3半導(dǎo)體設(shè)備高分子材料零部件焊接加工技術(shù)規(guī)范本文件規(guī)定了石英材料零部件焊接加工的術(shù)語和定義，堆料加工、焊接加工、對接加工、折彎加工、火補(bǔ)修理的工藝規(guī)程、質(zhì)量檢測方法、環(huán)境管控、清洗要求和焊工要求。本文件適用于石英材料的焊接工藝規(guī)程。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本文件。3.1石英焊接quartzwelding通過高溫熔融的焊棒將2個或2個以上的石英零部件連成1個石英產(chǎn)品的過程。3.2石英精燒（火拋光）quartzfirepolishing通過燃燒氫氧氣產(chǎn)生的高溫火焰，對石英產(chǎn)品表面進(jìn)行火拋光處理，使制品表面達(dá)到鏡面的狀態(tài)。3.3石英退火quartzannealing通過高溫退火爐在一定溫度下對產(chǎn)品進(jìn)行加熱保溫，去除產(chǎn)品在加工過程中形成的應(yīng)力缺陷，增強(qiáng)產(chǎn)品的穩(wěn)定性。4石英焊接工藝概述4.1石英焊接quartzwelding通過高溫熔融的焊棒將2個或2個以上的石英零部件組裝成1個石英產(chǎn)品的過程。4.2石英精燒（火拋光）quartzfirepolishing通過燃燒氫氧氣產(chǎn)生的高溫火焰，對石英產(chǎn)品表面進(jìn)行火拋光處理，使制品表面達(dá)到鏡面的狀態(tài)。4.34石英退火quartzannealing通過高溫退火爐在一定溫度下對產(chǎn)品進(jìn)行加熱保溫，去除產(chǎn)品在加工過程中形成的應(yīng)力缺陷，增強(qiáng)產(chǎn)品的穩(wěn)定性。5堆料加工5.1工藝原理通石英產(chǎn)品中有部分類型是帶凸臺結(jié)構(gòu)，考慮到原材料、機(jī)加工整體加工的綜合成本較高，往往會選擇在合適厚度的材料上通過火加工方式堆料加工，然后再進(jìn)行局部MC加工。5.2操作方法5.2.1材料清洗。將需要加工的毛坯進(jìn)行，工程洗凈，清洗干凈后放置在干凈白布中，待加5.2.2堆料加工。選擇合適的焊棒（根據(jù)堆料的體積大?。?，在毛坯對應(yīng)位置進(jìn)行堆料，堆料過程中控制堆料部位沒有氣泡殘留。5.2.3退火。將堆料完成的毛坯件，送入退火爐內(nèi)保溫，去除應(yīng)力。5.2.4檢查。重點(diǎn)檢查產(chǎn)品的外形尺寸是否滿足加工要求，產(chǎn)品無明顯殘余應(yīng)力。5.2.5機(jī)加工。機(jī)加工接收堆料后的毛坯料，加工圖紙對應(yīng)特征。5.3注意事項(xiàng)5.3.1焊棒材質(zhì)需與主體毛坯石英同等材料，防止因材質(zhì)不同造成的產(chǎn)品純度不良。5.3.2堆料加工時的堆料體積應(yīng)比最終尺寸大，防止因加工偏移造成，特征無法加工成型。5.3.3對平面度有要求的產(chǎn)品，在退火過程中需要使用平整的退火石英板。6焊接加工6.1工藝原理通過氫氧火焰熔融石英焊棒以及石英部件，利用高溫熔融的焊棒將2個或2個以上的石英零部件組裝成1個石英產(chǎn)品。6.2操作方法56.2.1部品倒角。將需要焊接的部品根據(jù)焊接情況進(jìn)行研磨倒角。6.2.2部品清洗。將需要焊接的部品進(jìn)行工程洗凈，清洗干凈后用干凈的洗凈白布包裹保護(hù)，待加工。6.2.3組裝假接。在焊接前，焊工需根據(jù)圖紙要求組裝各個部品，必要時使用定制的石墨治具進(jìn)行裝夾，部品定位后，使用石英焊棒用點(diǎn)焊、線焊方式，將需要焊接的部件固定。6.2.4尺寸檢查確認(rèn)。在正式焊接前，需確認(rèn)產(chǎn)品的焊接尺寸正常，利用現(xiàn)場的檢查量具、數(shù)顯卡尺、高度尺等，若需要測量同軸度、垂直度等尺寸，需將產(chǎn)品送到QC進(jìn)行檢查，檢查合格則進(jìn)入下一步焊接，若尺寸不滿足圖紙控制要求，需要火加工進(jìn)行尺寸調(diào)整，合格后方可進(jìn)行焊接。6.2.5焊接加工。選擇合適的焊棒（根據(jù)焊接縫隙的大小加熱需要焊接的區(qū)域，并加熱焊棒頭部，在焊接部位進(jìn)行堆料，直至焊接縫隙被填充飽滿。6.2.6退火。將焊接完成的工程品，送入退火爐內(nèi)保溫，去除應(yīng)力。注意在退火放置過程中需要考慮產(chǎn)品的退火變形程度，選擇合適的退火方式、退火治具和退火時間。6.3焊接開坡口方法6.3.1板與板垂直焊接，需選擇一側(cè)的板進(jìn)行倒角開焊接坡口（一般選擇厚度較薄、尺寸較小的板）。厚度在5mm以內(nèi)可以選擇直接熔融粘接，厚度大于5mm的一般選擇在一側(cè)開60°坡口，當(dāng)厚度大于30mm時考慮焊接效果，采用兩側(cè)同時開坡口。6.3.2板與板水平焊接，需選擇一側(cè)的板進(jìn)行倒角開焊接坡口。厚度在5mm以內(nèi)可以選擇直接熔融對接，厚度大于5mm的一般選擇在一側(cè)開“V”型坡口，當(dāng)厚度大于30mm時考慮焊接效果，采用兩側(cè)同時開坡口。6.3.3板與板對角焊接，一般情況下板不需要進(jìn)行倒角。將2塊板固定牢固，板與板間預(yù)留1-2mm焊縫，對于4mm以內(nèi)的板可以預(yù)留焊縫，直接使用焊槍對兩側(cè)同時加熱，即可熔融連6接，再進(jìn)行填料或者使用石墨治具修整。對于4mm以上的板，先使用φ2.5-3mm的焊棒加熱連接2塊板，再在焊縫上進(jìn)行堆料，將焊縫填充滿。6.3.4棒與板焊接，一般選擇對石英棒進(jìn)行焊接倒角。直徑在φ10mm以內(nèi)可以選擇直接熔融對接，直徑大于10mm的一般選擇在棒焊接的一側(cè)開45°型坡口。對于板厚度較薄，棒較大的產(chǎn)品，如板厚小于20mm的也可考慮在板的對應(yīng)位置開圓孔，將棒定位到圓孔位置，再進(jìn)行焊接。6.4注意事項(xiàng)6.4.1焊棒材質(zhì)需與石英部品同等材料，防止因材質(zhì)不同造成的產(chǎn)品純度不良。6.4.2焊接加工時要注意焊料的熔融，防止因應(yīng)力過大導(dǎo)致產(chǎn)品開裂。6.4.3焊接加工時要注意焊接區(qū)域內(nèi)無氣泡和雜質(zhì)。6.4.4焊接的焊料必須充足，防止后續(xù)研磨后焊接部位出現(xiàn)凹坑和缺料。6.4.5對平面度有要求的產(chǎn)品，在退火過程中需要使用平整的退火石英板。7對接加工7.1工藝原理通過氫氧氣燃燒的高溫火焰將兩個石英部件兩端同時進(jìn)行加熱，再通過特定的工具快速將兩者進(jìn)行擠壓，使兩個石英部件快速結(jié)合成一體的焊接加工方式。對接加工的優(yōu)勢有：效率高、成本節(jié)約、同軸度等尺寸精度較高。7.2操作方法7.2.1圖紙確認(rèn)。確認(rèn)需要對接的兩個部品尺寸和成品尺寸，根據(jù)對接消耗尺寸，確定部品全長是否需要加工?；蛘哌x擇先預(yù)留余量，對接后再加工全長。77.2.2對接部位預(yù)處理。①石英在受熱擠壓過程中，將形成擠出料，有時需要控制減少過多的擠出料，可以將部件一端進(jìn)行倒圓角處理。②不同直徑的部件進(jìn)行對接時，需要先進(jìn)行直徑修理，再進(jìn)行對接。③對接前需要處理產(chǎn)品表面的毛刺，防止造成對接開裂和減少對接部外觀的影響。7.2.3部品清洗。將需要對接的部品進(jìn)行工程洗凈，清洗干凈后用干凈的洗凈白布包裹保護(hù)，大型產(chǎn)品則放置在潔凈區(qū)域內(nèi)，待加工。7.2.4設(shè)備確認(rèn)。在對接作業(yè)前，對使用的設(shè)備進(jìn)行點(diǎn)檢確認(rèn)，確認(rèn)設(shè)備處于正常情況下方可進(jìn)行加工，并確認(rèn)好產(chǎn)品加工所需的輔料、防護(hù)用品、治具、量具齊全。7.2.5產(chǎn)品裝夾。將需要對接的產(chǎn)品裝夾到設(shè)備的兩端，并用卡爪固定。7.2.6尺寸條件確認(rèn)。在正式對接前，需確認(rèn)產(chǎn)品對接相關(guān)尺寸，確認(rèn)兩側(cè)部品的同軸度和直線度，確認(rèn)無誤后開啟焊槍設(shè)備。7.2.7對接加工。選擇合適的焊槍，移動設(shè)備轉(zhuǎn)盤，使兩個部件互相靠近，預(yù)留10-20mm的對接間隙，使用焊槍同時加熱兩側(cè)的部件，人員在佩戴遮光眼鏡下觀察兩側(cè)部件熔融情況，在即將熔融情況下，快速將兩側(cè)部件擠壓靠近。7.2.8去應(yīng)力。對接完成后，使用焊槍對對接部位進(jìn)行火燒，減少對接應(yīng)力。并檢查對接外觀是否滿足要求。7.2.9退火。將對接完成的工程品，送入退火爐內(nèi)保溫，去除應(yīng)力。注意在退火放置過程中需要考慮產(chǎn)品的退火變形程度，選擇合適的退火方式、退火治具和退火時間。7.3對接類型和對接方法進(jìn)行加工即可。一般可對接加工40mm以內(nèi)的石英棒。進(jìn)行加工即可。石英管對接的尺寸取決于旋盤設(shè)備卡爪的張開極限。小型旋盤設(shè)備一般能夠加工60mm以內(nèi)的管，大型旋盤設(shè)備可加工550mm左右的管。7.3.3管和管對接。不同規(guī)格（外徑）的石英管，分別裝夾到旋盤機(jī)兩端，因內(nèi)外徑不同的管子無法進(jìn)行直接連接，需先將尺寸較大的管體進(jìn)行動火壓錐度，將對接部位的內(nèi)外徑加工到尺寸較小管體相同尺寸。再按照7.2.1~7.2.7進(jìn)行對接。7.3.4棒和板對接。棒和板連接除了焊接工藝外，還可以選擇對接工藝。對接更為效率高、尺寸精度也較好、且不需要消耗焊棒。棒對接到石英板上，對于尺寸要求較高的、或需要一次成型的，可以通過設(shè)計(jì)石墨裝夾治具，將石英棒豎直方向上進(jìn)行裝夾，裝夾后可調(diào)節(jié)上下位置，通過加熱對接部位，一次擠壓成型。88折彎加工8.1工藝原理折彎加工通過氫氧氣燃燒的高溫火焰將石英部件局部進(jìn)行加熱，使局部軟化，再通過特定的工具使產(chǎn)品按照需要進(jìn)行一定程度的變形，以達(dá)到圖紙要求的加工方式。折彎加工的優(yōu)勢有：可以加工異型件、成本節(jié)約、效率優(yōu)于一般加工方式。8.2對接類型和對接方法8.2.1方板類折彎。在石英水槽類產(chǎn)品中有部分底板結(jié)構(gòu)并不是平板，而是彎板結(jié)構(gòu)。如果采用MC整體掏料加工，會造成大量的原材料浪費(fèi)，且加工時間較長。使用焊接拼焊的方式，則需要經(jīng)過多道工序，較為繁瑣。使用折彎的方式則能明顯提升加工效率。8.2.2棒類折彎。棒類折彎相對比較簡單，只需要根據(jù)1比1尺寸輪廓，在對應(yīng)的棒位置進(jìn)行加熱彎曲即可。連續(xù)折彎或弧形折彎，對進(jìn)度要求較高的，可考慮定制彎棒治具。8.2.3長條石英塊折彎。半導(dǎo)體石英環(huán)類產(chǎn)品中有大尺寸環(huán)類，例如隔離環(huán)，外徑達(dá)到1000mm。大型環(huán)的原材料較為稀少，通過在石英錠上進(jìn)行切割的話，材料的損耗以及加工成本較高?？梢圆庞惺K彎曲成四分之一環(huán)，再焊接成圓環(huán)的方式加工。需要注意此方法只能加工成大致毛坯狀態(tài)，最終產(chǎn)品還需MC進(jìn)行精密加工，焊接的材料需要預(yù)留加工余量。8.2.4管類折彎。石英管的折彎一般是外徑φ30mm以內(nèi)，大型石英管折彎的難度較大，需要大型設(shè)備進(jìn)行加工。管類折彎有局部折彎和整體連續(xù)彎曲兩類。局部彎曲的代表產(chǎn)品例如石英保護(hù)管、噴射管類。整體彎曲的產(chǎn)品在清洗工藝中用的較多，如廢液瓶。8.3操作方法98.3.1部品清洗。將需要焊接的部品進(jìn)行工程洗凈，清洗干凈后用干凈的洗凈白布包裹保護(hù)，待加工8.3.2設(shè)備確認(rèn)。在折彎作業(yè)前，并確認(rèn)好產(chǎn)品加工所需的輔料、防護(hù)用品、治具、量具齊全。8.3.3折彎加工。在折彎前，需根據(jù)圖紙要求裝夾折彎件，必要時使用定制的石墨治具進(jìn)行裝夾，根據(jù)1比1標(biāo)記進(jìn)行折彎操作。8.3.4尺寸檢查確認(rèn)。折彎加工后對工件的尺寸進(jìn)行確認(rèn)，包括弧度，R角等，若尺寸不滿足圖紙控制要求，需要火加工進(jìn)行尺寸調(diào)整，合格后方可進(jìn)行下一步。8.3.5退火。將對接完成的工程品，送入退火爐內(nèi)保溫，去除應(yīng)力。注意在退火放置過程中需要考慮產(chǎn)品的退火變形程度，選擇合適的退火方式、退火治具和退火時間。9火補(bǔ)修理9.1工藝原理因石英產(chǎn)品本身特性，容易在加工過程中產(chǎn)生裂紋、缺口。此時為降低報(bào)廢，可以選擇使用火加工修補(bǔ)方式進(jìn)行修復(fù)。9.2操作方法9.2.1填寫動火返修單。依照返修單填寫好產(chǎn)品信息，發(fā)生部門填寫產(chǎn)品不良發(fā)生原因以及預(yù)防對策。9.2.2交接產(chǎn)品。需求部門與火加工負(fù)責(zé)修補(bǔ)的人員進(jìn)行產(chǎn)品交接，明確修理內(nèi)容。9.2.3產(chǎn)品清洗。MC加工后的產(chǎn)品。需確保經(jīng)過脫蠟洗凈、煮沸洗凈，表面無油脂殘留。然后進(jìn)行火加工前的工程洗凈。清洗干凈后用干凈的洗凈白布包裹保護(hù)，大型產(chǎn)品則放置在潔凈區(qū)域內(nèi)，待加工。9.2.4火補(bǔ)修理。選用合適焊棒對修補(bǔ)區(qū)域進(jìn)行填料加工。9.2.5退火。將火補(bǔ)完成的產(chǎn)品，送入退火爐內(nèi)保溫，去除應(yīng)力。9.2.6檢測?；鹧a(bǔ)后的產(chǎn)品進(jìn)行外觀檢查和應(yīng)力檢測，合格后方可流入下道工序，并做好檢查記錄。9.3注意事項(xiàng)9.3.1火補(bǔ)產(chǎn)品進(jìn)過的修理工序，需在返修記錄表上記錄加工履歷（參數(shù)、人員、日期保證產(chǎn)品加工流程的可追溯性。9.3.2火補(bǔ)產(chǎn)品的修理工序，需注意產(chǎn)品的搬運(yùn)和放置方法，防止產(chǎn)生新的缺口、裂紋、劃傷等缺陷。9.3.3火補(bǔ)作業(yè)時，操作人員需按照正常加工要求，做好人員防護(hù)以及產(chǎn)品防護(hù)。9.3.4對于修理風(fēng)險(xiǎn)較大的產(chǎn)品，例如大型產(chǎn)品、結(jié)構(gòu)復(fù)雜多臺階直角、裂紋缺口較多的。需提前做好修理方案，采用退火爐保溫修理、多人操作、分次修補(bǔ)等方式，減少產(chǎn)品開裂風(fēng)10質(zhì)量檢測10.1檢測對象火加工產(chǎn)品的尺寸及外觀需嚴(yán)格按照基準(zhǔn)書規(guī)定進(jìn)行；若客戶有專用檢驗(yàn)要求，則按照客戶要求進(jìn)行檢查。10.2缺陷術(shù)語10.2.1裂紋：產(chǎn)品表面的裂縫、裂口。10.2.2缺口：產(chǎn)品端面的缺料。10.2.3材料氣泡：一種是材料本身加工過程中形成的內(nèi)部空洞，可能是球狀也可能是線狀。10.2.4焊接氣泡：在焊接過程中因焊槍火焰不當(dāng)、手法不正確、焊接過快在產(chǎn)品焊接部位形成氣泡或氣線。10.2.5劃傷：產(chǎn)品外表面的擦傷，形成的發(fā)白痕跡。10.2.6失透：產(chǎn)品表面的附著物在退火過程中，形成的白色點(diǎn)狀結(jié)晶。10.2.7嘎斯（gas）：焊接或精燒過程中，形成的白色二氧化硅附著物。10.2.8異物：燒在產(chǎn)品表面的白色、黑色及其他有色附著物。10.2.9修理痕跡：在修理產(chǎn)品表面劃傷、異物等不良時，在產(chǎn)品表面形成的范圍性凹凸痕跡。10.3尺寸檢查10.3.1圖紙已標(biāo)注公差的尺寸，按照圖紙要求進(jìn)行檢查。10.3.2圖紙上未指定公差的尺寸及幾何公差，通過表1自由尺寸公差表進(jìn)行判定。表-1自由公差表單位:mm基準(zhǔn)尺寸的區(qū)分一般管、棒類管類角度長度外徑>3且≤6>6且≤10>10且≤30>30且≤80>80且≤180>180且≤315>315且≤500>500且≤1000>1000且≤2000>2000且≤3150注：以上尺寸公差是經(jīng)噴砂、退火等所定的項(xiàng)目已完成后的最終尺寸。10.4外觀檢查在300~500勒克斯的照明條件下進(jìn)行，目視離產(chǎn)品30cm左右距離檢查。再檢查發(fā)現(xiàn)有外觀問題項(xiàng)目時，可使用帶刻度10X放大鏡進(jìn)行測量，檢查基準(zhǔn)參照表2外觀項(xiàng)目確認(rèn)表。表2外觀項(xiàng)目確認(rèn)表序號項(xiàng)目要求1裂紋2缺口產(chǎn)品端面深度＜1.0mm，且長度＜2.0mm的缺口允許。缺口需要精燒處理過。3氣泡氣泡大小與材料厚度相對比的比例應(yīng)為＜1/3。密集重疊氣泡計(jì)算大小時按照總大小判定。最大氣泡大小應(yīng)<φ1.3mm。100mm*100mm范圍內(nèi)，φ0.5以上氣泡超過＜5個。4氣線在內(nèi)部寬≤1mm、長≤200mm及露出表面的被精燒過的為良。100mm*100mm范圍內(nèi)寬≤1mm、長≤20mm氣線數(shù)量＜2條。5劃傷發(fā)白劃傷且目視有一定深度的不允許。經(jīng)過拋光，目視不明顯的劃傷允許。6失透最大徑≤1.3mm允許。100mm*100mm范圍內(nèi)，外徑大于φ0.4mm的失透數(shù)量＜5個。7嘎斯（gas）目視無明顯嘎斯。但對于密封結(jié)構(gòu)工藝無法去除的嘎斯允許。8異物面積小于200mm*200mm的產(chǎn)品，異物大?。睛?.0mm為不良；100mm*100mm范圍內(nèi)，外徑大于φ0.4mm的異物數(shù)量≥5個為不面積大于200mm*200mm的產(chǎn)品，異物大小＞φ2.0mm為不良；100mm*100mm范圍內(nèi)，外徑大于φ0.4mm的異物數(shù)量≥5個為不紅色異物不允許。9修理痕跡修理痕跡部位，產(chǎn)品的相關(guān)尺寸如內(nèi)徑、外徑、厚度需在規(guī)格公差內(nèi)。面積小于200mm*200mm的產(chǎn)品，修理痕跡范圍＞φ20mm為不良。面積大于200mm*200mm的產(chǎn)品，修理痕跡范圍＞φ30mm為不良。10.5應(yīng)力檢查使用可以讀取應(yīng)力角度值的應(yīng)力儀，檢查產(chǎn)品應(yīng)力在15o以下，視為產(chǎn)品無明顯應(yīng)力。若客戶有特殊需求，則按照客戶要求。11環(huán)境控制11.1人員要求11.1.1人員穿著純棉工作服，佩戴純棉工作帽，純棉手套，不使用化纖制品的衣物和防護(hù)用品。11.1.2人員作業(yè)過程中需佩戴口罩，防止唾液飛濺到產(chǎn)品上。11.1.3焊接區(qū)域工作鞋應(yīng)與其他外部區(qū)域用鞋區(qū)分，減少外界污染的引入。11.1.4焊接作業(yè)時不能使用吸塵器、拖把、抹布等可能產(chǎn)生塵埃的工具打掃衛(wèi)生，防止灰塵飛落到產(chǎn)品上影響產(chǎn)品最終品質(zhì)和性能。11.1.5接觸焊接車間的石墨治具、平臺、量具、焊槍等物品必須戴手套，不可裸手接觸。11.2壓差要求11.2.1焊接車間需配備風(fēng)機(jī)循環(huán)系統(tǒng)（包括經(jīng)過過濾的新風(fēng)以及排風(fēng)）。11.2.2焊接車間相對于外部環(huán)境如走廊保持正壓，壓力一般控制在2~20Pa之間，超出范圍需要對風(fēng)機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行檢查修理。11.3.3每日需對加工車間壓差進(jìn)行確認(rèn)，確保壓差在規(guī)定值內(nèi)。11.3潔凈度要求11.2.1半導(dǎo)體用的石英零部件對產(chǎn)品外觀要求較高，因此焊接工序車間的潔凈度有一定的要求，一般需要達(dá)到十萬級及以上（0.5μm顆粒物數(shù)量小于100000）。11.2.2潔凈度測量使用專門的顆粒度測量儀器，在風(fēng)機(jī)系統(tǒng)開啟運(yùn)行1小時后進(jìn)行測定，以確保測量的準(zhǔn)確性。11.3.3測量注意點(diǎn)：測量時清潔度儀放在固定臺面上，保持水平；離取樣口1.5m范圍內(nèi)不應(yīng)有其他人走動、說話及作業(yè)，以免影響測量數(shù)據(jù)可靠性。清潔度測量時必須避開對風(fēng)口。12清洗要求12.1清洗流程12.1.1脫脂洗凈：需要焊接的部件使用脫脂液進(jìn)行擦拭，去除部件表面油脂。12.1.2純水沖淋：使用純水沖洗部件，去除表面脫脂液殘留。12.1.3硝酸清洗：將產(chǎn)品浸泡在硝酸槽中，以去除表面的金屬顆粒。12.1.4純水洗凈：將產(chǎn)品放入純水槽中，去除殘留酸液。12.1.5氫氟酸清洗：將產(chǎn)品浸泡在氫氟酸槽中，對部件表面進(jìn)行表面酸液蝕刻。12.1.6純水洗凈：將產(chǎn)品放入純水槽中，去除殘留酸液。12.1.7純水沖淋：石英純水沖洗整個部件。12.2超聲波清洗12.2.1打磨后需要精燒的產(chǎn)品，洗凈增加超聲波清洗，去除產(chǎn)品表面研磨顆粒。12.2.2厚度薄、結(jié)構(gòu)強(qiáng)度較弱的產(chǎn)品不適宜進(jìn)行超聲波清洗，容易造成開裂。若需要超聲波清洗，需調(diào)低超聲波強(qiáng)度。12.3酸溶液槽的日常管理12.3.1酸溶液槽在本文件中包含HF酸槽和硝酸槽。12.3.2為了防止酸溶液槽中的酸液大量揮發(fā)，不使用時應(yīng)加蓋；工作時間確保排風(fēng)裝置正常運(yùn)轉(zhuǎn)。12.3.3酸槽工作期間應(yīng)打開循環(huán)過濾泵，下班時關(guān)閉循環(huán)過濾泵。循環(huán)過濾所用濾芯更換周期為每月更換一次。若日常點(diǎn)檢過程中發(fā)現(xiàn)槽體有明顯臟污，可提前進(jìn)行更換。12.3.4HF溶液更換周期管理：每月更換一次，或洗凈產(chǎn)品數(shù)量達(dá)到500件時，日期或產(chǎn)品件數(shù)有一項(xiàng)到期時即可更換酸液。更換酸液時對酸槽內(nèi)壁進(jìn)行全面清洗與維護(hù)；若更換周期未到，酸液被污染，需緊急進(jìn)行更換。產(chǎn)品的清洗記錄，填寫到《火加工工程洗凈記錄表》中，文件編號：MD-02-202406-602A*。12.3.5HNO3溶液更換周期管理：每月更換一次，或洗凈產(chǎn)品數(shù)量達(dá)到500件時，日期或產(chǎn)品件數(shù)有一項(xiàng)到期時即可更換酸液。更換酸液時對酸槽內(nèi)壁進(jìn)行全面清洗與維護(hù)；若更換周期未到，酸液被污染，需緊急進(jìn)行更換。產(chǎn)品的清洗記錄，填寫到《火加工工程洗凈記錄表》中，文件編號：MD-02-202406-602A*。12.3.6酸液濃度每周檢測一次，若發(fā)現(xiàn)濃度異常及時進(jìn)行加液或加純水處理。12.3.7含酸廢液的回收方法：直接從水槽的排放管道排放至公司廢液收集處進(jìn)行收集。排酸過程中需要有1人在廢水收集站觀察廢液桶的液位，若液位將滿，需立刻通知排酸人員關(guān)閉排酸閥門，通知危廢處理人員更換廢液桶。12.4酸溶液槽溫度管理12.4.1酸槽溫度控制在30℃±3℃,加熱設(shè)定器統(tǒng)一設(shè)定為30℃,每日分早中晚三次對酸溶液溫度進(jìn)行監(jiān)測。規(guī)定早晨溫度升到30℃后點(diǎn)檢并開始生產(chǎn)，其他檢測時間中午（12：30-13：00），晚上（18：00-18：30），晚上若未進(jìn)行生產(chǎn)不測量。相關(guān)點(diǎn)檢記錄填入《HZRS-MD-03-600-002*火加工洗凈酸槽點(diǎn)檢表》。12.4.2酸液溫度監(jiān)測過程中，發(fā)現(xiàn)異常時，需要對發(fā)生日期、時間、異常內(nèi)容、臨時處置等進(jìn)行記錄。酸液溫度監(jiān)控發(fā)生異常時，先對加熱管斷電處理，然后匯報(bào)上長和設(shè)備管理擔(dān)當(dāng)，等待指示和修理。當(dāng)設(shè)備修理完畢時，設(shè)備溫度恢復(fù)正常后方可使用。洗凈槽發(fā)生異常時正在洗凈的產(chǎn)品，從洗凈槽中取出，用純水沖洗后放入洗凈后產(chǎn)品放置區(qū)，待洗凈槽正常工作后重新按照洗凈流程進(jìn)行洗凈。12.4.3為防止因加熱管絕緣套破損而污染酸槽的情況發(fā)生，每次全量更換酸溶液時，應(yīng)對加熱管絕緣套進(jìn)行檢查，確認(rèn)是否有異常情況存在。如有，及時報(bào)告上長及設(shè)備管理擔(dān)當(dāng)。12.5純水槽的日常管理