(浙)浙江省地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范JJF（浙）1194-2022閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachines2022-11-14發(fā)布 2023-02-14實(shí)施發(fā)布JJF（浙）1194-2022JJF（浙）1194-2022浙）浙）1194-2022CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachines歸口單位：浙江省市場(chǎng)監(jiān)督管理局主要起草單位：浙江省計(jì)量科學(xué)研究院參加起草單位：杭州市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢測(cè)院本規(guī)范委托浙江省計(jì)量科學(xué)研究院負(fù)責(zé)解釋本規(guī)范主要起草人：金挺（浙江省計(jì)量科學(xué)研究院）王瑛輝（浙江省計(jì)量科學(xué)研究院）葉懷儲(chǔ)（浙江省計(jì)量科學(xué)研究院）參加起草人：詹宇（州市量技監(jiān)督測(cè)院）沈 斌（州徠測(cè)量術(shù)有公司）譚明（圳市圖儀股份限公）目 錄引 言 II范圍 1引用文件 1術(shù)語(yǔ) 1概述 1計(jì)量特性 2校準(zhǔn)條件 2環(huán)境條件 2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備 2校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法 2二維探測(cè)誤差 3尺寸測(cè)量誤差 4測(cè)量重復(fù)性 5校準(zhǔn)結(jié)果 5復(fù)校時(shí)間間隔 5附錄A校準(zhǔn)原始記錄格式 6附錄B校準(zhǔn)證書(shū)內(nèi)容（內(nèi)頁(yè)）格式 10附錄C測(cè)量不確定度評(píng)定示例 I引 言JJF1001-2011JJF1059.1-2012JB/T求和試驗(yàn)方法。本規(guī)范為首次發(fā)布。II閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范范圍本規(guī)范適用于閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x的校準(zhǔn)。引用文件本規(guī)范引用下列文件：JJF1071-2010 國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則術(shù)語(yǔ)二維探測(cè)誤差2Dprobingerror用閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x測(cè)定平面圓形實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)器的半徑變化范圍。注：閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x的工作臺(tái)可移動(dòng)時(shí)的二維探測(cè)誤差為PM；閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x的工作臺(tái)不可移動(dòng)的二維探測(cè)誤差為PS。概述1閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x結(jié)構(gòu)示意圖1—工作臺(tái)；2—操作面板；3—Z軸調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)；4—投射光源；5—反射光源；6—光學(xué)鏡頭；7—圖像傳感器閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x又稱(chēng)一鍵式影像測(cè)量?jī)x，簡(jiǎn)稱(chēng)閃測(cè)儀，是由上下光源、高像素CCD/CMOS相機(jī)、大視角大景深遠(yuǎn)心鏡頭、不可移動(dòng)工作臺(tái)或可移動(dòng)工作臺(tái)組成，包括廣1（或同一工件在測(cè)量范圍內(nèi)的多個(gè)相同特征），并能一次性地自動(dòng)完成所有工件（或特征）測(cè)量。1所示。計(jì)量特性1所示。

表1計(jì)量特性序號(hào)計(jì)量特性測(cè)量設(shè)備1二維探測(cè)誤差（PM，PS）圓形靶標(biāo)2尺寸測(cè)量誤差（EXY）線(xiàn)紋尺，一維點(diǎn)陣掩膜版，二維點(diǎn)陣掩膜版3測(cè)量重復(fù)性注：以上測(cè)量設(shè)備可在滿(mǎn)足閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)要求的前提下選擇使用。校準(zhǔn)條件環(huán)境條件環(huán)境溫度：（20±3）℃，且溫度變化不大于1℃/h12h6h。75%。儀器測(cè)量室內(nèi)應(yīng)無(wú)影響測(cè)量的灰塵、噪音、振動(dòng)、腐蝕性氣體和磁場(chǎng)干擾。6.2 測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備推薦使用表2所列設(shè)備，允許使用其他滿(mǎn)足不確定度要求的測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行校準(zhǔn)。表2測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備序號(hào)設(shè)備名稱(chēng)技術(shù)要求1圓形靶標(biāo)圓度不超過(guò)1/4MPEPS2線(xiàn)紋尺不確定度不大于1/4MPEEXY3一維點(diǎn)陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXY4二維點(diǎn)陣掩膜版不確定度不大于1/4MPEEXY校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法2二維探測(cè)誤差PM將圓形靶標(biāo)水平放置于工作臺(tái)面上，在視場(chǎng)內(nèi)調(diào)整影像清晰。在工作臺(tái)移動(dòng)的情況下，252。圖2 PM測(cè)量示意圖25RmaxRminPM。PS（1030%3。圖3 PS測(cè)量示意圖25RmaxRminPS。3注：選擇廣視野測(cè)量模式下進(jìn)行校準(zhǔn)。M與。尺寸測(cè)量誤差測(cè)量位置4個(gè)位置進(jìn)行測(cè)量。其中兩個(gè)位置X+YX-YXY軸方向，4。注：可根據(jù)用戶(hù)需要選擇任意位置作為測(cè)量位置。圖4測(cè)量位置示意圖測(cè)量間隔310%，XY90%X+YX-Y方向66%。測(cè)量方法當(dāng)使用線(xiàn)紋尺做測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，按7.2.1的要求選擇測(cè)量位置。在各測(cè)量位置上依次對(duì)規(guī)定的線(xiàn)紋間隔進(jìn)行測(cè)量。三次測(cè)得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器實(shí)際值的差值為尺寸測(cè)量誤差。4注：如閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x具有廣視野與高精度兩種測(cè)量模式，則需校準(zhǔn)兩種測(cè)量模式的尺寸測(cè)量誤差。7.2.3測(cè)量重復(fù)性10次，按公式（1）計(jì)算重復(fù)性。n(n(L L)2ii1 n1式中：s——重復(fù)性,mm；Li——第i次的讀數(shù)值，mm；L——n次讀數(shù)平均值，mm；n——測(cè)量次數(shù)，n=10。注：如閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x具有廣視野與高精度兩種測(cè)量模式，則需校準(zhǔn)兩種測(cè)量模式的測(cè)量重復(fù)性。7.3的方法測(cè)量拼接模式下測(cè)量重復(fù)性。校準(zhǔn)結(jié)果JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫(xiě)規(guī)則》5.12條款中的信息。校準(zhǔn)B。復(fù)校時(shí)間間隔5附錄A閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)原始記錄格式二維探測(cè)誤差序號(hào)二維探測(cè)誤差（μm）Rmax（mm）Rmin（mm）1PM2PS測(cè)量平面內(nèi)的尺寸測(cè)量誤差廣視野模式：EXY測(cè)量值（mm）測(cè)量值平均值（mm）標(biāo)稱(chēng)值（mm）偏差（μm）示值誤差（μm）123XYX+YX-Y廣視野模式拼接：EXY測(cè)量值（mm）測(cè)量值平均值（mm）標(biāo)稱(chēng)值（mm）偏差（μm）示值誤差（μm）123X6YX+YX-Y高精度模式：EXY測(cè)量值（mm）測(cè)量值平均值（mm）標(biāo)稱(chēng)值（mm）偏差（μm）示值誤差（μm）123XYX+YX-Y高精度模式拼接：EXY測(cè)量值（mm）測(cè)量值平均值（mm）標(biāo)稱(chēng)值（mm）偏差（μm）示值誤差（μm）123X7YX+YX-Y測(cè)量重復(fù)性廣視野模式：序號(hào)12345測(cè)量值（mm）序號(hào)678910測(cè)量值（mm）n s= （L2n（m）ii1廣視野模式拼接：序號(hào)12345測(cè)量值（mm）序號(hào)678910測(cè)量值（mm）n s= （L2n（m）ii18高精度模式：序號(hào)12345測(cè)量值（mm）序號(hào)678910測(cè)量值（mm）n s= （L2n（m）ii1高精度模式拼接：序號(hào)12345測(cè)量值（mm）序號(hào)678910測(cè)量值（mm）n s= （L2n（m）ii19JJF1194-2022JJF1194-2022附錄B閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)證書(shū)（內(nèi)頁(yè)）格式二維探測(cè)誤差序號(hào)二維探測(cè)誤差（μm）1PM2PS尺寸測(cè)量誤差EXY廣視野模式廣視野模式拼接高精度模式高精度模式拼接測(cè)量值平均值（mm）示值誤差（μm）測(cè)量值平均值（mm）示值誤差（μm）測(cè)量值平均值（mm）示值誤差（μm）測(cè)量值平均值（mm）示值誤差（μm）XYX+YX-Y測(cè)量重復(fù)性序號(hào)測(cè)量重復(fù)性（mm）1廣視野模式2廣視野模式拼接3高精度模式4高精度模式拼接10附錄C尺寸示值誤差測(cè)量結(jié)果的不確定度評(píng)定示例概述依據(jù)依據(jù)《閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x校準(zhǔn)規(guī)范》,對(duì)閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x尺寸示值誤差的測(cè)量不確定度進(jìn)行分析和評(píng)定。測(cè)量方法采用標(biāo)準(zhǔn)玻璃線(xiàn)紋尺對(duì)尺寸示值誤差進(jìn)行直接測(cè)量。測(cè)量模型依據(jù)本規(guī)范進(jìn)行尺寸示值誤差校準(zhǔn)時(shí)，其測(cè)量模型見(jiàn)公式（C.1。Ll

（C.1）式中： --------閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x測(cè)量平面內(nèi)的尺寸示值誤差；L--------閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x測(cè)量值；l---------標(biāo)準(zhǔn)玻璃線(xiàn)紋尺實(shí)際值；不確定度傳播律見(jiàn)公式（C.2）c2(L)u2(c2(L)u2(L)c2(l)u2(l)12式中：

c(L)11 Lc(l)12 l標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量來(lái)源分析與計(jì)算標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量主要來(lái)源包括以下四部分：a)測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u1；b)閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u2；c)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線(xiàn)紋尺引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3；d)閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x光柵尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線(xiàn)紋尺線(xiàn)膨脹系數(shù)差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u4；111測(cè)量重復(fù)性引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量100mm10100.0011、100.0018100.0013100.0012100.0019100.0018100.0017100.0018100.0011100.0013。i1i1n(xx)2in1則u1=

=0.33μm33s=0.33=0.19μm332閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x分辨力引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u23儀器的數(shù)顯裝置的分辨力為0.1μm，服從均勻分布，k= ，則3232u=0.1232測(cè)量重復(fù)性和分辨力，兩者中取大值。3標(biāo)準(zhǔn)玻璃線(xiàn)紋尺引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u3依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)玻璃線(xiàn)紋尺的證書(shū)，其測(cè)量不確定度為U=(0.20+1.5L)μm，(L-m) k=3，取L=100mm=0.1m,則u0.21.50.1=0.12μm3 34閃測(cè)影像測(cè)量?jī)x光柵尺與標(biāo)準(zhǔn)玻璃線(xiàn)紋尺線(xiàn)膨脹系數(shù)差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u4膨脹系數(shù)差的界限在±2.0×10-6℃-1范圍內(nèi)服從三角分布，Δt=3℃。2.010-621000006u4 μm=0.25μm6合成不確定度1標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表（C.1）12表C.1 標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表輸入標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u(xi)不確定度分量來(lái)源不確定度分量值（μm）ciciu(xi)（μm）u(L)u1測(cè)量重復(fù)性0.191