ICS7106050

G12..

中華人民共和國國家標準

GB/T30901—2014

高純氟化銨溶液

Highpurityammoniumfluoridesolutionforindustrialuse

2014-07-08發(fā)布2014-12-01實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T30901—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本標準由全國化學(xué)標準化技術(shù)委員會無機化工分會歸口

(SAC/TC63/SC1)。

本標準起草單位浙江凱恒電子材料有限公司福建省邵武市永飛化工有限公司鷹鵬集團宣城亨

:、、/

泰化工科技有限公司巨化集團技術(shù)中心山東興氟新材料有限公司中海油天津化工研究設(shè)計院國家

、、、、

無機鹽產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心

。

本標準主要起草人田志揚趙曉亞萬群平林益興張紅英周鵬鵬郭鳳鑫王芳

:、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T30901—2014

高純氟化銨溶液

1范圍

本標準規(guī)定了高純氟化銨溶液的分級要求試驗方法檢驗規(guī)則標志標簽包裝運輸貯存和

、、、、、、、、

安全

。

本標準適用于高純氟化銨溶液該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗蝕

。、

刻等行業(yè)

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

包裝儲運圖示標志

GB/T191—2008

化工產(chǎn)品采樣總則

GB/T6678

液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T6680

分析實驗室用水規(guī)格和試驗方法

GB/T6682—2008

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

無機化工產(chǎn)品水溶液中值測定通用方法

GB/T23769—2009pH

液體無機化工產(chǎn)品色度測定通用方法

GB/T23770—2009

無機化工產(chǎn)品化學(xué)分析用標準溶液制劑及制品的制備第部分標準滴定溶

HG/T3696.1、1:

液的制備

無機化工產(chǎn)品化學(xué)分析用標準溶液制劑及制品的制備第部分雜質(zhì)標準溶

HG/T3696.2、2:

液的制備

無機化工產(chǎn)品化學(xué)分析用標準溶液制劑及制品的制備第部分制劑及制品

HG/T3696.3、3:

的制備

3分子式和相對分子質(zhì)量

分子式

:NH4F。

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量

:37.04(2011)。

4分級

高純氟化銨溶液按用途分為兩個等級

:

級主要用于線寬為以上集成電路的清洗與蝕刻

———UP-S:0.2μm;

級主要用于線寬為集成電路的清洗與蝕刻

———UP-SS: