黃光工藝實訓室建設需求一、建設背景與目標搶抓國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展“窗口”機遇，積極建設特色半導體“萬畝千億”新產(chǎn)業(yè)平臺，舉全市之力發(fā)展特色半導體產(chǎn)業(yè)；“芯”從零起步，探索出了“Smart-IDM”模式；該模式是通過招引芯片設計、制造、封裝、測試等各個環(huán)節(jié)可以獨立運行的小而精企業(yè)，形成“緊密型上下游供應鏈”，整體實現(xiàn)“設計一制造一封裝”一體化；全力建設以功率器件為特色的半導體全產(chǎn)業(yè)鏈，產(chǎn)業(yè)集聚效益進一步凸顯，產(chǎn)業(yè)鏈“磁場效應”進一步迸發(fā)，核心競爭力進一步增強，打造成為全國半導體產(chǎn)業(yè)的核心產(chǎn)區(qū)之一；隨著地區(qū)產(chǎn)業(yè)逐步完善，對人才的需求也逐步加大，尤其是生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)特殊工藝節(jié)點的工程師需求尤為明顯，為產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)相關人員是地方高校的主要任務，因此我校準備啟動黃光實訓室建設；該項目建設內(nèi)容包括采購設備：要求質(zhì)量可靠，性能穩(wěn)定，符合實訓教學的基本要求；二、設備清單序號設備名稱數(shù)量單位1光刻機4套2勻膠機4套3烘膠機4套4顯影清洗機2套5金像顯微鏡2套6光學膜厚測量儀2套74寸晶圓硅片150片84寸成品晶圓硅片50片9光刻掩膜版18個10高純氮氣400升11無塵服300套12口罩3000只13手套6000雙14輔助工具8套15恒溫柜1套16冰箱1套17化學品存儲柜1套18無塵式通風柜4個19不銹鋼桌2個20芯片制造演示儀1套21集成電路產(chǎn)業(yè)鏈智能制造教學演示沙盤1套22課程資源1套23文化展示1項24黃光無塵室萬級改造1項三、技術參數(shù)序號產(chǎn)品名稱主要技術參數(shù)1光刻機設備功能：通過光學系統(tǒng)將設計好電路的掩模板圖形投影到硅片上，并使用紫外線照射硅片表面，使其形成微小的結(jié)構(gòu)；1.適用基片尺寸≤102mm；2.適用掩模版尺寸≤127mm；3.套刻精度≤2um；4.工作臺行程：X、Y調(diào)節(jié)：≥5mmZ調(diào)節(jié)：≥5mm；5.分離視場顯微鏡：掃描范圍≥20*20mm；6.曝光光源6.1光源模式：UV：LED；6.2光源壽命：≥20,000H；6.3光強≥20mW/cm2；7.曝光面積≥100*100mm；8.曝光分辨率≤1um；9.曝光時間可調(diào)節(jié)；2勻膠機1.速度范圍：300-5000RPM；2.轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%；3.膠的均勻性：≤±1%；4.參數(shù)設定：觸摸屏設置參數(shù)；5.基片尺寸：30-150mm；6.電源輸入：AC220V±10V，50HZ；3烘膠機1.烘膠溫度：室溫～300℃；2.控溫精度：±1℃；3.電源輸入：AC220V±10V/50HZ；4顯影清洗機1.轉(zhuǎn)速：1～3000rpm；2.顯影液量控制：10～400mL；3.顯影時間控制：1～999s；4.清洗時間控制：1～999s；5.甩干時間控制：1～999s；6.適配硅片/芯片：4,5,6英寸；7.電源輸入：AC220V±10V/50HZ；5金像顯微鏡1.目鏡：PL10X；2.物鏡：長工作距平場消色差金相物鏡5X/10X/20X/50X/（標配），10x目鏡下實現(xiàn)放大倍數(shù):(50X、100X、200X、500X)；3.搭配硬件和軟件齊全的成像系統(tǒng)；6光學膜厚測量儀1.波長范圍:200-1000nm；2.厚度范圍:2um-70um；3.膜厚精度：≤15nm；4.膜厚模式重復性：≤0.5nm；5.膜厚模式準確性：≤2nm；6.配備教學測膜厚用硅片樣品50套；74寸晶圓硅片1.（具備暴光對齊標志，方便二次對齊）100片；2.（有膠版要求厚度不同、適用于膜厚測量教學實驗）50片；84寸成品晶圓硅片2套，每套25片（要求具備不同的電路結(jié)構(gòu)適用于金像顯微鏡觀測教學實驗）；9光刻掩膜版1.基本電路元件光罩（包含電阻、電容、電感等基本電路元件的光罩）6個；2.復雜電路模塊光罩（包含運算放大器、邏輯門電路等復雜模塊的光罩）6個；3.集成電路芯片光罩（設計模擬或數(shù)字集成電路芯片的光罩）6個；10高純氮氣高純氮氣400L；11無塵服300套品牌無塵服；12口罩1.數(shù)量：3000只；2.產(chǎn)品材質(zhì)：活性炭+熔噴布+無紡布；3.產(chǎn)品尺寸：約17.5cm*9.5cm；13手套1.數(shù)量6000雙；2.產(chǎn)品材質(zhì)：丁腈橡膠；3.表面：麻面工藝；14輔助工具鑷子、吸片等8套（用于實驗中輔助取片等相關操作）；15恒溫柜1.容量≥300L；2.濕度范圍20%-60%RH，中濕度；16冰箱1.容量≥90L；2.額定電壓220V，額定頻率50Hz；3.溫度≤10℃；4.能效等級：1級；5.數(shù)顯電子控溫；17化學品存儲柜1.存儲容量≥100L；2.柜體耐酸堿腐蝕；3.環(huán)保靜電粉末噴涂；4.設有雙人雙鎖；18無塵式通風柜1.外殼:外殼采用冷軋鋼板，要求附著力高，表面硬度，腐蝕性強；2.電源:采用實驗室電源插座；3.配電箱:符合220v及380v供電要求，有漏電及點擊保護裝置；4.導流板:導流板將處于不同高度空間的有害氣體分別從不同的段區(qū)排出，通風柜以0.5m/s的速度將通風柜中的空氣排出，確保無任何殘留氣體存在，通風效率好且噪音?。?.集氣罩：采用錐形縮口集氣風罩；6.配備8張實驗室用工作椅：高42-57cm,直徑30-33cm,底直徑38－42CM；19不銹鋼桌1.材質(zhì)：304不銹鋼，外部尺寸（mm）：2000*600*800；2.承重：≥300公斤；3.配備4張實驗室用工作椅：高42-57cm,直徑30-33cm,底直徑38－42CM；20芯片制造演示儀1.包含有拉單晶、硅錠切割、勻膠、光刻、刻蝕、摻雜、晶圓切片、搭橋、焊線、封裝十個環(huán)節(jié)和芯片展示模塊；2.互動滑軌電視系統(tǒng)由防塵軌道和27寸一體機加驅(qū)動系統(tǒng)組成，預裝了交互控制程序，可以響應每個展示模塊底端面板上的呼叫按鈕的操作，程序控制自主滑行到呼叫模塊的位置，并啟動該模塊的視頻演示程序，與該模塊的機電演示同步；21集成電路產(chǎn)業(yè)鏈智能制造教學演示沙盤1.場景布置與當前集成電路工業(yè)界主流場景布置基本相同，沙盤需將完整的工廠區(qū)域布局展現(xiàn)出來；2.支持與沙盤聯(lián)動，沙盤主要由“晶圓制造車間、晶圓測試車間、芯片封裝車間、芯片測試車間”四大區(qū)域及“黃光區(qū)、風淋室、休息室、更衣室、去靜電、緩沖區(qū)”等關鍵區(qū)域組成；在控制系統(tǒng)上點擊對應關鍵區(qū)域，沙盤實物模型對應區(qū)域會高亮顯示并在顯示屏上播放相關視頻資源或者出現(xiàn)對應介紹內(nèi)容；3.設備模型包含PVD機臺、涂膠機、EUV光刻機、等離子體刻蝕機、離子注入機、退火機臺、立式擴散爐、去膠機、擦片機、清洗機、PCVD機臺、圓片剪薄機、砂輪劃片機、固晶機、引線鍵合機、塑封機、電鍍機、切筋成型機等；不少于20種實體設備對應模型（提交對應20種實體設備模型效果圖）；4.顯示屏：屏幕尺寸100英寸、4K分辨率；22課程資源1.提供黃光工藝課程教學資源：包括芯片制造流程、黃光工藝（涂布、光刻、烘烤、顯影四大設備介紹）、手動光刻使用說明與實際操作、進入無塵室的要求需知規(guī)范與實際操作、黃光設備操作方式流程介紹與實際操作（清洗,勻膠,烘拷,光刻,顯影,清洗）、黃光工藝參數(shù)的影響與計算操作、硅片光刻工藝動手實驗、無塵室安全注意事項規(guī)范、硅片曝光實踐、掩膜板與晶圓對準實作教學、膜厚量測儀檢測介紹與勻膠與烘烤實際驗證、金相顯微鏡檢測介紹與顯影后實際驗證等；2.半導體廠務課程資源，采用虛擬仿真技術實現(xiàn)，內(nèi)容包括：（1）仿真真實工廠的中控界面（包含大宗氣體、特殊氣體、純水系統(tǒng)、廢水系統(tǒng)）以及常見中控報警故障的處理選擇；（2）超純水虛擬仿真實驗，廢水虛擬仿真實驗；介紹主要設備（如EDI裝置、RO裝置、TOC裝置、PH調(diào)整絮凝反應槽）的功能，以流程動畫形式顯示化學處理過程；（3）大宗氣體及管道輸送虛擬仿真實驗，特殊氣體及管道輸送虛擬仿真實驗；介紹半導體廠房常用氣體的分類，各類氣體的制備、存儲和安全操作，氣體的包裝方式和管道材料的選擇等；3.課程資源建設：項目驗收前完成《黃光工藝課程》、《半導體廠務課程》的課程資源建設，每門課程約48個課時，投標時提交課程資源建設目錄；項目驗收前提交建成的課程資源；課程包含內(nèi)容見技術參數(shù)的課程資源表述；《半導體廠務課程》推薦使用虛擬仿真技術實現(xiàn)，要求具備：（1）能夠?qū)崿F(xiàn)教學、實訓、考核一體化；（2）半導體廠房整體模型全套資料完整，基本能實現(xiàn)與現(xiàn)場環(huán)境1:1還原；（3）支持場景漫游，點擊廠房部門可進入內(nèi)部進行查看，顯示當前廠房內(nèi)部的設備和結(jié)構(gòu)；（4）理論知識點教學完成后以選擇形式進行考核，操作步驟教學完成后可以選擇形式或打亂次序選擇正確排列形式進行考核；（5）軟件操作方便，交互簡單，學生能夠快速上手進行操作；《黃光工藝課程》推薦由演示視頻、知識講解、考核及案例構(gòu)成：（1）操作演示視頻（共6個）：涂布設備操作演示視頻，展示涂布設備的正確使用方法和注意事項；光刻設備操作演示視頻，詳細介紹光刻設備的操作流程，包括掩膜板的選擇、曝光參數(shù)的設定等；烘烤設備操作演示視頻，展示烘烤設備的操作步驟和烘烤溫度的設定方法；顯影設備操作演示視頻，介紹顯影設備的正確使用方法，包括顯影液的濃度、顯影時間等參數(shù)的設定；硅片曝光實踐演示視頻，展示硅片曝光的過程，包括掩膜板與晶圓的對準操作；無塵室安全注意事項視頻：介紹無塵室的安全規(guī)范、操作規(guī)程和應急處理措施；說明：視頻需為高清、專業(yè)制作，確保內(nèi)容的準確性和易理解性；演示過程中需包含詳細的解說和操作步驟，便于學生自主學習和實踐；視頻中需包含必要的字幕和動畫效果，以增強視覺效果和吸引力；（2）PPT知識講解（共3個）：黃光工藝基礎知識PPT：介紹黃光工藝的基本概念、原理及其在芯片制造中的重要性；設備介紹PPT：詳細講解涂布、光刻、烘烤、顯影四大設備的結(jié)構(gòu)、工作原理和使用注意事項；工藝參數(shù)影響與計算PPT：分析黃光工藝參數(shù)（如曝光時間、顯影時間等）對芯片制造質(zhì)量的影響，并介紹相關計算方法；（3）實驗動手資源（共3個）：硅片光刻工藝動手實驗指南：1份文檔，包含詳細的實驗步驟、所需材料和設備、實驗注意事項等；膜厚量測儀檢測介紹：1份文檔，介紹膜厚量測儀的工作原理、操作方法和數(shù)據(jù)解讀；金相顯微鏡檢測介紹：1份文檔，提供金相顯微鏡的使用說明和檢測技巧；（4）考核與評估資源（共4個）：在線測試：包含2套在線測試（每套測試約40道題目）；實驗報告模板：1份文檔，包括實驗目的、步驟、結(jié)果、分析和結(jié)論等部分；技能考核實操項目：設計5個實操項目，如模擬設備操作、工藝參數(shù)調(diào)整等，每個項目包含詳細的操作步驟和評分標準；案例分析與討論：提供3個黃光工藝相關的案例，每個案例包含問題描述、分析要點和討論問題；23文化展示1.功能用于給新生、外來參觀者展示；2.設計方案、效果圖根據(jù)采購人需求定制；3.內(nèi)容包含集成電路的歷史、區(qū)域產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀/規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)鏈、崗位、教學理念、安全生產(chǎn)規(guī)范與管理等；4.效果：支撐專業(yè)與產(chǎn)業(yè)的緊密鏈接；24黃光無塵室萬級改造1.無塵室建設標準以國家或行業(yè)標準建設；2.車間：溫度22℃±2℃、濕度55%±5%、照度（500lux）、無塵室潔凈等級測量：靜態(tài)情況下滿足千級標準，動態(tài)情況下滿足萬級標準；3.參觀走道：不控溫濕、照度；4.溫度控制：室內(nèi)溫度控制，以確保光刻工藝的穩(wěn)定性；5.濕度控制：相對濕度控制，以防止靜電和污染物附著；6.壓力控制：無塵室內(nèi)需保持正壓，以防止外部污染物進入；7.地膠：厚度≥3mm，地板要超強耐磨.防滑.防火阻燃.防水防潮.吸音防噪.抗菌性能等；8.水電改造：墻面、頂部布線開槽預埋；四、服務要求1.工期要求：必須在合同簽訂后100個日歷天內(nèi)完成環(huán)境改造、設備安裝、調(diào)試、交付正常使用；2.供貨（安裝）地點要求：采購人指定地點；3.投標時提交的其它材料3.1黃光實訓室材料：實訓室的設計方案、效果圖、主要材料的規(guī)格、施工方案、設計圖紙；簽訂合同后在設計方案、施工細節(jié)等方面與采購人進一步協(xié)商完善；4.產(chǎn)品安裝調(diào)試要求：4.1產(chǎn)品外觀：提供1-6項所投產(chǎn)品的高清完整照片；4.2安裝調(diào)試成功后，提供完整的測試用耗材，由專業(yè)工程師在采購人現(xiàn)場見證下全流程做一遍實訓實驗，確保實訓成功，符合實訓室建設要求；5.環(huán)境評估、安全評估要求：由完成環(huán)境評估、安全評估，采購單位全力配合完成評估工作；6.培訓要求：設備調(diào)試成功后，針對設備系統(tǒng)、安裝、檢驗、調(diào)試、使用和維護等方面對采購單位技術人員、使用人員制訂專