標準解讀

《GB/T 31226-2014 掃描隧道顯微術(shù)測定氣體配送系統(tǒng)部件表面粗糙度的方法》是一項國家標準，主要針對使用掃描隧道顯微鏡（STM）技術(shù)來評估氣體配送系統(tǒng)中各部件表面的微觀形貌特征。該標準定義了通過STM進行測量的具體步驟和技術(shù)要求，旨在為相關(guān)行業(yè)提供一種精確、可靠的表面粗糙度分析方法。

根據(jù)此標準，首先需要對被測樣品進行適當(dāng)?shù)臏蕚洌ㄇ鍧嵑凸潭?，以確保STM探針能夠準確地接觸并掃描到待測表面。接著，標準詳細描述了如何設(shè)置STM設(shè)備參數(shù)，如偏置電壓、隧道電流等，這些都是影響成像質(zhì)量的關(guān)鍵因素。此外，還規(guī)定了掃描范圍、分辨率以及數(shù)據(jù)采集方式等內(nèi)容，確保實驗結(jié)果的一致性和可比性。

對于數(shù)據(jù)處理部分，《GB/T 31226-2014》提供了具體的指導(dǎo)原則，包括圖像校正、濾波處理及特征提取等步驟，以便從原始STM圖像中獲得關(guān)于表面粗糙度的有效信息。最后，標準中還包括了如何基于所得到的數(shù)據(jù)計算出不同類型的表面粗糙度參數(shù)，并給出了這些參數(shù)的定義及其物理意義。

該文件適用于各類涉及高精度氣體控制與輸送的應(yīng)用場景，特別是當(dāng)傳統(tǒng)光學(xué)或觸針式測量手段難以滿足要求時。通過遵循本標準推薦的方法論，可以有效地提高對復(fù)雜結(jié)構(gòu)材料表面特性的理解和控制水平。


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....

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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2014-09-30 頒布
  • 2015-04-15 實施
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文檔簡介

ICS1704020

J04..

中華人民共和國國家標準

GB/T31226—2014

掃描隧道顯微術(shù)測定氣體配送系統(tǒng)部件

表面粗糙度的方法

Standardtestmethodfordeterminationofsurfaceroughness

byscanningtunnelingmicroscopyforgasdistributionsystemcomponents

2014-09-30發(fā)布2015-04-15實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

中華人民共和國

國家標準

掃描隧道顯微術(shù)測定氣體配送系統(tǒng)部件

表面粗糙度的方法

GB/T31226—2014

*

中國標準出版社出版發(fā)行

北京市朝陽區(qū)和平里西街甲號

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20149

*

書號

:155066·1-49575

版權(quán)專有侵權(quán)必究

GB/T31226—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國科學(xué)院提出

。

本標準由全國納米技術(shù)標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC279)。

本標準起草單位上海交通大學(xué)納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心

:、。

本標準起草人李慧琴梁齊路慶華何丹農(nóng)張冰

:、、、、。

Ⅰ

GB/T31226—2014

引言

半導(dǎo)體凈化室需要高純氣體配送系統(tǒng)的保障本標準提供了一種用于此氣體配送系統(tǒng)中一種或多

,

種部件的表面粗糙度評價方法是一種非接觸的表面輪廓測試方法能夠在納米尺度范圍內(nèi)測試

。STM,

樣品的三維表面形貌并能夠表征表面結(jié)構(gòu)和提供其評定參數(shù)這種表面結(jié)構(gòu)作為一種依據(jù)的測試方

,。

法的應(yīng)用期望能得到不同部件表面粗糙度的比較數(shù)據(jù)以得到高質(zhì)量的氣體體系凈化配件

,,。

定向刻蝕或?qū)w涂層可以改善氣體在表面的潤濕性本標準沒有涉及本標準假設(shè)操作人

,。STM

員已經(jīng)掌握了儀器的原理操作和假象

、。

本標準定義了一種標準數(shù)據(jù)表示格式并提出了用得到的數(shù)據(jù)來分析三維表面結(jié)構(gòu)的評定

,STM

參數(shù)

。

Ⅱ

GB/T31226—2014

掃描隧道顯微術(shù)測定氣體配送系統(tǒng)部件

表面粗糙度的方法

1范圍

本標準規(guī)定了一種使用掃描隧道顯微鏡來分析氣體配送系統(tǒng)部件表面粗糙度的方法

(STM)。

本標準適用于測定Ra小于的不銹鋼表面粗糙度的表征

0.25μm。

本標準不適用于不能產(chǎn)生隧道效應(yīng)的厚氧化層鋼鐵

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

測定試驗方法精密性進行實驗室間研究的標準實施規(guī)范

ASTME691(PracticeforConducting

anInterlaboratoryStudytoDeterminethePrecisionofaTestMethod)

表面結(jié)構(gòu)表面粗糙度波紋度和扭轉(zhuǎn)度

ANSIB46.1:1985(、)[SurfaceTexture(SurfaceRough-

ness,Waviness,andLay)]

3術(shù)語和定義符號和縮略語

、

31術(shù)語和定義

.

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

311

..

假象artifact

非真實的表面形貌包括震動電子噪音熱漂移或不理想探針影響而形成的形貌

,,,。

312

..

中心線centerline

圖像中心線graphicalcenterline

平行于測試輪廓方向的線使得它和輪廓之間的面積在中心線兩側(cè)相等

,。

313

..

截取長度cutofflength

l

c

針對于本文中的輪廓線即取樣長度也就是一個掃描長度單位為納米

,,,(nm)。

314

..

電流current

本標準中指在特定條件下流過探針和樣品表面任何方向的隧道電流

,(nA)。

315

..

特征高度fea

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