犐犆犛７１．０４０．９９

犖５３

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１６５９４—２００８

代替ＧＢ／Ｔ１６５９４—１９９６

微米級長度的掃描電鏡測量方法通則

犌犲狀犲狉犪犾狉狌犾犲狊犳狅狉犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳犾犲狀犵狋犺犻狀犿犻犮狉狅狀狊犮犪犾犲犫狔犛犈犕

２００８０９１８發(fā)布２００９０５０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

書

犌犅／犜１６５９４—２００８

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１６５９４—１９９６《微米級長度的掃描電鏡測量方法》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１６５９４—１９９６相比主要變化如下：

———將“測量方法”改為“測量方法通則”；

———將“誤差分析”改為“不確定度評定”；

———增加樣品變形產(chǎn)生的不確定度評定；

———改用實驗方法獲取圖像測量的瞄準(zhǔn)不確定度量值；

———增加“被測長度方向的調(diào)整”附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄，附錄Ｂ～附錄Ｄ為資料性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：上海元寶能源技術(shù)有限公司、上海理工大學(xué)、上海市計量測試技術(shù)研究院、同

濟大學(xué)、中國船舶重工集團公司第７２５研究所。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：張訓(xùn)彪、盧德生、鄧保慶、丁臻敏、劉悅、高文華、徐國照。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６５９４—１９９６。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６５９４—２００８

微米級長度的掃描電鏡測量方法通則

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測量微米級長度的通用原則。適用于測量（０．５～１０）μｍ的長度。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達成協(xié)議的各方研究是

否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＪＪＦ１００１—１９９８通用計量術(shù)語及定義

ＪＪＧ５５０—１９８８掃描電子顯微鏡國家計量檢定規(guī)程

ＪＪＦ１０５９—１９９９測量不確定度評定與表示

ＢＩＰＭＩＥＣＩＦＣＣＩＳＯＩＵＰＡＣＩＵＰＡＰＯＩＭＬ—１９９３測量不確定度表示指南（ＧｕｉｄｅｔｏｔｈｅＥｘ

ｐｒｅｓｓｉｏｎｏｆＵｎｃｅｒｔａｉｎｔｙｉｎＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ）

３術(shù)語和定義、符號、縮略語

３．１術(shù)語和定義

ＪＪＦ１００１—１９９８確定的以及下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

３．１．１

標(biāo)準(zhǔn)長度狊狋犪狀犱犪狉犱犾犲狀犵狋犺

量值足夠穩(wěn)定，經(jīng)過精確標(biāo)定，獲得其測得值和不確定度，并由權(quán)威機構(gòu)批準(zhǔn)發(fā)布的客觀存在的

長度。

３．１．２

被測長度犿犲犪狊狌狉犲犱犾犲狀犵狋犺

通過測量獲得其測得值和不確定度的客觀存在的長度。

３．１．３

被測物質(zhì)犿犲犪狊狌狉犲犱犿犪狋狋犲狉

承載被測長度的物質(zhì)。

３．１．４

標(biāo)稱放大倍率狀狅犿犻狀犪犾犿犪犵狀犻犳犻犮犪狋犻狅狀

掃描電鏡自身顯示的放大倍率。

３．１．５

瞄準(zhǔn)不確定度犪犻犿狌狀犮犲狉狋犪犻狀狋狔

測量放大的圖像時，瞄準(zhǔn)被測長度的標(biāo)記存在