薄膜光學與鍍膜技術Speaker：HarryThinFilmOpticsandCoatingTechnology精選ppt薄膜光學原理應用制作精選ppt光是一種電磁波可見光波長范圍760~400nm紅外光波長范圍0.76~1000um紫外光波長范圍10~400nm一、什么是光？光學薄膜原理精選ppt光波遇到有界面時會受到影響引起反射和透射現(xiàn)象右圖為折射率為n的光學薄膜1、2、3為反射光(R)1’、2’、3’、為透射光(T)二、光的現(xiàn)象光學薄膜原理精選ppt當光在膜層中的干預現(xiàn)象可被偵測到時，我們認為這層膜是薄的光學薄膜就是在光學元件上或獨立基板上鍍上特定的膜質(zhì)來改變光波傳遞的特性。Q：薄膜有什么特點？光學薄膜由光的干預作用到達效果Q：那么要薄到什么程度呢？三、什么是光學薄膜？光學薄膜原理精選ppt生活中的光學薄膜光學薄膜原理精選ppt光學薄膜在光學系統(tǒng)中的作用提高光學效率減少雜光

高反射鏡減反射鏡實現(xiàn)光束的調(diào)整或再分配

分光鏡分色鏡通過波長的選擇性透過提高系統(tǒng)信噪比

截止濾光片

帶通濾光片光學薄膜應用精選ppt高反射鏡金屬膜反射鏡金屬有高的反射率，吸收值大常用銀金鋁反光鏡，梳妝鏡介電質(zhì)膜高反射鏡吸收值小，有極高的反射率高功率雷射鏡高銳度反射鏡光學薄膜應用只取反射光，盡量減少透射光精選ppt減反射鏡減少光學元器件外表的反射光，提高透射光光學薄膜應用減反膜的作用增加光學系統(tǒng)透過率減少雜散光提高象質(zhì)減反膜的應用日常生活中運用最為廣泛如眼鏡顯示器屏幕等等精選ppt雙色分光鏡原理圖偏振分光鏡原理圖SP中性分光鏡分光鏡中性分光鏡雙色分光鏡

偏振光分光鏡光學薄膜應用精選ppt在某波段不透光而相鄰的另一波段有很高的透射率的一種光學器件截止濾光片長波通濾光片短波通濾光片實際應用：冷光鏡、彩色分光膜等光學薄膜應用精選ppt帶通濾光片指某波段域內(nèi)透射率很高而其兩旁透射率甚低的濾光片典型結構：Fabry-Perot型濾光片Transmittance%實際應用：光纖通訊行業(yè)，數(shù)碼，投影儀等光學薄膜應用精選ppt光學薄膜的類型與符號光學薄膜應用精選ppt光學薄膜在投影機上的各種應用光學薄膜應用減反膜，偏振分光膜高射反膜減反膜，分色膜，截止帶通濾光膜精選ppt制鍍技術氣態(tài)成膜法化學氣相沉積（CVD）物理氣相沉積（PVD）液態(tài)成膜法化學或電化學作用光學薄膜制作精選ppt熱蒸發(fā)蒸鍍法熱電阻加熱、電子槍蒸鍍、雷射蒸鍍、弧光放電等電漿濺鍍法平面二極濺鍍、射頻濺鍍、磁控濺鍍等離子束濺鍍法蒸鍍和濺鍍的結合，有離子束濺鍍、離子束助鍍等物理氣相沉積〔PVD〕光學薄膜制作精選ppt熱電阻加熱特點：結構簡單、本錢低廉、操作方便；電阻片加熱溫度有限，高熔點的氧化物大多無法蒸鍍蒸發(fā)速率低；合金或化合物加熱會導致分解。膜質(zhì)不硬，密度不高光學薄膜制作蒸發(fā)源材料：鎢〔W,TM=3380℃〕鉬〔Mo,TM=2980℃〕鉭〔Ta,TM=2630℃〕等精選ppt電子槍蒸鍍法特點：

比起熱電阻污染少，膜品質(zhì)較高；蒸發(fā)范圍廣，可蒸鍍?nèi)埸c較高之氧化膜熱效率高、熱傳導和熱輻射損失小可以鍍多層膜鍍膜過程中使用不同材料需要不時調(diào)換光學薄膜制作精選ppt磁控濺鍍特點：

利用磁場作用，提高濺鍍速率提高薄膜的品質(zhì)磁場會把電子偏離基板，故可以在一些較不耐溫的基板上鍍膜可以做成連續(xù)的濺鍍系統(tǒng)，連續(xù)工作光學薄膜制作精選ppt離子束濺鍍光學薄膜制作特點：

制作的薄膜密度高，散射小膜折射率穩(wěn)定均勻，膜厚精準可以配合其他制鍍方法，提高制鍍速率增加了控制的自由度精選ppt離子束助鍍特點：配以蒸鍍或濺鍍系統(tǒng)，提高鍍膜速率成膜純度高，膜變得更縝密光譜特性穩(wěn)定提高了膜層折射率的均勻性光學薄膜制作精選ppt鍍膜厚度監(jiān)控的方法目視法通過人眼識別石英晶體監(jiān)控法通過石英晶體振蕩器檢測光學監(jiān)控法通過整套光學系統(tǒng)檢測處理分析光學薄膜制作精選ppt石英晶體監(jiān)控法特點：石英晶體振蕩的頻率與晶體上薄膜的質(zhì)量成反比是一種薄膜質(zhì)量測量方法，它也被稱為質(zhì)量微天平厚度顯示不穩(wěn)定，做精密光學薄膜數(shù)據(jù)只作參考，只作為鍍膜速率的控制光學薄膜制作精選ppt光學膜厚監(jiān)控系統(tǒng)光學薄膜制作精選ppt光學薄膜制作精選ppt光學薄膜制作光學參數(shù)測量由分光光度計量出薄膜的透射率及反射率進而推算出n、k、d光度法：量測光穿透或反射自薄膜后的變化求得n\k\d橢圓偏振法：以偏振光經(jīng)薄膜反射后量測其光振幅及相位變化求得精選ppt利用商品化的分光光度計和光譜分析儀量出穿透率和反射率等光學薄膜制作光學特性測量雙光路分光光度計精選ppt光學薄膜制作非光學特性測量附著力測試利用黏性較強的膠帶一端貼于薄膜上另一端撕拉。應力測試利用懸臂法作彎曲測試利用干涉儀相位移法測量組成成分測量利用紅外光譜儀觀察其分子振蕩吸收光譜結構測量利用穿透式電子顯微鏡觀測縱剖面用掃描式電子顯微鏡做隔電隔磁屏障以提高解析度直接掃描膜層縱剖面精選ppt基板工藝基片的種類：玻璃(冕牌玻璃，火石玻璃)晶體塑料陶瓷金屬

基片的清洗：洗滌劑、化學藥品、超聲波清洗、離子轟擊、手工擦拭、紫外線和臭氧等光學薄膜制作精選ppt光學薄膜材料常用光學薄膜的材料從化學組成上可分為：氧化物、氟化物和金屬合金氧化物材料：具有熔點高，比重大，高折射率和高機械度，膜質(zhì)硬的特點，如二氧化鈦，氧化硅等氟化物材料：具有熔點低，小比重，低折射率和較差機械度，膜軟，怕水的特點。如氟化鎂，冰晶石等金屬合金：一般金屬具有較強的反光性和吸光性，因此金屬〔或合金〕材料一般作為反光薄膜材料或光調(diào)節(jié)材料。光學薄膜制作精選ppt金屬膜應用介質(zhì)膜應用K--λ

利用其反射率高,截至帶寬,偏振小,制備簡單,在反射鏡,誘導透射濾光片和消偏振薄膜等場合廣泛應用K=0

利用其吸收小,選擇性反射,設計參數(shù)多,膜層強度高等特點,在低損耗,高反射膜,高透射帶通濾光片,截止濾光片以及各種復雜膜系方面廣泛應用R隨著λ增加而增大T隨著λ增加而增大高的損耗低的損耗較厚膜無干涉效應具有干涉效應下表列出了金屬膜與介質(zhì)膜的理想性質(zhì).實際的材料或多或少地會偏離這些理想材料,如介質(zhì)有一定的消光系數(shù)k,而金屬也有一定的實數(shù)折射率n.金屬膜與介質(zhì)膜的比較光學薄膜制作精選ppt光學薄膜應用實例：眼鏡鏡片：·鏡片材料主要是氧化物如二氧化硅，氧化鎂，氧化鋅，氧化鋁，氧化鈉，氧化鉀等等?！V光學白片添加少量的氧化鈦或氧化鈰等吸收紫外線，最普遍防紫外線優(yōu)質(zhì)白色鏡片·光學玻璃成分中添加鹵化銀等化合物使鏡片在紫外線照射下分解成銀河鹵素原子，顏色由淺變深?！び猩ＡхR片主要是鍍了不同的氧化物產(chǎn)生顏色起到一定的作用，如添加氧化錳，氧化鐵，氧化鎳等著茶色作太陽鏡防眩光。光學薄膜制作精選ppt光學薄膜應用實例：太陽能電池·裸硅外表的反射率在30%以上·將電池外表腐蝕成絨面或者多孔狀(增加光與半導體外表作用的次數(shù),同時會使電池溫度升高)·鍍上減反射膜(SiO2/SnO2/TiO2/SiNx/SiCx等)光學薄膜制作精選pptITO鍍膜·氧化銦錫〔即IndiumTinOxide,簡稱ITO〕材料是一種n型半導體材料，在In2O3摻入SnO2.·具有高的導電率、高的可見光透過率、高的機械硬度和化學穩(wěn)定性·液晶顯示器〔LCD〕、等離子顯示器〔PDP〕、電致發(fā)光顯示器〔EL/