中華人民共和國國家計量技術規(guī)范

JJF1351—2012

掃描探針顯微鏡校準規(guī)范

CalibrationSpecificationforScanningProbeMicroscopes

2012-06-18發(fā)布2012-09-18實施

國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

JJF1351—2012

掃描探針顯微鏡

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校準規(guī)范??

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CalibrationSpecificationfor??

ScanningProbeMicroscopes

歸口單位全國幾何量長度計量技術委員會

:

主要起草單位中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研究所

:

上海計量測試技術研究院

貴州計量測試院

參加起草單位中國計量科學研究院

:

本規(guī)范委托全國幾何量長度計量技術委員會負責解釋

JJF1351—2012

本規(guī)范主要起草人

:

朱振宇中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研

(

究所

)

任冬梅中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研

(

究所

)

傅云霞上海計量測試技術研究院

()

李源上海計量測試技術研究院

()

呂小潔貴州計量測試院

()

參加起草人

:

盧明臻中國計量科學研究院

()

李華豐中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研

(

究所

)

JJF1351—2012

目錄

引言………………………

(Ⅱ)

范圍……………………

1(1)

引用文件………………

2(1)

術語和定義……………

3(1)

掃描探針顯微鏡……………………

3.1(1)

掃描探針顯微鏡Z向漂移………

3.2(1)

概述……………………

4(1)

計量特性………………

5(2)

掃描探針顯微鏡Z向漂移………

5.1(2)

XY軸位移測量誤差……………

5.2、(2)

Z軸位移測量誤差…………………

5.3(2)

掃描探針顯微鏡測量重復性………

5.4(2)

XY坐標正交性誤差……………

5.5、(2)

校準條件………………

6(2)

環(huán)境條件……………

6.1(2)

標準器………………

6.2(2)

校準項目和校準方法…………………

7(3)

掃描探針顯微鏡向漂移………

7.1Z(3)

XY軸位移測量誤差……………

7.2、(4)

Z軸位移測量誤差…………………

7.3(5)

掃描探針顯微鏡測量重復性………

7.4(6)

XY軸測量重復性……………

7.4.1、(6)

軸測量重復性…………………

7.4.2Z(6)

XY坐標正交性誤差……………

7.5、(6)

校準結果表達…………

8(7)

復校時間間隔…………

9(7)

附錄掃描探針顯微鏡校準結果的測量不確定度評定……………

A(8)

Ⅰ

JJF1351—2012

引言

本規(guī)范為初次發(fā)布制定本規(guī)范的目的主要是解決工業(yè)中掃描探針顯微鏡校準問

。

題規(guī)范編制中參考了國際上納米計量領域的一些理論性研究成果并以實際納米計量

。,

工作中的一些實驗數據為基礎制定了本規(guī)范

。

Ⅱ

JJF1351—2012

掃描探針顯微鏡校準規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準

。

掃描探針顯微鏡根據其設計原理不同校準時需要根據實際情況選擇相關的計量特

,

性對有特殊要求的測量任務如對溯源要求較高的測量不在本校準規(guī)范的適用范圍

。,,。

2引用文件

本規(guī)范引用下列文件

:

通用計量術語及定義

JJF1001—2011

產品幾何量技術規(guī)范表面結構輪廓法測量標

GB/T19067.1—2003(GPS)

準第部分實物測量標準

1:

凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本規(guī)范凡是不注日期的引用文

,;

件其最新版本包括所有的修改單適用于本規(guī)范

,()。

3術語和定義

掃描探針顯微鏡

3.1scanningprobemicroscope(SPM)

具有掃描測量功能的探針顯微鏡的統(tǒng)稱主要包含原子力顯微鏡掃描隧

。(AFM)、

道顯微鏡等

(STM)。

掃描探針顯微鏡Z向漂移

3.2SPMZ-direc