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中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T26312—2010

蒸發(fā)金

Goldforevaporating

2011-01-14發(fā)布2011-11-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T26312—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出

。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京達(dá)博有色金屬焊料有限責(zé)任公司賀利氏招遠(yuǎn)貴金屬材料有限公司賀利氏

:、、

招遠(yuǎn)常熟電子材料有限公司北京有研億金新材料股份有限公司

()、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人杜連民向翠華禹潔麗房晉周曉光毛松林王衛(wèi)東付建彬閆琳

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26312—2010

蒸發(fā)金

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了蒸發(fā)金的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存

、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要適用于制造半導(dǎo)體器件用芯片時(shí)背金用蒸發(fā)金

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

所有部分金化學(xué)分析方法

GB/T11066()

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測(cè)量方法

GB/T15077

所有部分高純金化學(xué)分析方法

GB/T25934()

3要求

31產(chǎn)品分類(lèi)

.

311蒸發(fā)金產(chǎn)品按化學(xué)成分分為和兩種牌號(hào)

..Z-Au99.999Z-Au99.99。

312蒸發(fā)金產(chǎn)品主要以片狀柱狀和線(xiàn)盤(pán)狀為主產(chǎn)品形狀及供貨狀態(tài)應(yīng)滿(mǎn)足表的要求需方有

..、,1。

其他要求時(shí)由供需雙方協(xié)商解決

。

表1

形狀定義供貨狀態(tài)

柱狀直徑為長(zhǎng)度為的線(xiàn)材

0.5mm~8mm、2mm~100mm

片狀長(zhǎng)為寬為厚為的片材

5mm~20mm、5mm~20mm、0.5mm~3mm硬態(tài)

直徑為重量在的線(xiàn)材盤(pán)成線(xiàn)盤(pán)

線(xiàn)盤(pán)狀0.5mm~2mm、100g~500g

狀為主線(xiàn)盤(pán)直徑一般為

,100mm~300mm

32產(chǎn)品標(biāo)記示例

.

321柱狀蒸發(fā)金標(biāo)記

..

?

Z-Au99.999,□×□mm

長(zhǎng)度

直徑

示例直徑為長(zhǎng)度為成分為的柱狀蒸發(fā)金產(chǎn)品標(biāo)記