標(biāo)準(zhǔn)解讀

《YS/T 1031-2015 化學(xué)氣相沉積爐》是一項(xiàng)針對(duì)化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)，由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口。該標(biāo)準(zhǔn)主要適用于使用化學(xué)氣相沉積方法進(jìn)行材料制備或表面處理的工業(yè)用爐的設(shè)計(jì)、制造及驗(yàn)收過(guò)程。

根據(jù)此標(biāo)準(zhǔn)，化學(xué)氣相沉積爐應(yīng)具備良好的密封性能以確保反應(yīng)氣體在控制條件下參與反應(yīng)；同時(shí)，對(duì)于溫度控制系統(tǒng)也有嚴(yán)格要求，需能夠?qū)崿F(xiàn)均勻加熱且溫度波動(dòng)小，保證沉積過(guò)程中的溫度穩(wěn)定性。此外，還規(guī)定了安全防護(hù)措施、電氣控制系統(tǒng)以及操作界面等方面的具體要求，旨在提高設(shè)備的安全性與易用性。

在材料選擇上，《YS/T 1031-2015》強(qiáng)調(diào)了耐腐蝕性和高溫強(qiáng)度的重要性，指出用于構(gòu)建爐體及其內(nèi)部組件的材料必須能夠承受長(zhǎng)時(shí)間高溫環(huán)境下的工作條件而不發(fā)生顯著變形或損壞。同時(shí)，考慮到不同應(yīng)用場(chǎng)景下可能存在的特殊需求，標(biāo)準(zhǔn)中也允許通過(guò)協(xié)商確定某些特定參數(shù)值。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2015-04-30 頒布
  • 2015-10-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

ICS77180

H91.

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T1031—2015

化學(xué)氣相沉積爐

Chemicalvapordepositionfurnace

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1031—2015

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位湖南頂立科技有限公司中國(guó)有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人戴煜胡祥龍胡高健羊建高馬衛(wèi)東戴曉蕾周岳兵吳艷華

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1031—2015

化學(xué)氣相沉積爐

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了化學(xué)氣相沉積爐的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存質(zhì)量證明書和

、、、、、、

合同或訂貨單內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于化學(xué)氣相沉積

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

真空技術(shù)術(shù)語(yǔ)

GB/T3163—2007

電熱裝置的安全第部分通用要求

GB5959.11:

電熱裝置的安全第部分對(duì)電阻加熱裝置的特殊要求

GB5959.44:

電熱設(shè)備的試驗(yàn)方法第部分通用部分

GB/T10066.1—20041:

電熱設(shè)備的試驗(yàn)方法第部分間接電阻爐

GB/T10066.4—20044:

電熱裝置基本技術(shù)條件第部分通用部分

GB/T10067.1—20051:

電熱裝置基本技術(shù)條件第部分間接電阻爐

GB/T10067.4—20054:

真空技術(shù)真空燒結(jié)爐

JB/T10550—2006

真空脫脂燒結(jié)爐

YS/T778—2011

3術(shù)語(yǔ)和定義

界定的術(shù)語(yǔ)和定

GB/T3163—2007、GB/T10066.4—2004、JB/T10550—2006、YS/T778—2011

義適用于本文件

。

4要求

41分類

.

化學(xué)氣相沉積爐根據(jù)結(jié)構(gòu)形式分為臥式化學(xué)氣相沉積爐和立式化學(xué)氣相沉積爐兩種類型按爐型

,

及工作區(qū)域尺寸分為種型號(hào)見(jiàn)表和表

13,12。

42型號(hào)表示規(guī)則

.

421臥式化學(xué)氣相沉積爐的型號(hào)表示

..

臥式化學(xué)氣相沉積爐的型號(hào)表示由其中表示臥式表示化學(xué)氣相沉積和工作區(qū)

HCVD(H;CVD)

域尺寸寬高長(zhǎng)組成其型號(hào)表示見(jiàn)示例

(××),。

示例臥式化學(xué)氣相沉積爐工作區(qū)域尺寸為寬高長(zhǎng)其型號(hào)表示為

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