




版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
Chapter2PropertiesofSemiconductorMaterials多種常見半導體材料的基本特性和用途常見材料的基本物理和化學性質器件對材料的要求(主要材料參數(shù)及測量)2.1 常見的半導體材料及其物理和化學性質2.1.1常見的半導體材料
Se,最早期的半導體之一,硒整流器,硒光電池、光敏硒鼓;(已經(jīng)很少用)Ge,早期的半導體,射線探測器;(昂貴)Si,最重要的半導體,除發(fā)光以外的所有半導體器件,(IC,分離器件,敏感器件,MEMS)a-Si(amorphous),太陽能電池,應用薄膜PorousSi,發(fā)光C(金剛石),潛在的高溫、高頻、高壓、大功率器件材料C60納米碳管GaN,藍光材料和深紫外探測AlxGa1-xAs,發(fā)光HgCdTe、PbSnTe,長波紅外探測各種超晶格材料,(能帶工程)磁性、超導、有機半導體和生物半導體自旋半導體2.1.2 PhysicalPropertiesRelatedto theDevices高溫下:1)Si+2Cl2=====SiCl4Si+HCl4SiCl4+SiHCl3+SiH2Cl2+…+SiH42)Si+O2========SiO23)Si+H2O========SiO2+H2GaAs:1)GaAs====Ga+As2)在室溫下一般不與HCl、H2SO4、HF反應3)與熱HCl、H2SO4反應與濃HNO3反應
H2SO4+H2O2是常用的GaAs腐蝕液4)與鹵素Cl2、Br2或I2(在甲醇等有機溶劑中)反應1200°C1050~1150°C1050~1150°C600°C通常關心的化學性質:1)熱穩(wěn)定性(thermalstability)2)腐蝕液(無機、有機)Forcleaningandetching!(腐蝕和抗腐蝕工藝中濃度
和緩沖劑的重要性)(腐蝕過程中對晶向和缺陷的選擇性)2.2半導體材料的晶體結構2.2.1.Si、GaAs、SiC的晶體結構Si金剛石結構GaAs閃鋅礦zinc-blende,立方硫化鋅復式格子密堆積(雙層密排)(page10)AB???SideViewTopViewk-bilayerh-bilayer不同的堆積3C、(2H)、4H、6H…、15R、27R…由k-bilayer和h-bilayer構成的“超晶格”k-位和h-位使晶體中的缺陷結構復雜化2.2.2.晶面、晶向及測定SiC的Si-face和C-facex-ray衍射激光定向最佳解理面{111}最佳劃片方向〈110〉
2.3 半導體中的缺陷和雜質施、受主雜質Si:O、C雜質GaAs:施主S、Te等(As-site)受主Zn等(Ga-site)SiAs-site和Ga-siteSiC:施主N(C-site)、P(Si-site)受主B、Al等(Si-site)雜質濃度和電阻率測量:Hall-effect、四探針法、單探針(擴展電阻)法、IR、熱探針點缺陷:線缺陷(位錯)面缺陷(層錯)體缺陷(原子團,旋渦等)測量:1)腐蝕坑顯微測量2)綴飾紅外透視3)透射電子顯微2.3.3. 雜質O(1017~1018cm-3)C(1016~1017cm-3)Fe(<1011cm-3)Au、Pt(1015~1016cm-3)N固溶度替位式固溶體間隙式固溶體?常用測量方法:DLTSSIMS(SecondaryIonMassSpectrum)NAA(NeutronActivationAnalysis)Fig.2-7.SchematicdrawingtoshowthebasicprincipleofSIMS,whichconsistsof1.Primaryionsource,2.Primaryionmassanalyzer,3.Electrostaticlens,4.Sample,5.Electrostaticlensandanalyzer,6.Secondaryionmassanalyzer,7.Iondetector.Depth(z)ConcentrationofMassMMass(M)IS(SecondIonCurrent)1234567PrimaryIonsSecondaryI
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 2025年成考專升本《生態(tài)學》測試題及答案
- 2025年新能源行業(yè)光伏產(chǎn)業(yè)公共建筑光伏屋頂荷載計算與結構設計認證考核試卷
- 2025年零售行業(yè)虛假評價治理專項考核試卷
- 木衛(wèi)四協(xié)議書ps
- 2025至2030全球及中國氣候智能型農(nóng)業(yè)行業(yè)發(fā)展趨勢分析與未來投資戰(zhàn)略咨詢研究報告
- 協(xié)議書離婚財產(chǎn)分割有法律
- 住房公積金代扣協(xié)議書
- 茶葉營銷營銷方案
- 協(xié)議書權益處分
- 2025-2030企事業(yè)單位集中采購飲用水招投標策略分析報告
- 2025呼和浩特市總工會社會工作者、專職集體協(xié)商指導員招聘29人考試參考題庫及答案解析
- 2025年礦業(yè)權評估師考試(礦業(yè)權評估地質與礦業(yè)工程專業(yè)能力)全真沖刺試題及答案
- 【公開課】兩種電荷-2025-2026學年物理人教版(2024)九年級全一冊
- 2025年秋招:人力資源專員筆試題庫及答案
- 汽車發(fā)動機課件
- 一節(jié)好課的標準簡短課件
- 殯葬行業(yè)專業(yè)知識培訓課件
- 直播游戲基礎知識培訓
- 德清縣福曜洗滌有限公司年產(chǎn)100萬套牛仔服裝項目環(huán)境影響報告表
- 重慶市城市建設投資(集團)有限公司招聘筆試題庫2025
- 3.2 中國的礦產(chǎn)資源教學課件 初中地理湘教版(2024)八年級上冊
評論
0/150
提交評論