ICS7715099

H68..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T1068—2015

制備釕靶用釕粉

Rutheniumpowderforrutheniumsputtteringtarget

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

中華人民共和國有色金屬

行業(yè)標準

制備釕靶用釕粉

YS/T1068—2015

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

201510

*

書號

:155066·2-28953

版權(quán)專有侵權(quán)必究

YS/T1068—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位貴研鉑業(yè)股份有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院

:、。

本標準起草人譚志龍郭俊梅張俊敏向磊王傳軍畢珺聞明管偉明陳松朱武勛

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1068—2015

制備釕靶用釕粉

1范圍

本標準規(guī)定了硬盤及集成電路行業(yè)釕系濺射靶材用釕粉的要求試驗方法檢驗規(guī)則及標志包裝

、、、、

運輸貯存質(zhì)量證明書和合同或訂貨單內(nèi)容

、、()。

本標準適用于制備硬盤及集成電路行業(yè)釕系濺射靶材用釕粉以下簡稱釕粉

()。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

金屬粉末振實密度的測定

GB/T5162

金屬粉末粒度分布的測量重力沉降光透法

GB/T6524

釕粉化學(xué)成分分析方法鉛鐵鎳鋁銅銀金鉑銥鈀銠硅量的測定輝光

GB/T23275、、、、、、、、、、、

放電質(zhì)譜法

高溫合金化學(xué)分析方法第部分高頻感應(yīng)燃燒紅外線吸收法測定碳含量

HB5220.33:-

高溫合金化學(xué)分析方法第部分脈沖加熱紅外熱導(dǎo)法測定氧氮含量

HB5220.4949:-、、

3要求

31產(chǎn)品分類

.

釕粉按純度分為四個牌號

:SMP-Ru-99.95、SMP-Ru99.99、SMP-Ru-99.995、SMP-Ru99.99、

SMP-Ru-99.999。

32化學(xué)成分

.

釕粉的化學(xué)成分應(yīng)符合表的規(guī)定釕粉中釕的含量為減去表中雜質(zhì)元素實測總和的余

1。100%1

量牌號中總雜質(zhì)元素計算不包括元素

。SMP-99.999Si。

表1釕粉的化學(xué)成分

%

產(chǎn)品牌號

SMP-99.95SMP-99.99SMP-99.995SMP-99.999

釕含量

不小于99.9599.9999.99599.999

Ag0.00040.00040.00020.00005

金屬雜質(zhì)含量

Al0.0050.0010.00050.00005

不大于

Au0.005