ICS29045

H82.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T29849—2013

光伏電池用硅材料表面金屬雜質(zhì)含量的

電感耦合等離子體質(zhì)譜測(cè)量方法

Testmethodformeasuringsurfacemetalliccontaminationofsiliconmaterialsusedfor

photovoltaicapplicationsbyinductivelycoupledplasmamassspectrometry

2013-11-12發(fā)布2014-04-15實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T29849—2013

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院江蘇中能硅

:、、

業(yè)科技發(fā)展有限公司國(guó)家電子功能與輔助材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限

、、

公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人褚連青王奕徐靜王鑫何秀坤裴會(huì)川馮亞彬魯文峰張雪囡

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T29849—2013

光伏電池用硅材料表面金屬雜質(zhì)含量的

電感耦合等離子體質(zhì)譜測(cè)量方法

警告使用本標(biāo)準(zhǔn)的人員應(yīng)有正規(guī)實(shí)驗(yàn)室工作的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)本標(biāo)準(zhǔn)并未指出所有可能的安全問(wèn)題

:。。

使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈ＷC符合國(guó)家有關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件

,。

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了利用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測(cè)定光伏電池用硅材料表面痕量金屬雜質(zhì)

(ICP-MS)

含量的方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電池用硅材料表面痕量金屬雜質(zhì)鈉鎂鋁鉀鈣鈦鉻鐵鎳銅鋅鉬含量

、、、、、、、、、、、

的測(cè)定各元素的測(cè)量范圍見(jiàn)表

。1。

表1表面金屬雜質(zhì)含量測(cè)量范圍單位為納克每克

元素名稱元素符號(hào)測(cè)量范圍

鈉-23

Na3×10~2×10

鎂-23

Mg2×10~2×10

鋁-23

Al2×10~2×10

鉀-23

K2×10~2×10

鈣-23

Ca4×10~2×10

鈦-23

Ti1×10~2×10

鉻-23

Cr1×10~2×10

鐵-23

Fe4×10~2×10

鎳-23

Ni1×10~2×10

銅-23

Cu3×10~2×10

鋅-23

Zn2×10~2×10

鉬-23

Mo1×10~2×10

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級(jí)

GB/T25915.1—20101:

3方法提要