引 (Ⅱ) 范 (1 (1 (1測 (1輪廓臺階高 (1輪廓臺階高度示值重復(fù) (1概 (1 (2靜態(tài)測量 (2輪廓水平分（X軸示值誤 (2輪廓垂直分量（Z軸）示值誤 (2輪廓臺階高度示值誤 (2輪廓臺階高度示值重復(fù) (2 (2環(huán)境條 (2校準(zhǔn)用計(jì)量器 (3校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方 (3靜態(tài)力測 (3輪廓水平分（X軸示值誤 (3輪廓垂直分量（Z軸）示值誤 (3輪廓臺階高度示值誤 (4輪廓臺階高度示值重復(fù) (4校準(zhǔn)結(jié)果表 (4復(fù)校時(shí)間間 (5附錄 輪廓臺階高度測量結(jié)果不確定度評定示 (6附錄 校準(zhǔn)證書內(nèi) (9 本規(guī)范參照GB/T19600-2004《產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范（GPS）表面結(jié)構(gòu)輪廓法接觸（觸針），GB/T6062-2009《產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS）（觸針）式儀器的標(biāo)稱特性》和接觸（觸針）式儀器使用說明書，以及結(jié)合實(shí)際使用制定，并依據(jù)國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)JJF1001-2011JJF1059.1-2012GB/T3505-2009（GPS）GB/T6062-2009（GPS）（觸針）式儀器GB/T17163-2008GB/T19067.1-2003（GPS）1部分GB/T19600-2004（GPS）（觸針）式儀JB/T11271-2012接觸（觸針）測針contourstep輪廓臺階高度示值重復(fù)性repeatabilityofcontourstepheight輪廓儀一般由測針、傳感器、驅(qū)動(dòng)箱、計(jì)算機(jī)等組成，示意圖如圖1圖1輪廓水平分量（X軸）輪廓垂直分量（Z軸）輪廓儀及校準(zhǔn)用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備在室內(nèi)連續(xù)平衡溫度的時(shí)間不少于1h1激光干涉儀，MPE:±（0.03μm+1.5×10-6L，L3等量塊，23等量塊，2輪廓臺階高度示值重復(fù)3等量塊，2顯示指向零位。讀出電子天平的示值，再乘以重力加速度g(g=9.8m/s2)，即為測針靜輪廓水平分量（X軸）輪廓垂直分量（Z軸） 2經(jīng)校準(zhǔn)的輪廓儀出具校準(zhǔn)證書，測量結(jié)果不確定度評定示例見附錄A，附錄度下的測量，進(jìn)而進(jìn)行不確定度評定。這里采用10mm和20mm?=????? ??=???=1,??=???= ??2(?)=??2???2(????)+??2? 輪廓儀引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度輪廓儀在量塊固定傾斜角度下測量重復(fù)性引起的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量20.0038mm,20.0045mm，20.0035mm,20.0029mm，20.0033mm,20.0041mm,20.0044mm，20.0043mm??(??i)=0.513μm/√3=將量塊傾斜放置多個(gè)傾斜角度進(jìn)行測量，測量結(jié)果和量塊相應(yīng)傾斜角度如表A1A118.5°20.0138mm和70.9°的19.9953mm。則最大可能值為20.0034mm，最小可能值??=

(20.0034?19.9960)mm=假定在區(qū)間內(nèi)為均勻分布，取??=√3??2(????)=3.7μm/√3=??(????)=√0.2962+2.1362=標(biāo)準(zhǔn)器引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度3等標(biāo)準(zhǔn)量塊中心長度擴(kuò)展不確定度為（0.10μm+1×10-6Ls。置信概率??2(????)=????(???20)×α/√3=按照量塊研合后降等，平面度按照0.2μm??3(????)=0.2/√3=綜合(1)(2)、(3)，??(????)=√0.0452+0.3982+0.1152=標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量一覽表如表A2????=√??2???2(????)+??2? ????=