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122有有3有高壓?jiǎn)?N23000rpm11111有5Megpie單5.13000rpm1噴嘴 1常壓水噴嘴 1N2噴嘴 1背噴 5控制系統(tǒng) 工控顯示系統(tǒng) 操作系統(tǒng) 界面 信號(hào)塔 3CDA（干燥潔氣壓力 流量 數(shù)量 2連接方式 3/8卡套接VAC（真空系統(tǒng)壓力 流量 數(shù)量 3連接方式 3/8卡套接壓力 流量 數(shù)量 1連接方式 3/8卡套接N2過(guò)濾 壓力 流量 數(shù)量 1連接方式 1/2卡套接DIW過(guò)濾 有CO2（二氧化碳?jí)毫?流量 數(shù)量 1連接方式 3/8卡套接CO2過(guò)濾 有單元排氣 2套壓力 -350Pa～-主機(jī)一般排氣 1套、壓力 -350Pa～-連接方式 廢膠排放 2連接方式 電源 380VAC,30A，三相五線 重量
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