曝光機(jī)管理辦法一、總則（一）目的為加強(qiáng)公司曝光機(jī)的規(guī)范化管理，確保曝光機(jī)的正常運(yùn)行，提高生產(chǎn)效率，保證產(chǎn)品質(zhì)量，特制定本管理辦法。（二）適用范圍本辦法適用于公司內(nèi)所有曝光機(jī)的管理，包括設(shè)備的采購、驗(yàn)收、使用、維護(hù)、保養(yǎng)、維修、報(bào)廢等環(huán)節(jié)。（三）管理職責(zé)1.設(shè)備管理部門負(fù)責(zé)曝光機(jī)的統(tǒng)籌管理工作，制定設(shè)備管理制度和操作規(guī)程。組織曝光機(jī)的選型、采購、驗(yàn)收等工作。定期檢查曝光機(jī)的運(yùn)行狀況，協(xié)調(diào)解決設(shè)備運(yùn)行中出現(xiàn)的問題。負(fù)責(zé)曝光機(jī)的報(bào)廢鑒定和報(bào)廢處理工作。2.使用部門負(fù)責(zé)曝光機(jī)的日常使用和維護(hù)保養(yǎng)工作，確保設(shè)備的正常運(yùn)行。嚴(yán)格按照操作規(guī)程使用曝光機(jī)，不得違規(guī)操作。負(fù)責(zé)向設(shè)備管理部門反饋曝光機(jī)的故障信息和維修需求。3.維修部門負(fù)責(zé)曝光機(jī)的維修工作，及時(shí)排除設(shè)備故障，確保設(shè)備正常運(yùn)行。建立曝光機(jī)維修檔案，記錄維修情況和更換的零部件。對(duì)曝光機(jī)的維修技術(shù)進(jìn)行研究和改進(jìn)，提高維修質(zhì)量和效率。二、曝光機(jī)的采購與驗(yàn)收（一）采購1.根據(jù)公司生產(chǎn)需求和發(fā)展規(guī)劃，由設(shè)備管理部門提出曝光機(jī)采購申請(qǐng)，經(jīng)公司領(lǐng)導(dǎo)審批后，按照公司采購流程進(jìn)行采購。2.在采購曝光機(jī)時(shí)，應(yīng)充分考慮設(shè)備的性能、質(zhì)量、價(jià)格、售后服務(wù)等因素，選擇具有良好信譽(yù)和技術(shù)實(shí)力的供應(yīng)商。3.采購合同應(yīng)明確設(shè)備的規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、價(jià)格、交貨期、售后服務(wù)等條款，確保合同的合法性和有效性。（二）驗(yàn)收1.曝光機(jī)到貨后，設(shè)備管理部門應(yīng)組織使用部門、維修部門等相關(guān)人員進(jìn)行驗(yàn)收。2.驗(yàn)收內(nèi)容包括設(shè)備的外觀、數(shù)量、規(guī)格、型號(hào)、技術(shù)資料等，確保設(shè)備符合合同要求。3.對(duì)曝光機(jī)進(jìn)行通電調(diào)試，檢查設(shè)備的運(yùn)行狀況，測(cè)試設(shè)備的各項(xiàng)性能指標(biāo)，確保設(shè)備能夠正常運(yùn)行。4.驗(yàn)收合格后，填寫驗(yàn)收?qǐng)?bào)告，辦理設(shè)備入庫手續(xù)。對(duì)驗(yàn)收不合格的設(shè)備，應(yīng)及時(shí)與供應(yīng)商聯(lián)系，要求其更換或處理。三、曝光機(jī)的使用與操作（一）使用前準(zhǔn)備1.使用部門應(yīng)指定專人負(fù)責(zé)曝光機(jī)的操作，操作人員應(yīng)經(jīng)過專業(yè)培訓(xùn)，熟悉設(shè)備的性能和操作規(guī)程。2.在使用曝光機(jī)前，操作人員應(yīng)檢查設(shè)備的外觀是否完好，各部件是否正常，電源、氣源等是否接通。3.檢查曝光機(jī)的工作環(huán)境是否符合要求，溫度、濕度、潔凈度等是否在規(guī)定范圍內(nèi)。4.準(zhǔn)備好所需的曝光材料和工具，如光刻膠、掩膜版、鑷子等。（二）操作流程1.打開曝光機(jī)電源，預(yù)熱設(shè)備，使設(shè)備達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)。2.將掩膜版安裝在曝光機(jī)的掩膜版臺(tái)上，調(diào)整掩膜版的位置和角度，確保掩膜版與光刻膠表面平行。3.將光刻膠均勻地涂覆在硅片或其他基板上，然后將基板放置在曝光機(jī)的工作臺(tái)上。4.根據(jù)光刻工藝要求，設(shè)置曝光機(jī)的曝光參數(shù)，如曝光時(shí)間、曝光能量等。5.啟動(dòng)曝光機(jī)，進(jìn)行曝光操作。在曝光過程中，操作人員應(yīng)密切觀察設(shè)備的運(yùn)行狀況，確保曝光過程正常進(jìn)行。6.曝光完成后，關(guān)閉曝光機(jī)電源，取出基板，進(jìn)行后續(xù)的顯影、蝕刻等工藝操作。（三）使用注意事項(xiàng)1.操作人員應(yīng)嚴(yán)格按照操作規(guī)程使用曝光機(jī)，不得擅自更改設(shè)備的參數(shù)和設(shè)置。2.在曝光過程中，不得觸摸曝光機(jī)的光學(xué)元件和其他敏感部件，以免影響設(shè)備的性能和壽命。3.定期清理曝光機(jī)的工作環(huán)境，保持設(shè)備的清潔衛(wèi)生，防止灰塵、雜物等進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部。4.曝光機(jī)在運(yùn)行過程中如出現(xiàn)異常情況，操作人員應(yīng)立即停止設(shè)備運(yùn)行，并及時(shí)通知設(shè)備管理部門和維修部門進(jìn)行處理。四、曝光機(jī)的維護(hù)與保養(yǎng)（一）日常維護(hù)1.操作人員在每次使用曝光機(jī)后，應(yīng)及時(shí)清理設(shè)備的表面，去除灰塵、雜物等。2.定期檢查曝光機(jī)的各部件是否松動(dòng)、磨損，如有異常情況應(yīng)及時(shí)處理。3.檢查曝光機(jī)的光學(xué)元件是否清潔，如有污垢應(yīng)使用專用清潔劑進(jìn)行清洗。4.定期更換曝光機(jī)的真空泵油、過濾器等耗材，確保設(shè)備的正常運(yùn)行。（二）一級(jí)保養(yǎng)1.一級(jí)保養(yǎng)以操作人員為主，維修人員為輔，每[X]個(gè)月進(jìn)行一次。2.保養(yǎng)內(nèi)容包括設(shè)備的外觀檢查、清潔、緊固各部件、檢查電氣系統(tǒng)、潤(rùn)滑設(shè)備等。3.對(duì)曝光機(jī)的關(guān)鍵部件進(jìn)行檢查和調(diào)整，如曝光光源、掩膜版臺(tái)、工作臺(tái)等。4.填寫一級(jí)保養(yǎng)記錄，記錄保養(yǎng)內(nèi)容和設(shè)備運(yùn)行狀況。（三）二級(jí)保養(yǎng)1.二級(jí)保養(yǎng)以維修人員為主，操作人員參加，每[X]年進(jìn)行一次。2.保養(yǎng)內(nèi)容包括設(shè)備的全面檢查、拆卸、清洗、維修、更換磨損部件等。3.對(duì)曝光機(jī)的精度進(jìn)行檢測(cè)和調(diào)整，確保設(shè)備的各項(xiàng)性能指標(biāo)符合要求。4.填寫二級(jí)保養(yǎng)記錄，記錄保養(yǎng)內(nèi)容和設(shè)備維修情況。五、曝光機(jī)的維修與故障處理（一）維修流程1.曝光機(jī)出現(xiàn)故障后，操作人員應(yīng)及時(shí)通知設(shè)備管理部門和維修部門。2.維修部門接到通知后，應(yīng)及時(shí)安排維修人員到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行故障診斷和維修。3.維修人員在維修前，應(yīng)詳細(xì)了解故障現(xiàn)象和設(shè)備運(yùn)行狀況，制定維修方案。4.維修人員在維修過程中，應(yīng)嚴(yán)格按照維修操作規(guī)程進(jìn)行操作，確保維修質(zhì)量和安全。5.維修完成后，維修人員應(yīng)填寫維修記錄，記錄故障原因、維修過程和更換的零部件等。6.維修部門應(yīng)對(duì)維修后的曝光機(jī)進(jìn)行試運(yùn)行，確保設(shè)備能夠正常運(yùn)行。（二）故障處理1.對(duì)于一般性故障，維修人員應(yīng)及時(shí)排除，恢復(fù)設(shè)備的正常運(yùn)行。2.對(duì)于較為復(fù)雜的故障，維修人員應(yīng)組織技術(shù)人員進(jìn)行會(huì)診，共同制定維修方案，確保故障得到徹底解決。3.在故障處理過程中，如發(fā)現(xiàn)設(shè)備存在安全隱患或其他重大問題，應(yīng)立即停止設(shè)備運(yùn)行，并采取相應(yīng)的措施進(jìn)行處理。4.對(duì)于因設(shè)備故障導(dǎo)致的生產(chǎn)延誤，維修部門應(yīng)及時(shí)向設(shè)備管理部門和使用部門反饋，以便采取相應(yīng)的措施減少損失。六、曝光機(jī)的報(bào)廢管理（一）報(bào)廢鑒定1.當(dāng)曝光機(jī)出現(xiàn)下列情況之一時(shí)，可申請(qǐng)報(bào)廢鑒定：設(shè)備已超過規(guī)定的使用年限，且技術(shù)性能嚴(yán)重下降，無法滿足生產(chǎn)需求。設(shè)備因嚴(yán)重?fù)p壞，無法修復(fù)或修復(fù)成本過高。設(shè)備因技術(shù)更新?lián)Q代，已被新型設(shè)備所替代，且無使用價(jià)值。2.由設(shè)備管理部門組織相關(guān)人員對(duì)申請(qǐng)報(bào)廢的曝光機(jī)進(jìn)行技術(shù)鑒定，填寫報(bào)廢鑒定報(bào)告。（二）報(bào)廢處理1.經(jīng)鑒定符合報(bào)廢條件的曝光機(jī)，由設(shè)備管理部門提出報(bào)廢申請(qǐng)，經(jīng)公司領(lǐng)導(dǎo)審批后，按照公司固定資產(chǎn)報(bào)廢處理流程進(jìn)行處理。2.報(bào)廢的曝光機(jī)應(yīng)進(jìn)行拆卸、清理，對(duì)可利用的零部件進(jìn)行回收，其余部分按照公司規(guī)定進(jìn)行處理。3.設(shè)備管理部門應(yīng)建立報(bào)廢設(shè)備檔案，記錄報(bào)廢設(shè)備的相關(guān)信息，如設(shè)備名稱、型號(hào)、購置時(shí)間、報(bào)廢時(shí)間、報(bào)廢原因等。七、培訓(xùn)與考核（一）培訓(xùn)1.設(shè)備管理部門應(yīng)定期組織曝光機(jī)操作人員和維修人員進(jìn)行培訓(xùn)，提高其業(yè)務(wù)水平和操作技能。2.培訓(xùn)內(nèi)容包括曝光機(jī)的工作原理、操作規(guī)程、維護(hù)保養(yǎng)知識(shí)、故障處理方法等。3.培訓(xùn)方式可采用內(nèi)部培訓(xùn)、外部培訓(xùn)、現(xiàn)場(chǎng)操作演示等多種形式。（二）考核1.對(duì)曝光機(jī)操作人員和維修人員進(jìn)行定期考核，考核內(nèi)容包括理論知識(shí)