（使用點）機(jī)臺操作控制介面 電控程式連結(jié)高架地板1. CCSS-VMB管路2. VMB需求3. 監(jiān)控線路4. 洩漏咸應(yīng)器無塵室下1. 管路設(shè)計2. 單攬線裝置3. VMB, Tee Box 裝置4. 管路運作（CCSS-VMB）管路連接（VMBPOU）2011/1/2272. 系統(tǒng)配置Puiiid系統(tǒng) _ 日需求TANKCharge & Supply UnitDay Tank住80-200L/Day使用量：較少 利用pump或壓送的方式壓力傳送系統(tǒng)-日需求TANKCharge UnitDay TankSupply Unit用量300-4000L/

3、Day使用量：較多利用pump或壓送的方式2011/1/229Pin叩系統(tǒng) _ 日需求TANK2011/1/222011/1/22ACQC Day TankTransfer Unit1Supply Unit2011/1/222011/1/22用量:4000L/Day 以上 利用壓送的方式2011/1/22配置規(guī)範(fàn)2011/1/22#2011/1/22#Puiiip Type _ Puiiip 彳2011/1/22#2011/1/22#Less than 100£/day1st-2 eaSupply-2 setsNone1 setby Pump2011/1/22#2011/1/2292

4、011/1/22#Pump Type _ Pump BDay Tank2011/1/22Usage(a100*400day,(b) 400'1000dayy(c) 1000-2000/<fayFilter1ie'2ea,PumpCharge-2setsr Supply-2 setsTank(1)200e, (b)500£, (c)1000tUnit1 setSupplyby Pump9Pressure Type 一 Pump A10Usage(a) 100-1200/day,(b) 1200-2000ii/day,Filter1 rt-2ea, 2,d-2eaPumpCharge-2$etsTank(i)30oe,(b)5ooeUnit1 setSupplyby N2 PressurePressure Type - Pump B也 Day Tank10Usage(a) 100-1200/dayt(b) 1200-2000£/day.Filter1s,-2ea, 2rtd-2eaPumpCharge-2setsTank(1)3002, (b)500EUnit1 setSupplyby N2 Pressure11Tank Loyyy Type4000L/Dci¥ 以上2011/1/22