ICS29045

H83.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T36706—2018

磷化銦多晶

Polycrystallineindiumphosphide

2018-09-17發(fā)布2019-06-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T36706—2018

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)

(SAC/TC203)

化技術(shù)委員會(huì)材料分會(huì)共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位南京金美鎵業(yè)有限公司有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十

:、、

三研究所廣東先導(dǎo)稀材股份有限公司石家莊麥特達(dá)電子科技有限公司中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所云

、、、、

南中科鑫圓晶體材料有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人范家驊邢志國(guó)楊桂芳劉文兵李素青王陽(yáng)李曉嵐孫聶楓劉惠生

:、、、、、、、、、

趙有文惠峰朱劉劉永豪

、、、。

Ⅰ

GB/T36706—2018

磷化銦多晶

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了磷化銦多晶的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存質(zhì)量證明書及訂貨

、、、、、、、

單或合同內(nèi)容

()。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于生產(chǎn)磷化銦單晶用的磷化銦多晶

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

貴金屬及其合金密度的測(cè)試方法

GB/T1423

非本征半導(dǎo)體單晶霍爾遷移率和霍爾系數(shù)測(cè)量方法

GB/T4326

半導(dǎo)體材料牌號(hào)表示方法

GB/T14844

3要求

31牌號(hào)

.

磷化銦多晶的牌號(hào)表示應(yīng)符合的規(guī)定

GB/T14844。

32電學(xué)性能

.

磷化銦多晶的電學(xué)性能應(yīng)符合表的規(guī)定

1。

表1電學(xué)性能

要求

項(xiàng)目

級(jí)級(jí)級(jí)級(jí)級(jí)

ABCDE

載流子遷移率

2≥4500≥3500≥3000≥2500≥2500

cm/(V·s)

載流子濃度

1515151616

3≤3×10≤6×10≤8×10≤1×10≤3×10

atoms/cm

33密度

.

磷化銦多晶的理論密度為3實(shí)測(cè)密度與理論密度的偏差應(yīng)在以內(nèi)即實(shí)測(cè)密度應(yīng)

4.787g/cm,±5%,

為33

4.548g/cm~5.026g/cm。

34外觀質(zhì)量

.

磷化銦多晶為灰色