ICS7715099

H68..

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T1069—2015

金鈹蒸發(fā)料

Gold-berylliumalloyevaporationmaterial

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1069—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位貴研鉑業(yè)股份有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人謝宏潮陽(yáng)岸恒向磊朱勇朱武勛

:、、、、。

Ⅰ

YS/T1069—2015

金鈹蒸發(fā)料

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了金鈹合金蒸發(fā)料的技術(shù)要求試驗(yàn)方法和檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及質(zhì)量證

、、、、

明書與訂貨單或合同內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)用金鈹合金蒸發(fā)材料

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

貴金屬合金化學(xué)分析方法金合金中釓和鈹量的測(cè)定電感耦合等離子體原子

GB/T15072.11

發(fā)射光譜法

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測(cè)量方法

GB/T15077

金鍺蒸發(fā)料

GB/T26292—2010

貴金屬及其合金微量元素分析方法

GJB950.1A

3要求

31產(chǎn)品分類

.

按合金元素組成分為個(gè)牌號(hào)

3:Au99.5Be、Au99Be、Au98Be。

32化學(xué)成分

.

產(chǎn)品的化學(xué)成分應(yīng)符合表的規(guī)定

1。

表1化學(xué)成分質(zhì)量分?jǐn)?shù)

%()

雜質(zhì)含量

主成分

合金牌號(hào)不大于

總量

AuBeFePbSbBiZnCd

余量

Au99.5Be0.45~0.550.0020.0020.0020.0020.0050.0050.02

余量

Au99Be0.90~1.100.0020.0020.0020.0020.0050.0050.02

余量

Au98Be1.98~2.200.0020.0020.0020.0020.0050.0050.02

33幾何尺寸和偏差

.

產(chǎn)品的幾何尺寸及其允許偏差應(yīng)符合表的規(guī)定經(jīng)雙方協(xié)商可提供其他規(guī)格的產(chǎn)品