中華人民共和國國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范 JJF13062011 X 射線熒光鍍層測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范 CalibrationSpecificationfor X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments 2011-09-14發(fā)布 2011-12-14實(shí)施 國 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗(yàn) 檢 疫 總 局 發(fā) 布 JJF13062011 射線熒光鍍層測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范 X CalibrationSecificationfor JJF13062011 p X-RayFluorescenceCoatingThicknessInstruments 本規(guī)范經(jīng)國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局于 年 月 日批準(zhǔn) 并自 2011 9 14 , 年 月 日起施行2011 12 14 。 歸 口 單 位 全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會 : 起 草 單 位 中國計(jì)量科學(xué)研究院 : 深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測研究院 江蘇天瑞儀器股份有限公司 本規(guī)范委托全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋 JJF13062011本規(guī)范主要起草人 : 朱小平 中國計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 王強(qiáng)兵 深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測研究院 ( ) 李玉花 江蘇天瑞儀器股份有限公司 ( ) 參加起草人 : 杜 華 中國計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 王蔚晨 中國計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) JJF13062011 目 錄 范圍1 (1) 引用文獻(xiàn)2 (1) 概述3 (1) 計(jì)量特性4 (1) 厚度測量重復(fù)性4.1 (1) 示值穩(wěn)定性4.2 (1) 厚度測量示值誤差4.3 (1) 校準(zhǔn)條件5 (2) 環(huán)境條件5.1 (2) 校準(zhǔn)所用標(biāo)準(zhǔn)器及配套設(shè)備5.2 (2) 校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法6 (2) 校準(zhǔn)前準(zhǔn)備6.1 (2) 厚度測量重復(fù)性6.2 (2) 示值穩(wěn)定性6.3 (2) 厚度測量示值誤差6.4 (3) 校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)7 (3) 復(fù)校時間間隔8 (3)附錄 測量結(jié)果不確定度評定 示例 A ( ) (4)附錄 厚度標(biāo)準(zhǔn)塊的技術(shù)要求 B (7)附錄 常見典型鍍層材料的厚度范圍 C (9) JJF13062011 X 射線熒光鍍層測厚儀校準(zhǔn)規(guī)范1 范圍 本規(guī)范適用于 射線熒光鍍層測厚儀的校準(zhǔn) X 。2 引用文獻(xiàn) 本規(guī)范引用下列文獻(xiàn) : 通用計(jì)量術(shù)語及定義 JJF10011998 測量不確定度評定與表示 JJF10591999 測量儀器特性評定 JJF10942002 金屬覆蓋層 覆蓋層厚度測量 射線光譜方法 GB/T169212005 X 使用本規(guī)范時 應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本 , 。3 概述 射線熒光鍍層測厚儀是一種基于能量色散方法的非破壞性定量分析儀器 具有分 X ,析測量多種金屬材料成份和多種鍍層厚度的功能 廣泛應(yīng)用于電子 半導(dǎo)體 首飾 材 , 、 、 、料分析等行業(yè) 射線熒光鍍層測厚儀測量鍍層厚度的原理 射線管產(chǎn)生的 初 級 。X :X X射線照射在被分析的樣品上 樣品受激發(fā)而輻射出二次 射線被探測器接收 此二次 , X ,輻射具有該樣品材料的波長和能量特征 鍍層厚度和二次輻射強(qiáng)度有一定的關(guān)系 經(jīng)多 , ,道分析器及計(jì)算機(jī)進(jìn)行能譜分析處理后 計(jì)算被測樣品的鍍層厚度 , 。 射線熒光鍍層測厚儀的工作原理示意圖見圖 X 1。 圖 射線熒光鍍層測厚儀工作原理示意圖 1 X4 計(jì)量特性 厚度測量重復(fù)性4.1 鍍層厚度測量重復(fù)性不超過 3%。 示值穩(wěn)定性4.2 在 內(nèi)其示值變化不大于儀器最大允許示值誤差 1h 。 厚度測量示值誤