..頁腳.使用說明書使用說明書SFJ-261型氦質(zhì)譜檢漏儀皖儀科技

目錄◎TOC\h\z\t"樣式1,2,樣式2,3,樣式3,4,nw1,1"1-1概述 4二 儀器介紹 52-1儀器性能參數(shù) 52-1-1SFJ-261性能參數(shù) 52-2儀器使用環(huán)境 62-2-1SFJ-261使用環(huán)境 62-3儀器結(jié)構(gòu) 72-3-1 儀器外觀 72-3-2 內(nèi)部結(jié)構(gòu)及部件 82-3-3 操作面板 9 2-3-3-1261面板 9 2-3-3-2261外部接口 92-3-4 電子系統(tǒng)示意圖 112-4工作流程 122-4-1系統(tǒng)示意圖 122-4-2系統(tǒng)工作流程 14三 使用方法 163-1開始使用（以噴吹法為例） 161 啟動 162 參數(shù)設(shè)定 193 檢漏（噴吹法） 274 標(biāo)漏校準(zhǔn) 285 調(diào)零（校零） 286 停止 297 運行狀態(tài) 298 停機斷電 303-2其他檢漏方法的操作 303-2-1 吸入法檢漏 303-2-2 背壓法檢漏 30四 維護(hù) 314-1基本維護(hù)項目 314-1-1 漏率校準(zhǔn) 314-1-2機械泵保養(yǎng) 314-1-3分子泵維護(hù) 314-1-4質(zhì)譜管及離子源清洗 31五常見故障和處理 325-1常見故障和處理 325-2錯誤代碼及其排除 33六 附錄 346-1氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理 346-2氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式 356-3常用單位的換算 366-3-1壓強單位的換算 366-3-2漏率單位的換算 366-4常用檢漏方法 376-4-1噴吹法——確定漏孔位置 376-4-2 吸入法——確定漏孔位置 386-4-3 鐘罩法——測總漏率 396-4-4 背壓法——測總漏率 406-4-5 輔助真空系統(tǒng) 41七售后服務(wù) 427-1售后服務(wù) 42

一 概述1-1 概述SFJ－261型氦質(zhì)譜檢漏儀是對密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦質(zhì)譜檢漏儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。目前，檢漏技術(shù)在以下領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用：科學(xué)研究航空航天汽車制冷軍事工業(yè)分析儀器發(fā)電廠核工業(yè)壓力容器精密機械加工醫(yī)療儀器/儀表真空爐、鍍膜設(shè)備等裝置或系統(tǒng)高真空和超高真空的工程半導(dǎo)體等行業(yè)SFJ－261型氦質(zhì)譜檢漏儀將為您提供更快速，更經(jīng)濟，更精確的檢漏方案。

二 儀器介紹2-1 儀器性能參數(shù)性能參數(shù)機型參數(shù)值最小可檢漏率（Pa.m3/s）SFJ-2615×10-12響應(yīng)時間（s）SFJ-261<1啟動時間（min）SFJ-261<3min漏率指示范圍（Pa.m3/s）SFJ-2611×10-3～1×10-12檢漏口允許最大壓力（Pa）SFJ-2611000Pa線控器SFJ-261選配雙燈絲自動切換SFJ-261有允許質(zhì)譜管最大壓力（Pa）SFJ-2613×10-3檢大漏功能SFJ-261基本型號不具備儀器物理尺寸（W）×（D）×（H）SFJ-261450×480×350重量（KG）SFJ-261<45KG 2-1-1SFJ-261性能參數(shù)2-2 儀器使用環(huán)境2-2-1SFJ-261使用環(huán)境機型環(huán)境參數(shù)極限條件SFJ-261環(huán)境溫度（℃）0~50相對濕度<80%供電電壓單相~220V±10%,50Hz最大工作電流（A）5注意 1、使用本產(chǎn)品前請確保儀器已可靠接地,嚴(yán)禁在沒有接地的情況下使用本產(chǎn)品！如果因沒有可靠接地而造成的儀器損壞或人員傷亡，本公司不承擔(dān)任何責(zé)任。2、儀器附近無強磁場干擾，無劇烈震動，無腐蝕性氣體；室內(nèi)要有良好通風(fēng)，以防氦氣干擾

2-3 儀器結(jié)構(gòu)2-3-1 儀器外觀SFJ-261SFJ-2612-3-2 內(nèi)部結(jié)構(gòu)及部件151115111414551011013362621212747498981111編號部件名稱備注1檢漏口被檢工件與檢漏儀的接口，KF-25接口2接收器收集氦離子信號并放大3離子源產(chǎn)生氦離子4質(zhì)譜室離子飛行的腔體5真空計接口共兩只，一只用于測量檢漏口真空，另外一只用于測量分子泵排氣口真空值6分子泵可使質(zhì)譜室達(dá)到高真空7組合閥座完成氣路切換的工作8磁鐵為離子旋轉(zhuǎn)提供磁場9電磁閥實現(xiàn)氣路的通或斷10電氣控制位置電氣控制都集中在此（高壓危險）11散熱風(fēng)扇12標(biāo)漏漏率參照14真空泵分子泵的前級泵和預(yù)抽工件時使用15開關(guān)電源為電器部分提供電源注不同的機型可能各部件布局略有差異圖片僅供參考，請以實物為準(zhǔn)操作面板2-3-3-1261面板觸摸顯示屏觸摸顯示屏調(diào)零開始/停止部件名稱部件類型備注觸摸顯示屏顯示操作顯示設(shè)備當(dāng)前的運行狀態(tài),可通過觸摸方式更改參數(shù)切換顯示畫面開始/停止按鈕開始檢漏或停止檢漏按鈕.長按可對檢漏口放入空氣,以便更換工件調(diào)零按鈕按下后可自動扣除當(dāng)前本底,長按取消調(diào)零2-3-3-2261外部接口123456123456編號部件類型備注1電源接口電源接口包括：開關(guān)/保險絲/電源插孔2DB9接頭串行通訊接口3RJ-45接口485通訊接口4RJ-11接口吸槍控制接口5DB15接口輸出控制接口6PC快速接口機械泵排氣口DB9接口定義編號備注1NC2RXD3TXD4NC5GND6，7，8，9NCDB15接口定義編號備注124V2輸出繼電器1常開3輸出繼電器1公共端4輸出繼電器1常閉5輸出繼電器2常開6輸出繼電器2公共端7輸出繼電器2常閉8輸出繼電器3常開9輸出繼電器3公共端10輸出繼電器3常閉11GND12檢漏口真空輸出13漏率信號輸出14漏率基數(shù)電壓輸出9.9V對應(yīng)9.915漏率指數(shù)電壓輸出14V對應(yīng)于-14，0V對應(yīng)于02-3-4 電子系統(tǒng)示意圖RS232/485數(shù)傳模塊CPU電氣系統(tǒng)示意圖（電源模塊隱含）輸入模塊RS232/485數(shù)傳模塊CPU電氣系統(tǒng)示意圖（電源模塊隱含）輸入模塊輸出控制模塊控制模塊顯示模塊離子源電源模塊各模塊功能如下表所示：模塊名稱功能簡介CPU整個電子系統(tǒng)的核心，協(xié)調(diào)所有的操作都顯示模塊顯示漏率，壓力等數(shù)據(jù)控制模塊按鍵輸入以便完成相應(yīng)的操作輸入模塊采樣數(shù)據(jù)并傳送給CPURS232數(shù)傳模塊與外部232設(shè)備通訊，也可接線控器輸出控制模塊控制繼電器，電磁閥的動作，以實現(xiàn)檢漏、停止等操作和氣路切換離子源電源模塊控制離子源的電源*儀器運行時,離子源電源模塊所在的“電氣部分”有高壓，請不要觸摸，請不要隨意打開機箱后蓋及電氣盒蓋。2-4工作流程2-4-1系統(tǒng)示意圖12345678910111213141516171819系統(tǒng)示意圖12345678910111213141516171819系統(tǒng)示意圖部件說明：編號名稱備注1分子泵可為質(zhì)譜室提供高真空，以便離子源可靠的工作2分子泵排氣口3真空計測量分子泵排氣口的真空值4分子泵進(jìn)氣口1氣流壓縮比最大，5電磁閥V4切換氣路6電磁閥V3切換氣路7電磁閥V1切換氣路8機械泵分子泵的前級泵，并為小容量的工件抽真空9電磁閥V2切換氣路10電磁閥V6為工件放氣11標(biāo)準(zhǔn)漏孔定標(biāo)時應(yīng)用的接口12導(dǎo)管加濾網(wǎng)后同大氣相連13真空計測量檢漏口壓力14檢漏口與被檢工件的接口15分子泵進(jìn)氣口2抽速比主進(jìn)氣口低，壓縮比較大16質(zhì)譜室17磁鐵18接收器接收氦離子信號19分子泵主進(jìn)氣口與質(zhì)譜室相連*壓縮比： 進(jìn)氣口1，進(jìn)氣口2，分子泵排氣口的氦氣濃度與主進(jìn)氣口處氦氣濃度的比值。接通電源粗真空ok？(部件3測量)計時>600秒?出錯(等待重重新上電)分子泵啟動分子泵/高真空ok?計時>600秒?接通電源粗真空ok？(部件3測量)計時>600秒?出錯(等待重重新上電)分子泵啟動分子泵/高真空ok?計時>600秒?出錯(等待重重新上電)離子源加電成功?重試重試次數(shù)>10?出錯(等待重重新上電)啟動完成,可以檢漏了YNNYYYYYYNNN啟動流程圖：備注:備注:啟動過程中只有V1是打開的其余閥都應(yīng)該是關(guān)閉的，如果有閥沒有關(guān)閉，請檢查，或聯(lián)系生產(chǎn)商；如果系統(tǒng)出錯,且多次重新啟動后均無法啟動,請聯(lián)系生產(chǎn)廠商儀器READY接好工件，按下檢漏鍵關(guān)閉V1，打開V2預(yù)抽真空，儀器READY接好工件，按下檢漏鍵關(guān)閉V1，打開V2預(yù)抽真空，檢漏口真空到1000pa？計時到3600秒？出錯，真空抽不下，可能要接輔助機械泵，或者有大漏每280秒開V1，關(guān)V2一次并維持2秒，然后再次關(guān)閉V1打開V2，防止因分子泵排氣口壓力過高，使分子泵停機檢漏口真空到100pa？打開V1，如檢測大漏可以噴氦檢漏了關(guān)閉V2，打開V3，V1，如檢測中漏漏可以噴氦檢漏了檢漏口真空到10pa？關(guān)閉V3，打開V4，V1，如檢測微漏可以噴氦檢漏了檢漏完成，按停止鍵結(jié)束檢漏系統(tǒng)出錯流程系統(tǒng)出錯顯示錯誤代碼關(guān)閉所有的閥門及分子泵和離子源電源，等待用戶處理標(biāo)漏鍵驅(qū)動的事件：按下標(biāo)漏按鈕檢漏中？開/關(guān)V5（標(biāo)漏閥）顯示采集到的數(shù)值開V5系統(tǒng)開始重新定標(biāo)，顯示等待畫面定標(biāo)完成后，當(dāng)前標(biāo)漏值，需要按停止按鈕將此數(shù)值存儲，否則定標(biāo)無效YYYYYNNNNN*詳細(xì)操作說明請參見下章三 使用方法 3-1 開始使用（以噴吹法為例）3-1-1準(zhǔn)備工作： 儀器搬運到檢漏現(xiàn)場提供～220V+±10%,50Hz的交流電源，并且確保有地線準(zhǔn)備好三芯的插座，并且確保插座的容量是250V*10A準(zhǔn)備好氦氣和噴槍及其他配件如：波紋管，快卸法蘭等3-1-2 基本操作說明1 啟動將檢漏口用專用堵頭堵住，接通電源,按下電源開關(guān)到“1”的位置，儀器開始加電。設(shè)備顯示啟動畫面。如下圖：3秒后進(jìn)入監(jiān)測畫面，如下圖：啟動畫面中顯示項目：編號名稱備注1啟動已用時顯示從加電到當(dāng)前所用的時間2檢漏口壓力檢漏口的壓力3排氣口壓力分子泵排氣口的壓力啟動完成后顯示如下：待機畫面中的項目：編號名稱備注1檢漏模式指示當(dāng)前檢漏的工作模式，真空/吸槍模式2檢漏口壓力檢漏口的壓力3排氣口壓力分子泵排氣口的壓力4報警音量顯示報警時喇叭的音量5報警閾值顯示報警設(shè)定值6漏率顯示當(dāng)前質(zhì)譜室的本底漏率如果有異常則自動進(jìn)入報警窗口如下：在產(chǎn)生原因中會列舉出產(chǎn)生此種故障的最可能因素，用戶可根據(jù)提示進(jìn)行排除，如果不能排除可聯(lián)系廠商進(jìn)行維修。如果設(shè)備進(jìn)入待機狀態(tài)則說明系統(tǒng)啟動完成。！如果儀器是第一次使用或者停用很久后再次使用，質(zhì)譜室內(nèi)殘存氣體比較多可能會導(dǎo)致啟動時間較長啟動時最好不要讓檢漏口與大氣直通，建議使用專用堵頭堵住2 參數(shù)設(shè)定1、進(jìn)入設(shè)定畫面在待機狀態(tài)下點擊[菜單]后選擇[參數(shù)設(shè)定]進(jìn)入如下畫面進(jìn)入此畫面后即可對各項參數(shù)進(jìn)行設(shè)定如果要切換到主畫面可以按[菜單]后按[主畫面]即可。2、報警閾值的設(shè)定：設(shè)定報警的閾值進(jìn)入設(shè)定后，按[報警閾值]圖標(biāo)進(jìn)入如下畫面。參數(shù)含義編號名稱備注1上限值設(shè)定此值后如實際漏率值大于此值則報警2檢漏閥設(shè)定自動選擇檢漏閥門，自動：則系統(tǒng)會根據(jù)信號大小自動切換閥門用不同的分子泵口檢漏高：選擇V4（閥門4）對應(yīng)的口進(jìn)行檢漏中：選擇V3（閥門3）對應(yīng)的口進(jìn)行檢漏低：選擇V1（閥門1）對應(yīng)的口進(jìn)行檢漏3報警繼電器禁止輸出：發(fā)生報警不允許輸出繼電器動作（DB15輸出繼電器3不動作）允許輸出：發(fā)生報警不允許輸出繼電器動作（DB15輸出繼電器3動作）上限值的修改點擊數(shù)據(jù)點擊數(shù)據(jù)點擊數(shù)據(jù)點擊數(shù)據(jù)點擊要修改的數(shù)據(jù)然后在彈出的鍵盤中輸入要設(shè)定的報警值即可。如要輸入：1.0×10-10可先在屏幕上點擊基數(shù)1.0所在的位置，在鍵盤上按下[1]后再按下[0]然后按[ENT]確認(rèn)輸入。如果輸入有錯誤則鍵盤不消失，否則鍵盤消失，其中小數(shù)點不用輸入。要設(shè)定指數(shù)10則按指數(shù)所在的位置然后在鍵盤上輸入相應(yīng)的值即可。檢漏閥的設(shè)定按[+]或[-]可修改檢漏時使用的閥門。輸出繼電器的設(shè)定按[+]或[-]可修改是否允許輸出繼電器動作。輸入完畢后如果要回到主畫面的監(jiān)視可以按[主畫面]進(jìn)入，如果要重新設(shè)定新的設(shè)定項可以按[返回]，進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面）。3、音量設(shè)定：設(shè)定報警音量的大小進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），然后按下[音量]，可進(jìn)入如下畫面：按[+]或[-]可選擇相應(yīng)的音量，在每次更改音量后喇叭會響一聲，以便讓用戶知道現(xiàn)在的音量有多大。4、標(biāo)漏的設(shè)定：標(biāo)漏衰減后需要更改此值儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[校準(zhǔn)設(shè)置]，進(jìn)入如下畫面： 根據(jù)校準(zhǔn)標(biāo)漏上顯示的數(shù)值，輸入標(biāo)漏值即可，注意標(biāo)漏的單位是Pa·m3/S。輸入完畢后可按[返回]設(shè)定別的參數(shù)，也可按[標(biāo)漏]進(jìn)行標(biāo)漏校準(zhǔn)。5、濾波方式設(shè)定儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[濾波方式]，進(jìn)入如下畫面：通過[+]/[-]改變?yōu)V波方式動態(tài)濾波：動態(tài)濾波精度高，但響應(yīng)速度略慢。靜態(tài)濾波：靜態(tài)濾波波動大，但速度快。用戶可以根據(jù)實際情況自行選擇。6、檢漏模式儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[檢漏模式]，進(jìn)入如下畫面：通過[+]/[-]改變檢漏模式。真空模式：真空模式下負(fù)壓檢漏，且不響應(yīng)吸槍控制信號。吸槍模式：檢漏口接吸槍后可以對工件施行正壓檢漏，系統(tǒng)相應(yīng)吸槍控制信號。7、校零模式儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[校零模式]，進(jìn)入如下畫面通過[+]/[-]改變參數(shù)設(shè)定。校零模式： 自動：檢漏閥打開后等待時間到后，系統(tǒng)自動進(jìn)入校零模式（自動本底扣除）。 手動：需要按面板上的[調(diào)零]才可以進(jìn)入本底扣除方式。時間： 在自動模式下，等待此時間后進(jìn)入本底扣除方式。校零等級： 進(jìn)入自動本底扣除后，顯示的值為扣除本底前值的指數(shù)減去此設(shè)定值。8、機器因素儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[機器因素]，進(jìn)入如下畫面通過[+]/[-]改變參數(shù)設(shè)定。 設(shè)定此值后，顯示的值會自動乘上此值。設(shè)定為0時表示，不乘以機器因素。9、單位設(shè)定儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[單位設(shè)定]，進(jìn)入如下畫面通過[+]/[-]改變參數(shù)設(shè)定。10、通訊設(shè)定儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[單位設(shè)定]，進(jìn)入如下畫面其中232通訊口的速率是固定的。485口的速率可調(diào)，建議使用默認(rèn)9600，否則可能會造成通訊穩(wěn)定性不高。11、輸出設(shè)定儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[單位設(shè)定]，進(jìn)入如下畫面221133545466上限值：按1可改變是否允許輸出，當(dāng)允許輸出時，如果檢漏口壓力高于設(shè)定值則輸出繼電器1有輸出動作，反之無輸出。下限值：按4可改變是否允許輸出，當(dāng)允許輸出時，如果檢漏口壓力低于設(shè)定值則輸出繼電器2有輸出動作，反之無輸出。上下限值的設(shè)定：按數(shù)值所在的位置，然后在鍵盤中輸入相應(yīng)的數(shù)據(jù)。 注：上下限值的單位為mbar12、時間設(shè)定儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[時間]，進(jìn)入如下畫面如要修改時間，可按數(shù)字后在鍵盤上直接輸入。13、時間設(shè)定儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[密碼]，進(jìn)入如下畫面設(shè)定此值后，進(jìn)入?yún)?shù)設(shè)定畫面時會提示輸入正確的密碼否則不能進(jìn)入。輸入密碼土如下：如要進(jìn)入可按**********然后輸入正確的密碼后點[進(jìn)入]。檢漏（噴吹法）儀器在停機或待機狀態(tài)下，按下「開始/停止」鍵，等待儀器給工件抽真空，進(jìn)入如下畫面如果V1閥打開了，可以對工件噴氦檢大漏；V3閥打開，可以對工件噴氦檢中漏；V4閥打開，可以對工件噴氦檢微漏（2-4-2檢漏流程）。進(jìn)入檢漏畫面后顯示為：檢漏模式檢漏模式是否調(diào)零中是否調(diào)零中音量指示音量指示漏率指示漏率指示檢漏口壓力檢漏口壓力此時可以對被測工件進(jìn)行噴氦檢漏，漏率的數(shù)值在漏率指示區(qū)顯示。標(biāo)漏校準(zhǔn)將標(biāo)漏接到檢漏口，儀器在停機或待機狀態(tài)下進(jìn)入設(shè)定的選項（PARAMETER畫面），按下[校準(zhǔn)設(shè)置]，進(jìn)入如下畫面： 根據(jù)校準(zhǔn)標(biāo)漏上顯示的數(shù)值，輸入標(biāo)漏值即可，注意標(biāo)漏的單位是Pa·m3/S。輸入完畢后可按[返回]設(shè)定別的參數(shù)，也可按[標(biāo)漏]進(jìn)行標(biāo)漏校準(zhǔn)，然后回到主畫面檢測校準(zhǔn)情況：當(dāng)指示的漏率信號穩(wěn)定后即可按[開始/停止]鍵結(jié)束校準(zhǔn)。調(diào)零（校零）儀器處于檢漏狀態(tài)時，可按「調(diào)零」可扣除當(dāng)前本底信號，使儀器指示的讀數(shù)為絕對漏率。6 停止在待機或者檢漏狀態(tài)下，按下「開始/停止」鍵即可使儀器進(jìn)入停止?fàn)顟B(tài)，長按設(shè)定鍵可打開放氣閥對檢漏口放入空氣，以便更換檢測的工件。7 運行狀態(tài)按[菜單]然后按[運行狀態(tài)]進(jìn)入如下畫面：按[下一頁]進(jìn)入：按[下一頁]進(jìn)入：按[下一頁]進(jìn)入：按[下一頁]進(jìn)入：再次按[下一頁]回到第一頁。8 停機斷電檢漏完成后確定儀器顯示停機或待機狀態(tài)下，將檢漏口有專用堵頭堵上即可，按下機箱后的電源按鈕關(guān)閉電，拔出電源插頭。3-2 其他檢漏方法的操作3-2-1 吸入法檢漏吸入法檢漏的操作與噴吹法基本操作相同，所不同的是：檢漏口接的不是被檢測工件而是專用的吸槍。具體操作是：將被檢工件中被充入氦氣或氦-氮（空氣）的混合氣（壓力）1ATM），將專用的吸槍連接到檢漏口，按下“檢漏”按鈕，將吸槍吸嘴對著可以漏點。如果泄露大于設(shè)定值則儀器自動報警。3-2-2 背壓法檢漏背壓法檢漏與噴吹法基本操作相同，只是，工件內(nèi)不要先壓入氦氣，然后再將工件放入檢漏罐中進(jìn)行檢漏。

四 維護(hù)4-1 基本維護(hù)項目4-1-1 漏率校準(zhǔn)長時間不用或每天開機后進(jìn)行一次。請參閱3-1-2標(biāo)漏校準(zhǔn)。4-1-2機械泵保養(yǎng)加油孔堵頭加油孔堵頭MINMAX排油孔堵頭油面每隔一段時間觀測一次機械泵油面如圖所示，確保起油面在MIN以上，如果低于MIN則需要對機械泵加油；如果油為棕黑色則需要對其換油。操作如下：關(guān)閉儀器，打開外殼。加油：拆下，加油孔堵頭，然后將專用的機械泵油從此孔裝入，注意不要超過MAX線，重新裝好加油孔堵頭即可。換油：需要先將排油孔堵頭拆下，將泵內(nèi)臟油放盡，然后將排油孔堵頭重新裝好，然后重復(fù)加油動作即可。4-1-3分子泵維護(hù)分子泵屬于精密機械，搬運時注意輕拿請放，注意泵體內(nèi)部要保持潔凈，如果不慎進(jìn)入污垢要及時對其進(jìn)行清洗，清洗時要用專門的清洗液和工具！分子泵的維護(hù)的需要在專業(yè)人員指導(dǎo)下才能對其進(jìn)行相關(guān)操作，如果發(fā)現(xiàn)有他人私自損害現(xiàn)象，本公司不承擔(dān)后果。4-1-4質(zhì)譜管及離子源清洗儀器長時間使用后，質(zhì)譜管可能會被污染，建議您和廠商或經(jīng)銷商聯(lián)系。五常見故障和處理5-1 常見故障和處理故障分類故障現(xiàn)象檢查和排除方法電源開機后無顯示機械泵不運轉(zhuǎn)散熱風(fēng)扇不轉(zhuǎn)電源插座有無~220V插頭與插座是否接觸良好電源開關(guān)是否接觸保險管是否損壞開機后無顯示機械泵不運轉(zhuǎn)檢查電氣盒中變壓器是否接頭是否松動檢查到顯示模塊連接線是否松動風(fēng)扇風(fēng)扇不轉(zhuǎn)檢查風(fēng)扇是否正常檢查風(fēng)扇插座是否松動機械泵開機后有顯示，機械泵不轉(zhuǎn)檢查機械泵電源檢查機械泵機械泵響聲不正常檢查機械泵各連接卡箍檢查檢漏口是否密封檢查機械泵油面機械泵不OK檢查是否有大漏分子泵分子泵不OK檢查分子泵電源檢查及分子泵信號線檢查分子泵各接口是否連接好顯示顯示錯誤，無顯示檢查顯示模塊電源檢漏口真空檢漏口真空抽不下去檢查電磁閥V2燈絲離子源燈絲不加電檢查分子泵檢查離子源插座離子源反復(fù)加電檢查離子源插座按鍵按鍵不起作用檢查按鍵是否損壞按鍵不起作用儀器不停的鳴叫檢查是否有按鍵一直按下說明 如果出現(xiàn)上表未列出之故障，請與生產(chǎn)商或經(jīng)銷商聯(lián)系

5-2 錯誤代碼及其排除錯誤代碼含義檢查排除E01分子泵出錯重新啟動儀器E02機械泵出錯重新啟動儀器E03燈絲斷路更換燈絲E04檢漏口壓力過高檢查檢漏口是否連接好E05A/D錯誤更換A/DE06燈絲保護(hù)重新啟動儀器E07氦峰失準(zhǔn)檢查離子源電壓E08其他故障告知廠家說明 如果出現(xiàn)上表未列出之錯誤，請與生產(chǎn)商或經(jīng)銷商聯(lián)系

六 附錄6-1 氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理，用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器．其質(zhì)譜原理如圖所示。接收器接收器離子源磁場輕離子重離子氦離子氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜學(xué)原理燈絲發(fā)射出來的電子在電離室內(nèi)來回的振蕩，與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進(jìn)入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進(jìn)入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，軌道半徑式中R——離于偏轉(zhuǎn)軌道半徑（cm） B——磁場強度（T） ——離子的質(zhì)（量）／（電）荷比（正整數(shù)） U——離子加速電壓（V）由上式可知，當(dāng)R、B為定值時，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達(dá)接收極而被檢測。

6-2 氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏。逆擴散原理如圖所示。SFJ－261型氦質(zhì)譜檢漏儀為逆擴散型。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強與進(jìn)氣口壓強之比）即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。機械泵進(jìn)氣口機械泵進(jìn)氣口氦檢漏口質(zhì)譜室分子泵分子泵進(jìn)氣口機械泵分子泵出氣口機械泵出氣口分子泵進(jìn)氣口逆擴散的氣體被抽出的氣體逆擴散原理逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高，261型氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa（一般常規(guī)檢漏儀為100Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長等優(yōu)點。

6-3 常用單位的換算6-3-1壓強單位的換算PaTorrmbarbaratm1Pa10.75×10-20.0110-50.99×10-51Torr13311.331.33×10-31.32×10-31mbar1000.75110-30.99×10-31bar105750100010.991atm1.013×10576010131.0