ICS71.020CCSICS71.020CCSJ74青 海 省 地 方 標(biāo) 準(zhǔn)DB63/T2467—2025多晶硅制造裝置基于風(fēng)險(xiǎn)的評(píng)價(jià)與檢驗(yàn)技術(shù)規(guī)范2025-09-24發(fā)布 2025-11-01實(shí)施青海省場(chǎng)監(jiān)理局 發(fā)布DB63/T2467DB63/T2467—2025PAGE\*ROMANPAGE\*ROMANII目 次前 言 II范圍 1規(guī)性用件 1術(shù)和義 1裝損分布 2關(guān)設(shè)主損及位 4風(fēng)評(píng)過(guò)及求 4基風(fēng)的驗(yàn)略定 5風(fēng)評(píng)質(zhì)評(píng)定 6附錄 A （料）多晶制裝損分流程圖 7附錄 B （料）多晶制裝風(fēng)評(píng)質(zhì)量定 11前 言本文按GB/T1.1—2020《準(zhǔn)工導(dǎo)則 第部分標(biāo)化件結(jié)和起規(guī)》起草。請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專(zhuān)利的責(zé)任。本文件由中國(guó)特種設(shè)備檢測(cè)研究院提出。本文件由青海省市場(chǎng)監(jiān)督管理局歸口。本文件由青海省市場(chǎng)監(jiān)督管理局監(jiān)督實(shí)施。DB63/T2467DB63/T2467—2025PAGEPAGE10多晶硅制造裝置基于風(fēng)險(xiǎn)的評(píng)價(jià)與檢驗(yàn)技術(shù)規(guī)范范圍本文件適用于多晶硅制造裝置基于風(fēng)險(xiǎn)的評(píng)價(jià)與檢驗(yàn)過(guò)程。（GB/T26610.1承壓設(shè)備系統(tǒng)基于風(fēng)險(xiǎn)的檢驗(yàn)實(shí)施導(dǎo)則第1部分：基本要求和實(shí)施程序GB/T26610.2承壓設(shè)備系統(tǒng)基于風(fēng)險(xiǎn)的檢驗(yàn)實(shí)施導(dǎo)則第2部分：基于風(fēng)險(xiǎn)的檢驗(yàn)策略GB/T26610.4承壓設(shè)備系統(tǒng)基于風(fēng)險(xiǎn)的檢驗(yàn)實(shí)施導(dǎo)則第4部分：失效可能性定量分析方法GB/T26610.5承壓設(shè)備系統(tǒng)基于風(fēng)險(xiǎn)的檢驗(yàn)實(shí)施導(dǎo)則第5部分：失效后果定量分析方法下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估風(fēng)險(xiǎn)識(shí)別、風(fēng)險(xiǎn)分析與風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)的全過(guò)程。[來(lái)源：GB/T26610.1-2022,3.19]失效系統(tǒng)、結(jié)構(gòu)、設(shè)備或部件喪失規(guī)定的功能.[來(lái)源：GB/T26610.1-2022,3.7]基于風(fēng)險(xiǎn)的檢驗(yàn)GB/T26610.1-2022,3.20]損傷模式隨著時(shí)間的推移,引起材料發(fā)生有害微觀和(或)宏觀變化的過(guò)程[來(lái)源：GB/T26610.1-2022,3.5]反應(yīng)工段反應(yīng)工段的損傷模式分布見(jiàn)圖A.1。硅粉計(jì)量加料系統(tǒng)損傷分布如下：反應(yīng)系統(tǒng)損傷分布如下：反應(yīng)器至反應(yīng)產(chǎn)物/氫氣熱交換器入口：σ相脆化+475℃脆化+晶間腐蝕+再熱裂紋+鹽酸腐蝕（停產(chǎn)降溫過(guò)程）+氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂（停產(chǎn)降溫過(guò)程）；（））。注氫系統(tǒng)損傷分布如下：/（裝）；反應(yīng)產(chǎn)物/氫氣熱交換器至四氯化硅/氫氣加熱器入口：475℃脆化+晶間腐蝕+再熱裂紋+鹽酸腐蝕）+）；四氯化硅/氫氣加熱器至氫化反應(yīng)器底部入口：σ相脆化+475℃脆化+晶間腐蝕+再熱裂紋+鹽（）（）。注氯化氫系統(tǒng)損傷主要分布在加氫反應(yīng)器底部氯化氫進(jìn)料管道：大氣腐蝕+機(jī)械疲勞。分餾工段分餾工段的損傷模式分布見(jiàn)圖A.2。反應(yīng)產(chǎn)物洗滌系統(tǒng)損傷分布如下：反應(yīng)產(chǎn)物緊急排放系統(tǒng)損傷分布如下：精餾系統(tǒng)損傷分布如下：渣漿處理工段渣漿處理工段的損傷模式分布見(jiàn)圖A.3。渣漿蒸發(fā)系統(tǒng)損傷分布如下：閥門(mén)處）；（）；渣漿液處理系統(tǒng)損傷分布如下：入口）；）。尾氣回收工段尾氣回收工段的損傷模式分布見(jiàn)圖A.4。粗三氯氫硅回收系統(tǒng)損傷分布如下：尾氣低溫冷卻器經(jīng)一級(jí)氯硅烷分離罐至一級(jí)冷卻尾氣/尾氣氯化氫回收系統(tǒng)損傷分布如下：貧/富/至貧。GB/T26610.1GB/T26610.4GB/T26610.5多晶硅制造裝置基于風(fēng)險(xiǎn)的檢驗(yàn)策略制定應(yīng)滿足GB/T26610.2和相關(guān)法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)的要求，其中氫化表1 氫化應(yīng)推的驗(yàn)法和驗(yàn)例序號(hào)潛在損傷模式失效部位檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)比例備注內(nèi)檢外檢1σ相脆化母材、焊縫宏觀+滲透+金相/宏觀100%，滲透、金相抽檢/2475℃脆化母材、焊縫宏觀+滲透+硬度/金相聲發(fā)射宏觀100%，滲透、硬度/金相抽檢，聲發(fā)射抽查/3晶間腐蝕母材、焊縫滲透+金相/滲透、金相抽檢/4再熱裂紋接管角焊縫/滲透接管抽查/5鹽酸腐蝕（停產(chǎn)降溫冷卻時(shí)）母材、焊縫宏觀+壁厚檢測(cè)/腐蝕探針內(nèi)窺鏡+壁厚檢測(cè)/壁厚監(jiān)測(cè)宏觀100%，壁厚抽查重點(diǎn)檢查點(diǎn)腐、坑蝕6氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂（停產(chǎn)降溫冷卻時(shí)）焊縫宏觀+滲透/渦流+金相聲發(fā)射滲透檢測(cè)>25%；渦流檢測(cè)10%~25%；聲發(fā)射抽查可疑部位表2 氫化應(yīng)物熱推的檢方和驗(yàn)例序號(hào)潛在損傷模式失效部位檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)比例備注內(nèi)檢外檢1含固多相流沖蝕管束內(nèi)窺鏡+渦流/抽查＞5%/2475℃脆化管箱、管束、管束/管板焊縫宏觀+滲透/磁粉+硬度/金相管箱：聲發(fā)射管箱：宏觀100%，滲透/磁粉檢測(cè)>25%，硬度/金相抽查，聲發(fā)射抽查重點(diǎn)檢查操作溫度長(zhǎng)期在316部位3晶間腐蝕管束、管束/管板焊縫滲透+金相/滲透、金相抽檢操作溫度長(zhǎng)期在400℃以上的部位4再熱裂紋管箱、管束、管束/管板焊縫滲透+超聲橫波管箱：滲透+超聲橫波管箱：滲透、超聲檢測(cè)>25%操作溫度長(zhǎng)期在425℃以上的部位5鹽酸腐蝕（停產(chǎn)降溫冷卻時(shí)）管束、管束/管板焊縫+壁厚檢測(cè)/腐蝕探針內(nèi)窺鏡+壁厚檢測(cè)/壁厚監(jiān)測(cè)抽檢/6氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂（停產(chǎn)降溫冷卻時(shí)）管箱、管束/管板焊縫宏觀+滲透/渦流+金相/管箱：宏觀100%，滲透/渦流檢測(cè)10%~25%，金相抽檢/表3 精餾推的驗(yàn)法檢驗(yàn)例序號(hào)潛在的損傷模式失效部位檢驗(yàn)方法檢驗(yàn)比例備注內(nèi)檢外檢1鹽酸腐蝕溫度低于121℃的塔壁、塔盤(pán)、內(nèi)構(gòu)件+壁厚檢測(cè)/腐蝕探針內(nèi)窺鏡+壁厚檢測(cè)/壁厚監(jiān)測(cè)宏觀100%，壁厚抽查/2氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂采用不銹鋼材料，且溫度低于149壁、塔盤(pán)、內(nèi)構(gòu)件宏觀+滲透/渦流+金相聲發(fā)射宏觀100%，滲透/渦流檢測(cè)10%~25%，金相抽檢/3大氣腐蝕溫度低于177℃的塔外壁接管或保溫破損部位/宏觀/紅外+壁厚檢測(cè)/壁厚監(jiān)測(cè)宏觀100%，壁厚抽查重點(diǎn)檢查保溫破損、易積水處完成風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估后，應(yīng)對(duì)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估的質(zhì)量進(jìn)行評(píng)定，確保風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估質(zhì)量。BB.1BB.2附錄A（資料性）多晶硅制造裝置損傷分布流程圖88補(bǔ)充氫壓縮機(jī)補(bǔ)充氫緩沖罐補(bǔ)充氫緩沖罐混合器氫氣預(yù)熱器8循環(huán)氫壓縮機(jī)123循環(huán)氫緩沖罐循環(huán)氫緩沖罐反應(yīng)產(chǎn)物/氫氣熱交換器1反應(yīng)產(chǎn)物/氫氣熱交換器125678冷蒸汽123567熱蒸汽8四氯化硅/88補(bǔ)充氫壓縮機(jī)補(bǔ)充氫緩沖罐補(bǔ)充氫緩沖罐混合器氫氣預(yù)熱器8循環(huán)氫壓縮機(jī)123循環(huán)氫緩沖罐循環(huán)氫緩沖罐反應(yīng)產(chǎn)物/氫氣熱交換器1反應(yīng)產(chǎn)物/氫氣熱交換器125678冷蒸汽123567熱蒸汽8四氯化硅/氫氣過(guò)熱器冷蒸汽四氯化硅/氫氣加熱器四氯化硅汽化器1熱蒸汽245678氯化氫預(yù)熱器氯化氫壓縮機(jī)氯化氫緩沖罐氯化氫緩沖罐冷蒸汽8由四氯化硅緩沖罐經(jīng)洗滌塔頂四氯化硅中間熱交換器熱蒸汽四氯化硅預(yù)熱器38硅粉過(guò)濾器1234567硅粉罐硅粉料倉(cāng)3838硅粉過(guò)濾器1、鹽酸腐蝕硅粉計(jì)量罐冷蒸汽8由四氯化硅緩沖罐經(jīng)洗滌塔頂四氯化硅中間熱交換器熱蒸汽四氯化硅預(yù)熱器38硅粉過(guò)濾器1234567硅粉罐硅粉料倉(cāng)3838硅粉過(guò)濾器1、鹽酸腐蝕硅粉計(jì)量罐45672、氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂33、含固多相流沖蝕4、σ相脆化8反應(yīng)器5、475脆化6、晶間腐蝕7、再熱裂紋8、大氣腐蝕注1：閥門(mén)處發(fā)生注2：冷卻時(shí)發(fā)生2、氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂 3、含固多相流沖蝕8、大氣腐蝕9、無(wú)或未知損傷機(jī)理18氟利昂8CWR氟利昂中間熱交換器終端冷凝器冷凝器918冷凝液罐氣液分離罐818氟利昂18CWRCWS粗TCS閃蒸冷卻器氟利昂8冷凝器9回流罐8CWS38冷卻器回流泵精餾塔冷卻器CWR冷蒸汽18CWSCWR8緊急排放罐四氯化硅緩沖罐再沸器熱蒸汽8泵88分餾工段損傷模式分布情況見(jiàn)圖A.2。2、氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂 3、含固多相流沖蝕8、大氣腐蝕9、無(wú)或未知損傷機(jī)理18氟利昂8CWR氟利昂中間熱交換器終端冷凝器冷凝器918冷凝液罐氣液分離罐818氟利昂18CWRCWS粗TCS閃蒸冷卻器氟利昂8冷凝器9回流罐8CWS38冷卻器回流泵精餾塔冷卻器CWR冷蒸汽18CWSCWR8緊急排放罐四氯化硅緩沖罐再沸器熱蒸汽8泵881、鹽酸腐蝕注2：冷卻時(shí)發(fā)生8四氯化硅緩沖罐8泵3四氯硅烷熱交換器CWS1818混合器1812388 838泵188洗滌塔泵38381、鹽酸腐蝕注2：冷卻時(shí)發(fā)生8四氯化硅緩沖罐8泵3四氯硅烷熱交換器CWS1818混合器1812388 838泵188洗滌塔泵3838898氯硅烷緩沖罐1、鹽酸腐蝕2、氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂3、含固多相流沖蝕8、大氣腐蝕10、低溫脆斷1、鹽酸腐蝕2、氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂3、含固多相流沖蝕8、大氣腐蝕10、低溫脆斷注1：閥門(mén)處發(fā)生注3：泵出口彎頭或泵入口汽蝕88、大氣腐蝕9、無(wú)或未知損傷機(jī)理10、低溫脆斷9汽化氟利昂R2288 81010乙二醇冷媒回水一級(jí)冷卻尾氣/二級(jí)冷卻尾氣換熱器9液化氟利昂R22尾氣低溫冷卻器尾氣深冷器乙二醇冷媒上水一級(jí)氯硅烷分離罐98二級(jí)氯硅烷分離罐9氯硅烷輸送泵氟利昂至反應(yīng)工段氯化氫吸收液深冷器氯化氫解析塔頂水冷凝器18氟利昂氯化氫塔底釜液冷卻器CWRCWSCWR氯化氫解析塔頂乙二醇冷凝器88CWS8氯化氫解析塔底釜液泵8貧/富液換熱器富液/貧液余熱換熱器88、大氣腐蝕9、無(wú)或未知損傷機(jī)理10、低溫脆斷9汽化氟利昂R2288 81010乙二醇冷媒回水一級(jí)冷卻尾氣/二級(jí)冷卻尾氣換熱器9液化氟利昂R22尾氣低溫冷卻器尾氣深冷器乙二醇冷媒上水一級(jí)氯硅烷分離罐98二級(jí)氯硅烷分離罐9氯硅烷輸送泵氟利昂至反應(yīng)工段氯化氫吸收液深冷器氯化氫解析塔頂水冷凝器18氟利昂氯化氫塔底釜液冷卻器CWRCWSCWR氯化氫解析塔頂乙二醇冷凝器88CWS8氯化氫解析塔底釜液泵8貧/富液換熱器富液/貧液余熱換熱器 乙二醇冷媒上水解析塔回流罐乙二醇8818冷凝水氯化氫解析塔88氯化氫解析塔再沸器蒸汽1、鹽酸腐蝕2、氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂 3、含固多相流沖蝕注2：冷卻時(shí)發(fā)生注4：沖擊功測(cè)試溫度＞-201818冷凍水上水CWS88尾氣/低溫尾氣換熱器CWR7水冷卻器冷凍水回水8181、鹽酸腐蝕2、氯化物應(yīng)力腐蝕開(kāi)裂 3、含固多相流沖蝕注2：冷卻時(shí)發(fā)生注4：沖擊功測(cè)試溫度＞-201818冷凍水上水CWS88尾氣/低溫尾氣換熱器CWR7水冷卻器冷凍水回水818818尾氣壓縮機(jī)出口緩沖罐18至還原氫緩沖罐尾氣壓縮機(jī)壓縮尾氣/深冷氫氣換熱器8氟利昂壓縮尾氣深冷器999氟利昂99深冷壓縮尾氣/深冷氫氣換熱器氯化氫吸收塔999貧/富液換熱器9附錄B（資料性）多晶硅制造裝置風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估質(zhì)量評(píng)定風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估質(zhì)量審查要點(diǎn)見(jiàn)表B.1表B.1風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估質(zhì)量審查要點(diǎn)審查內(nèi)容滿分得分審查結(jié)果1001-10任何缺陷，在該子項(xiàng)下扣除10分）1001.采集了被評(píng)設(shè)備和管道最新的工藝管道及儀表流程圖、工藝流程圖、裝置操作規(guī)程或工藝說(shuō)明2.采集了被評(píng)設(shè)備和管道的臺(tái)賬，質(zhì)量證明文件、竣工圖等3.采集了被評(píng)設(shè)備和管道最近三次的檢驗(yàn)檢測(cè)報(bào)告數(shù)據(jù)（如果檢驗(yàn)檢測(cè)頻率未到三次，則檢驗(yàn)檢測(cè)了幾次按幾次，如果為首次檢驗(yàn)則該項(xiàng)以滿分計(jì)）4.對(duì)被評(píng)設(shè)備和管道開(kāi)展了腐蝕情況問(wèn)詢及調(diào)查并形成了記錄5.被評(píng)設(shè)備和管道的損傷模式分析全面，考慮了極端工況（如極端操作參數(shù)、可能出現(xiàn)的潛在的腐蝕性化學(xué)介質(zhì)）6.腐