G團體標準T/CCGA30003—Ultrapurenitrogen 2020-01-29實中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié) 發(fā)T/CCGAT/CCGA30003—T/CCGAT/CCGA30003—目前 附錄A（資料性附錄）切割氣路流程示意 附錄B（規(guī)范性附錄）酸度（以HF計）的測 本標準按照GB/T1.1-2009給出的規(guī)則起草。T/CCGAT/CCGA30003—T/CCGAT/CCGA30003—本標準規(guī)定了瓶裝超純?nèi)募夹g(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標志、運輸、儲存和安全。GB190GB/T5099GB/T5832.33GB/T6681氣體化工產(chǎn)品采樣通則GB/T7144GB/T14194表1-三氟化氮(NF3)（體積分數(shù) -四氟化碳(CF4)（體積分數(shù) -氮(N2)（體積分數(shù) - 一氧化碳(CO)（體積分數(shù)），10- -二氧化碳(CO2)（體積分數(shù) -氧化亞氮(N2O)（體積分數(shù) -六氟化硫(SF6)（體積分數(shù) 酸度(以HF計)（體積分數(shù)），10- 水（H2O）（體積分數(shù) 1表2 Φ=100-（Φ+Φ+Φ+Φ+Φ+ Φ——四氟化碳(CF10- Φ——氮(N，10- Φ——氧加氬(O+Ar)的體積分數(shù)，10-6；Φ——一氧化碳(CO)的體積分數(shù)，10-6；Φ——二氧化碳(CO10-6；Φ——氧化亞氮(NO)的體積分數(shù)，10-6；Φ——六氟化硫(SF10-6；Φ 分析柱1：長3.0m，內(nèi)徑3mm，內(nèi)裝粒度為0.150mm～0.180mmmm的MS-13X（或5A）分子篩，分子篩預(yù)先在馬弗爐中于4503h，冷至室溫后裝柱，然后再在儀器上以載氣和流速與分析樣品時同樣的條件于150℃活化2h，分析柱柱溫約50℃?；虿捎闷渌刃V柱。分析柱2：長7.0m，內(nèi)徑3mm，內(nèi)裝粒度為0.180mm～0.250mm的PorapakQΦ=Φ

按GB/T5832.3的規(guī)定執(zhí)行，允許采用其它等效方法測定。當(dāng)測定結(jié)果有異議，以GB/T5832.3規(guī)定GB/T21287-2007D組、YGB/T5099、氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程等相關(guān)規(guī)定。1×10-7Pa?L/s。氣瓶應(yīng)經(jīng)過內(nèi)表面處理，且符合氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程要求，氣瓶內(nèi)表面粗糙度（Ra）0.4μm8GB/T7144GB190GB/T14194力為12.5MPa時，充裝量應(yīng)不大于0.55kg/L0.5MPa。10×10-6(體積分數(shù))，250℃～350℃時，附錄12——預(yù)柱1（CST柱34——預(yù)柱2（PorapakQ色譜柱）；5——PorapakQ色譜柱；61415、16圖A.1附錄——005mol/L0.1mol/L0.1%20%1mL0.01mL0.005超純?nèi)兴岱值奈昭b置示意圖參見圖B.1。吸收瓶均為100mL磨口封蓋的錐形瓶，吸收瓶中與空白背景瓶的溶液中，加入3～4滴指示劑(溴甲酚紫0.1%(20%)溶液)，用0.005mol/L氫氧化2