ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T26111—2010

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)術(shù)語

()

Micro-electromechanicalsystemtechnology—Terms

2011-01-10發(fā)布2011-10-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T26111—2010

目次

前言…………………………

Ⅲ

范圍………………………

11

規(guī)范性引用文件…………………………

21

術(shù)語和定義………………

31

綜合性術(shù)語…………………………

3.11

科學(xué)與工程術(shù)語……………………

3.22

與材料相關(guān)的術(shù)語…………………

3.33

與設(shè)計(jì)相關(guān)的術(shù)語…………………

3.44

與加工工藝相關(guān)的術(shù)語……………

3.57

封裝與組裝術(shù)語……………………

3.610

測量技術(shù)術(shù)語………………………

3.713

與器件相關(guān)的術(shù)語…………………

3.815

參考文獻(xiàn)……………………

22

索引…………………………

23

漢語拼音索引………………

23

英文對(duì)應(yīng)詞索引……………

27

Ⅰ

GB/T26111—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心中國電子科技集團(tuán)第研究所清華大學(xué)上海交通

:、13、、

大學(xué)中北大學(xué)

、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人丁紅宇劉偉張?zhí)O崔波楊擁軍葉雄英陳迪石云波

:、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T26111—2010

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)術(shù)語

()

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域所涉及的材料設(shè)計(jì)加工封裝測量以及器件等方面的通用術(shù)語和

、、、、

定義

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域的研究開發(fā)評(píng)測和應(yīng)用

、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅所注日期的版本適用于本

。,

文件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

電工術(shù)語半導(dǎo)體器件和集成電路

GB/T2900.66—2004(IEC60050-521:2002,IDT)

3術(shù)語和定義

31綜合性術(shù)語

.

311

..

微機(jī)電系統(tǒng)micro-electromechanicalsystemsMEMS

,

微系統(tǒng)microsystem

微機(jī)械micromachine

關(guān)鍵部件特征尺寸在亞微米至亞毫米之間能獨(dú)立完成機(jī)電光等功能的系統(tǒng)

(),。

注1微機(jī)電系統(tǒng)一般包括微型機(jī)構(gòu)微傳感器微執(zhí)行器信號(hào)處理和控制通訊接口電路以及能源等部分

:、、、、。

注2微機(jī)電系統(tǒng)通常需要多學(xué)科領(lǐng)域技術(shù)的綜合應(yīng)用例如機(jī)電光生物等多種領(lǐng)域

:,、、、。

注3主要在美國使用微系統(tǒng)主要在歐洲使用微機(jī)械主要在日本使用

:MEMS,,。

312

..

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)micro-electromechanicalsystemtechnologies

技術(shù)

MEMS

實(shí)現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)的技術(shù)

。

313

..

微科學(xué)與工程micro-scienceandengineering

針對(duì)于微機(jī)電系統(tǒng)的微觀科學(xué)與工程

。

注隨著微機(jī)電系統(tǒng)構(gòu)件尺寸的減小許多物理特性發(fā)生了變化主要有兩類情況這些變化有時(shí)可以由宏觀世

:,。:1)