適用于電子元器件生產(chǎn)、組裝及倉儲(chǔ)物流環(huán)節(jié)1前言靜電放電（ElectrostaticDischarge,ESD）是電子行業(yè)最常見的隱性質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)之一。靜電敏感元件（ElectrostaticDischargeSensitive,ESDS）如集成電路（IC）、半導(dǎo)體器件、印刷電路板（PCB）等，即使承受幾百伏的靜電放電，也可能導(dǎo)致內(nèi)部結(jié)構(gòu)損壞（如柵氧化層擊穿、PN結(jié)燒毀），引發(fā)產(chǎn)品失效或可靠性下降。據(jù)統(tǒng)計(jì)，電子企業(yè)約30%的不良品與ESD有關(guān)，且失效往往具有延遲性（如“軟擊穿”），給質(zhì)量追溯帶來極大困難。為規(guī)范ESD防護(hù)管理，降低靜電風(fēng)險(xiǎn)，本規(guī)程依據(jù)IEC____《靜電防護(hù)第5-1部分：電子設(shè)備制造中的靜電防護(hù)要求》、GB/T____《電子設(shè)備靜電放電敏感度測(cè)試方法》等標(biāo)準(zhǔn)制定，涵蓋ESD防護(hù)區(qū)域劃分、設(shè)施要求、操作流程、檢測(cè)維護(hù)等全流程，旨在為企業(yè)提供可落地的ESD防護(hù)解決方案。2范圍本規(guī)程適用于：電子元器件生產(chǎn)車間（如晶圓封裝、IC測(cè)試、PCB組裝）；ESDS倉儲(chǔ)與物流環(huán)節(jié)（如原材料入庫、成品出庫、跨車間轉(zhuǎn)運(yùn)）；實(shí)驗(yàn)室（如ESDS性能測(cè)試、研發(fā)樣品處理）。3規(guī)范性引用文件IEC____:2016《靜電防護(hù)第1部分：一般要求》；IEC____:2016《靜電防護(hù)第5-1部分：電子設(shè)備制造中的靜電防護(hù)要求》；GB/T____《電子設(shè)備靜電放電敏感度測(cè)試方法》；GB/T____《防靜電服》；SJ/T____《防靜電工作臺(tái)面通用規(guī)范》。4術(shù)語與定義ESD：靜電電荷的快速轉(zhuǎn)移，通常伴隨火花或放電電流；ESDS：對(duì)靜電放電敏感的電子元件，其敏感度等級(jí)（ESDSensitivityClass）分為1級(jí)（≤100V）、2級(jí)（100V-500V）、3級(jí)（500V-1000V）；靜電防護(hù)區(qū)（ElectrostaticProtectedArea,EPA）：采取了靜電防護(hù)措施，能將靜電電位控制在ESDS耐受范圍內(nèi)的區(qū)域（如核心生產(chǎn)車間、ESDS檢測(cè)室）；接地（Grounding）：將靜電電荷通過導(dǎo)體引入大地，是ESD防護(hù)的基礎(chǔ)；靜電屏蔽（ElectrostaticShielding）：用導(dǎo)電材料（如金屬箔、防靜電袋）包裹ESDS，阻止外部靜電場(chǎng)穿透；離子化（Ionization）：通過離子風(fēng)機(jī)產(chǎn)生正負(fù)離子，中和物體表面的靜電電荷（適用于絕緣材料或無法接地的場(chǎng)景）。5職責(zé)分工部門/崗位職責(zé)描述ESD管理小組負(fù)責(zé)制定ESD防護(hù)策略、審核規(guī)程修訂、監(jiān)督執(zhí)行情況、處理重大ESD事件生產(chǎn)部門落實(shí)ESD防護(hù)操作、維護(hù)現(xiàn)場(chǎng)設(shè)施、培訓(xùn)員工、記錄操作數(shù)據(jù)質(zhì)量部門定期檢測(cè)ESD防護(hù)效果、驗(yàn)證ESDS質(zhì)量、追溯ESD相關(guān)不良品員工遵守ESD操作規(guī)范、正確使用防護(hù)裝備、及時(shí)報(bào)告靜電異常6ESD防護(hù)區(qū)域劃分與管理6.1區(qū)域分類及要求區(qū)域類型定義核心要求**EPA（靜電防護(hù)區(qū)）**直接接觸ESDS的關(guān)鍵區(qū)域（如芯片組裝線、PCB測(cè)試工位）-接地系統(tǒng)電阻≤1Ω（單點(diǎn)接地）；

-環(huán)境濕度控制在40%-60%（降低靜電產(chǎn)生）；

-所有設(shè)備、材料、人員必須接地；

-設(shè)置“ESD防護(hù)區(qū)”標(biāo)識(shí)（紅底白字）。**緩沖區(qū)**連接EPA與非EPA的過渡區(qū)域（如車間入口、物料傳遞區(qū)）-安裝靜電檢測(cè)門（檢測(cè)人體靜電電位≤100V）；

-提供防靜電鞋/手腕帶檢測(cè)設(shè)備；

-禁止攜帶非防靜電物品（如普通塑料袋、手機(jī)）。**非EPA**不直接接觸ESDS的區(qū)域（如辦公區(qū)、倉庫外圍）-限制ESDS進(jìn)入（如需進(jìn)入，必須用防靜電包裝密封）；

-禁止在該區(qū)域處理ESDS。6.2區(qū)域進(jìn)入流程1.非EPA→緩沖區(qū)：脫去外套、帽子等非防靜電物品；穿防靜電服（上衣扎入褲子，袖口扣緊）、防靜電鞋（直接接觸地面，禁止穿絕緣襪）；戴防靜電手腕帶（金屬扣直接接觸皮膚，導(dǎo)線連接至緩沖區(qū)接地端子）；通過靜電檢測(cè)門（若報(bào)警，需重新梳理頭發(fā)、拍打衣物，再次檢測(cè)）。2.緩沖區(qū)→EPA：用手腕帶測(cè)試儀檢測(cè)手腕帶（綠燈亮為合格，紅燈亮需更換手腕帶）；領(lǐng)取防靜電工具（如防靜電鑷子、吸筆）；確認(rèn)EPA內(nèi)濕度、接地狀態(tài)正常（查看環(huán)境監(jiān)測(cè)儀）；進(jìn)入后關(guān)閉緩沖區(qū)門（防止外部靜電侵入）。7ESD防護(hù)設(shè)施與設(shè)備要求7.1接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求：采用單點(diǎn)接地方式（所有接地端子連接至同一接地極），避免接地環(huán)路；材料要求：接地導(dǎo)線采用多股銅芯線（截面積≥2.5mm2），接地端子采用黃銅（表面鍍鎳）；檢測(cè)要求：每月用接地電阻測(cè)試儀檢測(cè)接地系統(tǒng)，電阻≤1Ω為合格；若電阻超標(biāo)，需排查接地極腐蝕、導(dǎo)線松動(dòng)等問題，24小時(shí)內(nèi)修復(fù)。7.2靜電防護(hù)材料材料類型應(yīng)用場(chǎng)景性能要求防靜電工作臺(tái)面生產(chǎn)/檢測(cè)工位表面電阻10?-10?Ω（符合SJ/T____）；

邊緣需做圓角處理（避免尖端放電）；

定期用防靜電清潔劑清潔（禁止用普通酒精）。防靜電地板EPA、緩沖區(qū)表面電阻10?-10?Ω；

接地端子間距≤2m；

禁止覆蓋絕緣材料（如橡膠墊）。防靜電包裝材料ESDS存儲(chǔ)、運(yùn)輸防靜電袋：表面電阻10?-1011Ω，具備法拉第籠效應(yīng)（屏蔽外部靜電）；

防靜電周轉(zhuǎn)箱：內(nèi)部襯有導(dǎo)電泡沫（避免ESDS碰撞摩擦）；

包裝上需標(biāo)注“ESDSensitive”標(biāo)識(shí)。7.3個(gè)人防護(hù)裝備（PPE）防靜電手腕帶：類型：有線手腕帶（推薦）或無線手腕帶（僅適用于無法固定的場(chǎng)景）；要求：金屬扣與皮膚接觸面積≥1cm2，導(dǎo)線電阻1MΩ（限制放電電流）；使用：上崗前必須檢測(cè)（手腕帶測(cè)試儀顯示綠燈），操作中不得隨意斷開。防靜電服：材質(zhì)：導(dǎo)電纖維混紡（符合GB/T____）；要求：上衣、褲子、帽子為連體式（避免靜電積累）；<br>禁止佩戴金屬飾品（如項(xiàng)鏈、手表）；<br>每周清洗一次（用防靜電洗滌劑，禁止用柔順劑）。防靜電鞋：性能：鞋底電阻10?-10?Ω；<br>要求：直接接觸地面，禁止穿絕緣鞋套；<br>每周檢查鞋底磨損情況（若磨損超過1/3，需更換）。7.4離子化設(shè)備應(yīng)用場(chǎng)景：用于無法接地的絕緣材料（如塑料外殼、陶瓷元件）或操作區(qū)域（如SMT貼片機(jī)進(jìn)料口）；要求：離子風(fēng)機(jī)：風(fēng)速0.3-0.8m/s（覆蓋操作區(qū)域），離子平衡度≤±10V（用靜電場(chǎng)測(cè)試儀檢測(cè)）；安裝位置：距離工作臺(tái)面30-60cm（避免風(fēng)直接吹ESDS）；維護(hù)：每季度清潔電極（用酒精棉擦拭），每半年校準(zhǔn)離子平衡度。8ESD防護(hù)操作流程8.1生產(chǎn)環(huán)節(jié)操作規(guī)范1.ESDS取放：從防靜電包裝中取出ESDS時(shí)，需用防靜電鑷子（避免手直接接觸引腳）；放置ESDS時(shí)，需放在防靜電工作臺(tái)面（或?qū)щ娕菽┥?，禁止放在普通桌面或手上；未使用的ESDS必須立即放回防靜電包裝（避免暴露在空氣中積累靜電）。2.焊接/組裝操作：電烙鐵必須接地（用接地夾連接至工作臺(tái)接地端子）；焊接前，用離子風(fēng)機(jī)吹掃ESDS（去除表面靜電，吹掃時(shí)間≥3秒）；操作中，手腕帶不得斷開（如需離開工位，必須將ESDS放回防靜電容器）。3.不良品處理：發(fā)現(xiàn)疑似ESD損壞的ESDS（如引腳發(fā)黑、測(cè)試不通過），需用“ESD不良”標(biāo)簽標(biāo)記；放入防靜電不良品箱（與合格品隔離），并填寫《ESD不良品記錄》（包括時(shí)間、工位、現(xiàn)象）；質(zhì)量部門需在24小時(shí)內(nèi)完成失效分析（用顯微鏡、ESD測(cè)試儀檢測(cè)）。8.2倉儲(chǔ)物流環(huán)節(jié)操作規(guī)范1.ESDS存儲(chǔ)：存儲(chǔ)環(huán)境：溫度15-30℃，濕度40%-60%，遠(yuǎn)離磁場(chǎng)、熱源；存儲(chǔ)容器：防靜電周轉(zhuǎn)箱（堆疊高度≤3層）或防靜電貨架（接地）；標(biāo)識(shí)：每個(gè)存儲(chǔ)單元需標(biāo)注“ESDS”“存儲(chǔ)期限”（如IC存儲(chǔ)期限為6個(gè)月）。2.ESDS運(yùn)輸：內(nèi)部轉(zhuǎn)運(yùn)：用防靜電推車（車輪為導(dǎo)電橡膠），ESDS需放在防靜電容器中；外部運(yùn)輸：用防靜電包裝（如鋁箔袋+干燥劑），并在包裝外標(biāo)注“易碎”“ESDSensitive”；搬運(yùn)：禁止拖拽、碰撞ESDS容器（避免摩擦產(chǎn)生靜電）。3.入庫/出庫檢查：入庫：檢查ESDS包裝是否完好（防靜電袋無破損、標(biāo)識(shí)清晰），用表面電阻測(cè)試儀檢測(cè)包裝表面電阻（10?-1011Ω為合格）；出庫：核對(duì)《ESDS出庫單》（確認(rèn)接收部門為EPA），并提醒搬運(yùn)人員輕拿輕放。9ESD檢測(cè)與維護(hù)9.1檢測(cè)項(xiàng)目及周期檢測(cè)項(xiàng)目檢測(cè)工具檢測(cè)周期合格標(biāo)準(zhǔn)接地系統(tǒng)電阻接地電阻測(cè)試儀每月1次≤1Ω防靜電手腕帶手腕帶測(cè)試儀每天上崗前綠燈亮（電阻1MΩ±10%）防靜電鞋鞋電阻測(cè)試儀每周1次鞋底電阻10?-10?Ω防靜電工作臺(tái)面表面電阻測(cè)試儀每季度1次10?-10?Ω離子風(fēng)機(jī)離子平衡度靜電場(chǎng)測(cè)試儀每半年1次≤±10V環(huán)境濕度溫濕度計(jì)每天2次（早/晚）40%-60%9.2維護(hù)要求接地系統(tǒng)：若發(fā)現(xiàn)接地端子松動(dòng)或腐蝕，需立即修復(fù)（用砂紙打磨端子表面，重新擰緊）；防靜電材料：工作臺(tái)面出現(xiàn)劃痕或表面電阻超標(biāo)（＞10?Ω），需更換；離子風(fēng)機(jī)：電極積塵過多時(shí)，需用壓縮空氣吹掃（或用酒精棉擦拭）；個(gè)人防護(hù)裝備：手腕帶導(dǎo)線斷裂、防靜電服破損，需立即更換（員工需每周檢查一次裝備狀態(tài)）。10應(yīng)急處理10.1突發(fā)ESD事件處理流程1.立即停止操作：發(fā)現(xiàn)ESDS被靜電放電擊中（如看到火花、聽到響聲），需立即停止操作，關(guān)閉設(shè)備；2.隔離現(xiàn)場(chǎng)：用警示帶圍起操作區(qū)域，禁止無關(guān)人員進(jìn)入；3.報(bào)告與記錄：立即向班組長(zhǎng)報(bào)告，填寫《ESD事件報(bào)告》（包括時(shí)間、工位、ESDS型號(hào)、放電現(xiàn)象）；4.排查原因：ESD管理小組需在1小時(shí)內(nèi)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)，排查原因（如接地失效、濕度太低、員工未戴手腕帶）；5.糾正措施：針對(duì)原因采取措施（如修復(fù)接地、增加加濕器、重新培訓(xùn)員工），并驗(yàn)證效果（如檢測(cè)ESDS是否損壞、環(huán)境是否符合要求）。10.2大規(guī)模ESD事件應(yīng)急預(yù)案定義：同一工位1小時(shí)內(nèi)出現(xiàn)≥5件ESD不良品，或同一批次ESDS≥10%出現(xiàn)ESD損壞；啟動(dòng)流程：1.班組長(zhǎng)立即停止該生產(chǎn)線，通知ESD管理小組；2.質(zhì)量部門封鎖該批次ESDS（包括在制品、成品）；3.ESD管理小組排查原因（如接地系統(tǒng)故障、離子風(fēng)機(jī)失效）；4.采取臨時(shí)措施（如更換接地導(dǎo)線、增加離子風(fēng)機(jī)），并驗(yàn)證效果；5.恢復(fù)生產(chǎn)前，需對(duì)所有員工進(jìn)行ESD防護(hù)再培訓(xùn)（重點(diǎn)講解事件原因及改進(jìn)措施）；6.填寫《ESD事件調(diào)查報(bào)告》（包括原因分析、糾正措施、預(yù)防措施），并提交管理層。11培訓(xùn)與考核11.1培訓(xùn)內(nèi)容基礎(chǔ)理論：ESD危害、ESDS敏感度等級(jí)、ESD防護(hù)基本原則（接地、屏蔽、離子化）；規(guī)程要求：本規(guī)程的核心內(nèi)容（區(qū)域劃分、操作流程、檢測(cè)維護(hù)）；實(shí)操技能：防靜電手腕帶佩戴方法、離子風(fēng)機(jī)使用方法、ESDS取放技巧；應(yīng)急處理：突發(fā)ESD事件的報(bào)告流程、不良品隔離方法。11.2培訓(xùn)周期新員工：入職前必須完成8小時(shí)ESD培訓(xùn)（理論+實(shí)操），考核合格后方可上崗；老員工：每年復(fù)訓(xùn)4小時(shí)（重點(diǎn)講解新增內(nèi)容或事件案例）；管理人員：每年培訓(xùn)2小時(shí)（了解ESD管理要求、事件處理流程）。11.3考核方式理論考核：閉卷考試（滿分100分，≥80分為合格）；實(shí)操考核：現(xiàn)場(chǎng)操作（如佩戴手腕帶、取放ESDS、使用離子風(fēng)機(jī)），由班組長(zhǎng)評(píng)分（≥90分為合格）；考核結(jié)果：不合格者需重新培訓(xùn)，直至合格（未合格者不得從事ESDS相關(guān)工作）。12記錄與追溯12.1記錄類型及保存期限記錄名稱記錄內(nèi)容保存期限《ESD檢測(cè)記錄》接地系統(tǒng)、手腕帶、離子風(fēng)機(jī)、環(huán)境濕度等檢測(cè)結(jié)果2年《ESD不良品記錄》不良品時(shí)間、工位、現(xiàn)象、分析結(jié)果3年《ESD事件報(bào)告》事件時(shí)間、原因、糾正措施、驗(yàn)證結(jié)果5年《ESD培訓(xùn)記錄》培訓(xùn)時(shí)間、對(duì)象、內(nèi)容、考核結(jié)果3年《ESDS流轉(zhuǎn)記錄》ESDS入庫、出庫、轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)間、責(zé)任人產(chǎn)品生命周期內(nèi)12.2追溯要求當(dāng)客戶反饋ESD相關(guān)質(zhì)量問題時(shí)，需通過《ESDS流轉(zhuǎn)記錄》追溯該產(chǎn)品的生產(chǎn)、倉儲(chǔ)、運(yùn)輸環(huán)節(jié)；通過《ESD檢測(cè)記錄》驗(yàn)證該環(huán)節(jié)的ESD防護(hù)狀態(tài)（如生產(chǎn)時(shí)接地是否合格、濕度是否符合要求）；通過《ESD不良品記錄》查看該批次是否有類似問題（如同一工位曾出現(xiàn)ESD不良）；追溯結(jié)果需在48小時(shí)內(nèi)