1、半導體廠設備工程師人員安全注意事項（一）摘要半導體業(yè)對臺灣整體市場影響力非常大，集成電路制造過程使用非常多化學品及有害氣體，主要設備單位包括Diff、Thin-film、CMP、Vacuum、DryEtch、WetEtch、Photo。為了讓工安人員、設備人員能夠充分的了解在FAB內所處之工作環(huán)境及在工作時需特別注意之安全事項，茲將設備人員所負責之機臺及該注意之安全事項，加以匯整說明，以確實加強改善半導體廠設備工程師人員之安全，避免人員意外事件發(fā)生。一、工作安全之基本觀念一般工作現(xiàn)場中主要安全基本觀念包括以下數(shù)點：（一）安全是工作的一部份，我們有義務要把安全做好。（二）依據(jù)國際安全評分系統(tǒng)（I

2、SR即統(tǒng)計之意外事故比率：每600件虛驚事故，就會伴隨30件財物損失之事故，并產(chǎn)生10件輕微傷害事故，最后可能產(chǎn)生1件嚴重傷害事故。（三）任何意外事故發(fā)生，均是由日常工作中不安全的行為或不安全的環(huán)境所造成。（四）落實安全管理是主管的必修課程，不是在事后補救；預防勝于治療。（五）只要是涉及安全，你唯一能相信的是你自己，你必須有百分之百的把握，你所做的任何行為或動作沒有任何安全顧慮。所有工作人員，都必須有預知危險之危機意識。（六）從事任何工作，你首先要考慮的是你自己本身的安全，再來是周遭的人身安全，其次才是機臺與產(chǎn)品的安全。（七）擔任維修及保養(yǎng)工作時，若你發(fā)現(xiàn)你不夠清楚，請立即停止進行中的工作。（

3、八）凡事務必遵守標準程序（SOP、PMProcedure、TroubleShootingGuide）。從事特定維修工作，請確實按照規(guī)定穿著標準防護用具。二、設備人員維修/保養(yǎng)工作通則半導體廠中設備人員維修、保養(yǎng)時易造成人員安全疑慮，因此凡于無塵室內從事PM及維修工作時，均應遵守下列規(guī)定事項，以確保安全且整齊之高質量工作環(huán)境。（一）安全事項：1、任何操作均以安全為第一考慮。2、設備維修時，必須掛上維修中警示牌，以防止他人誤動作。3 、PM維修中，如需占用走道或掀開高架地板，工作人員必須將施工區(qū)域用圍欄區(qū)隔，以防止危險發(fā)生；掀開高架地板作業(yè)完畢，地板蓋回后，必須確認地板間是否平整，以維持無塵室內作

4、業(yè)安全。4 、PM維修時，若有接觸化學品或有害氣體之虞時，必須依照標準Procedure做好安全防護措施，以保護本身及他人之安全。5、PM維修中如需要使用附屬設備，如工作臺車、HouseVacuum時必須擺放適當之安全位置，以防止人員絆倒產(chǎn)生危險。6、 使用IPA、H2O2、DIW須用小瓶罐裝，人員離開時須放回鋼瓶座內。7、執(zhí)行維修保養(yǎng)工作時，務必特別注意機臺零件及工具銳角對人身可能造成之傷害。（二）操作整齊注意事項：1 、任何操作均應隨時保持高質量之工作環(huán)境。2 、PM維修拆下之零件，不可放置機臺或地面上，必須放置維修臺車上或指定Parts 體積龐大須暫放地面，收納置物箱內，螺絲須放入螺絲盒內，如應放置安全，不得妨礙他人之作業(yè)安全。3 、PM維修使用之工具須擺放整齊，人員離開時必須放在工作臺車上或放回工具箱內。4 、PM維修使用完之無塵布、棉花棒等，必須立即丟入垃圾筒及垃圾袋內，以保持工作環(huán)境之整潔。5、搬運物品時必須輕提輕放，不可用拖拉方式移動物品。6 、PM維修時，禁止使用貨架臺車暫放零件或運送零件，以維護貨架臺車之清潔，PM工作臺車使用完畢，必須保持干凈清潔，放置于規(guī)定地方。7、HouseVacuum使用完畢后，須checkhouseoutlet之銅蓋是否蓋上及密合，使用電源插座完