ICS7110020

CCSG.86.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T14851—2025

代替GB/T14851—2009

電子特氣磷化氫

Electronicspecialtygas—Phosphine

2025-03-28發(fā)布2025-10-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T14851—2025

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替電子工業(yè)用氣體磷化氫與相比除結(jié)構(gòu)

GB/T14851—2009《》。GB/T14851—2009,

調(diào)整和編輯性改動(dòng)外主要技術(shù)變化如下

,:

更改了磷化氫應(yīng)符合的技術(shù)要求見第章年版的第章

———(4,20093);

增加了采樣一章見第章

———“”(5);

更改了氧氬氮一氧化碳二氧化碳甲烷其他碳?xì)浠衔锷榛瘹浜康臏y(cè)定方法見

———+、、、、、、(

年版的

6.2,20094.4、4.5、4.6);

增加了硅烷硫化氫含量的測(cè)定方法見

———、(6.2);

更改了水分含量的測(cè)定方法見年版的

———(6.3,20094.8);

更改了金屬元素及其他元素含量的測(cè)定方法見年版的

———(6.4,20094.9);

增加了鍺烷含量的測(cè)定方法見

———(6.5);

增加了顆粒含量的測(cè)定方法見

———(6.6);

增加了檢驗(yàn)規(guī)則一章見第章

———“”(7);

更改了標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及安全信息的要求見第章年版的第章

———、、、(8,20095)。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司上海正帆科

:、、

技股份有限公司廣東華特氣體股份有限公司福建久策氣體股份有限公司中船重工邯鄲派瑞特種

、、、()

氣體有限公司蘇州金宏氣體股份有限公司江西華特電子化學(xué)品有限公司湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公

、、、

司全椒南大光電材料有限公司大連保稅區(qū)科利德化工科技開發(fā)有限公司浙江省標(biāo)準(zhǔn)化研究院昊華

、、、、

氣體有限公司西南分公司宿州伊維特新材料有限公司上海申南特種氣體有限公司上海華愛色譜分

、、、

析技術(shù)有限公司大連大特氣體有限公司上海凡偉儀器設(shè)備有限公司聯(lián)雄投資上海有限公司上海

、、、()、

飛擇科技有限公司上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院沈陽(yáng)中復(fù)科金壓力容器有限公司浙江東開半導(dǎo)體科

、、、

技有限公司和立氣體上海有限公司昆明廣瑞達(dá)特種氣體有限責(zé)任公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限

、()、、

公司武漢分公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司雙流分公司

、。

本文件主要起草人孫福楠曾慶騰李東升傅鑄紅王百林曹素英何經(jīng)余沙婷倪珊珊

:、、、、、、、、、

萬娟秀朱明王新喜孫猛戴璽徐孝天方強(qiáng)孫建施旖旎趙趫鄭新權(quán)陳潔吳靚方華李揚(yáng)

、、、、、、、、、、、、、、、

楊康唐中偉黃輝施衛(wèi)豐姜陽(yáng)李春華宮兵王大為易達(dá)文李陽(yáng)梁永強(qiáng)梁成科高靜賴曉峰

、、、、、、、、、、、、、、

譚依玲周鵬云王科熊壯

、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為年第一次修訂

———1993GB/T14851—1993,2009;

本次為第二次修訂

———。

Ⅰ

GB/T14851—2025

電子特氣磷化氫

1范圍

本文件規(guī)定了電子級(jí)磷化氫的技術(shù)要求采樣試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及安全

、、、、、、、

信息

。

本文件適用于亞磷酸熱分解磷化物水解并經(jīng)提純制備的電子級(jí)磷化氫

、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

所有部分鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T5099()

氣體中微量水分的測(cè)定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804