ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T45768—2025/ISO178622022

:

表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜

單離子計(jì)數(shù)飛行時(shí)間

質(zhì)譜分析器的強(qiáng)度標(biāo)線性

Surfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—Linearity

ofintensityscaleinsingleioncountingtime-of-flightmassanalysers

ISO178622022IDT

(:,)

2025-06-30發(fā)布2026-01-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T45768—2025/ISO178622022

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語定義符號和縮略語

3、、………………1

術(shù)語和定義

3.1…………………………1

符號

3.2…………………1

縮略語

3.3………………2

方法概述

4…………………3

強(qiáng)度線性評估程序

5………………………3

獲取參考樣品

5.1………………………3

安裝樣品的準(zhǔn)備

5.2……………………3

安裝樣品

5.3……………3

操作儀器

5.4……………5

采集數(shù)據(jù)

5.5……………6

檢查線性

5.6……………9

重復(fù)測量的間隔

6…………………………13

附錄規(guī)范性柵格掃描尺寸離子束流分析幀數(shù)和每脈沖計(jì)數(shù)的計(jì)算

A()、、…………14

計(jì)算

A.1………………14

靜態(tài)的示例

A.2SIMS…………………14

參考文獻(xiàn)

……………………15

Ⅰ

GB/T45768—2025/ISO178622022

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜單離子計(jì)數(shù)飛行時(shí)間質(zhì)譜分析

ISO17862:2022《

器的強(qiáng)度標(biāo)線性

》。

本文件做了下列最小限度的編輯性改動(dòng)

:

中沒有附錄本文件在圖校準(zhǔn)工作的流程圖中刪除附錄影響線性

———ISO17862:2022D,1,“D

的因素方框

”;

中目錄及文本都沒有在中刪除

———ISO17862:2022,5.4.5,5.4.1“(5.4.5)”;

圖和圖中的CM改為cM與文本中保持一致

———56,。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國表面化學(xué)分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC608)。

本文件起草單位中山大學(xué)清華大學(xué)西安交通大學(xué)

:、、。

本文件主要起草人謝方艷楊慕紫陳建李展平孟令杰周國慶梁艷

:、、、、、、。

Ⅲ

GB/T45768—2025/ISO178622022

:

引言

為了利用二次離子質(zhì)譜對材料進(jìn)行定量分析需要測量質(zhì)譜信號強(qiáng)度未校準(zhǔn)的儀器其

(SIMS),。,

強(qiáng)度標(biāo)的非線性會(huì)直接導(dǎo)致表面和深度剖析測量的材料相對含量的誤差通常強(qiáng)度標(biāo)在非常低的計(jì)

。,

數(shù)率時(shí)或者更準(zhǔn)確地說在每個(gè)脈沖下較低的計(jì)數(shù)時(shí)是線性的但隨著計(jì)數(shù)率的增加逐漸變得非線

(,),,

性強(qiáng)度測量依賴于測量系統(tǒng)該測量系統(tǒng)提供與被測強(qiáng)度成比例的強(qiáng)度信號在計(jì)數(shù)系統(tǒng)中這個(gè)比

。,。,

例應(yīng)為如果該比例隨信號水平或計(jì)數(shù)率的變化而變化則稱測量系統(tǒng)是非線性的低于的非線

1。,。1%

性一般認(rèn)為是不顯著的當(dāng)計(jì)數(shù)率超過最大允許計(jì)數(shù)率的時(shí)強(qiáng)度標(biāo)的非線性可能超過[2]對

。5%,1%。

于許多儀器而言只要檢測系統(tǒng)設(shè)置正確其非線性行為不會(huì)逐月發(fā)生明顯變化對于這些儀器可以

,,。,

使用相關(guān)關(guān)系對計(jì)數(shù)率進(jìn)行校正使校正強(qiáng)度在最大可獲取計(jì)數(shù)率的很大一部分范圍內(nèi)呈線性在儀

,。

器數(shù)據(jù)采集或處理計(jì)算機(jī)中也可能已經(jīng)提供了這種強(qiáng)度標(biāo)的校正本文件提供了一種簡單的線性測

,。

試可用于由微通道板或閃爍體和光電倍增器組成的檢測系統(tǒng)進(jìn)行時(shí)間數(shù)字轉(zhuǎn)換的強(qiáng)度損失的校正

,-。

如果該測試證明是有效的則對合適的儀器進(jìn)行校正可將強(qiáng)度標(biāo)擴(kuò)展到倍以上對于某些儀器其

,,50。,

非線性是不可預(yù)測的也不能用任何簡單的關(guān)系進(jìn)行描述對于這些儀器本文件給出允許測量的非線

,。,

性程度并定義了可接受的偏離線性極限的最大計(jì)數(shù)率在某些情況下調(diào)整儀器設(shè)置可以改善這種情

,。,

況從而使所需的校正有效用戶可以根據(jù)分析需求適當(dāng)?shù)卦O(shè)置偏離線性極限

,。。

雖然飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀器中存在諸多導(dǎo)致非線性的因素但影響非線性最顯

(ToF-SIMS),

著的是檢測器系統(tǒng)的有效死時(shí)間引起的強(qiáng)度飽和因?yàn)樵谒罆r(shí)間間隔τ內(nèi)每個(gè)一次離子脈沖只能檢

。,

測到一個(gè)二次離子計(jì)數(shù)而與到達(dá)檢測器的二次離子實(shí)際數(shù)量無關(guān)譜圖中不必要的本底也會(huì)加劇非

,。

線性

。

本文件僅提供對死時(shí)間非線性的校正適用于某些比較理想的情況并非適用于所有情況然

,,。

而顯著增加的動(dòng)態(tài)范圍或工作速率可能是非常重要的本文件還提出了優(yōu)化儀器以提供最佳測量能

,。

力和診斷簡單儀器問題如檢測器效率低或檢測器不提供單離子計(jì)數(shù)的檢測器故障的建議然后建

()。,

立死時(shí)間泊松校正在分析人員設(shè)置的一定范圍內(nèi)校正測量的計(jì)數(shù)這為cM設(shè)立了上限值即校正前

,。,

或校正后每個(gè)脈沖的計(jì)數(shù)該上限通常適用于信號在時(shí)間和空間分布上都不變的峰在死時(shí)間間隔內(nèi)

。,

只有一個(gè)峰且本底強(qiáng)度可忽略不計(jì)實(shí)際情況并不總是滿足這些條件參考文獻(xiàn)對此進(jìn)行了詳細(xì)

,()。[2]

的探討和解釋應(yīng)用本文件獲得的結(jié)果與最佳情況有關(guān)在實(shí)際情況下利用式得到的線性可能

?！啊?,(1)

較差使用正負(fù)死時(shí)間為積分限的寬峰是不切實(shí)際的在這些情況下宜尋求更高級的死時(shí)間校正程

,。,

序可以使用本文件的方法檢驗(yàn)其有效性

,。

本文件所要求的技術(shù)技能可能超出日常操作范圍宜在評價(jià)新質(zhì)譜儀時(shí)使用本文件以使其在適當(dāng)

,,

的強(qiáng)度范圍內(nèi)工作在對檢測電路進(jìn)行任何實(shí)質(zhì)性變動(dòng)更換微通道板后或大約每隔年宜

。、(MCP),1

重復(fù)執(zhí)行本文件所規(guī)定的流程

。

Ⅳ

GB/T45768—2025/ISO178622022

:

表面化學(xué)分析二次離子質(zhì)譜

單離子計(jì)數(shù)飛行時(shí)間

質(zhì)譜分析器的強(qiáng)度標(biāo)線性

1范圍

本文件描述了在單離子計(jì)數(shù)飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀中通過測量基于聚四氟乙烯質(zhì)譜

,(PTFE)

中的同位素比值從而確定強(qiáng)度標(biāo)線性偏差可接受限的最大計(jì)數(shù)率的方法本文件還包括校正強(qiáng)度非

,。

線性的方法強(qiáng)度的非線性是由在死時(shí)間內(nèi)到達(dá)微通道板或閃爍體和光電倍增器隨后進(jìn)入時(shí)

,(MCP)

間數(shù)字轉(zhuǎn)換器的二次離子強(qiáng)度損失引起的該校正可將線性的強(qiáng)度范圍增加到倍以

-(TDC)。95%50

上因此對于那些已證實(shí)相關(guān)校正公式有效的質(zhì)譜儀可以采用更高的最大計(jì)數(shù)率

,,。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,