2025半導(dǎo)體光刻工藝認證潔凈度控制規(guī)范?本合同共二部分組成，僅供學(xué)習(xí)使用，第一部分如下：第一條合同目的本合同的目的是明確雙方在半導(dǎo)體光刻工藝認證過程中對潔凈度控制的技術(shù)要求、責(zé)任劃分、實施流程及驗收標準，確保工藝環(huán)境達到___________（具體潔凈度等級，如ISO146441ClassX）標準。第二條定義與術(shù)語2.1“潔凈度控制”指在半導(dǎo)體光刻工藝環(huán)境中，通過空氣過濾、溫濕度調(diào)節(jié)、微粒監(jiān)測等手段維持特定潔凈等級的技術(shù)措施。2.2“認證周期”指自___________（起始日期）至___________（終止日期）的期間，乙方需完成潔凈度控制系統(tǒng)的設(shè)計、安裝、調(diào)試及驗收。2.3“關(guān)鍵控制點”指潔凈度控制系統(tǒng)中直接影響工藝質(zhì)量的環(huán)節(jié)，包括但不限于___________（列舉如空氣流速、壓差、懸浮粒子濃度等）。第三條服務(wù)范圍（1）潔凈室布局設(shè)計與施工；（2）高效空氣過濾系統(tǒng)（HEPA/ULPA）的安裝與調(diào)試；（3）實時微粒監(jiān)測設(shè)備的配置與數(shù)據(jù)采集；（4）溫濕度控制系統(tǒng)的集成與校準。3.2乙方應(yīng)提供系統(tǒng)操作培訓(xùn)，培訓(xùn)對象為甲方指定的___________（崗位名稱或人員數(shù)量）。第四條潔凈度標準4.1潔凈室靜態(tài)條件下，懸浮粒子濃度應(yīng)符合___________（標準名稱及等級）；動態(tài)條件下，粒子濃度波動范圍不得超過靜態(tài)值的___________%。4.2空氣流速均勻性偏差應(yīng)控制在___________%以內(nèi)，壓差梯度需維持___________Pa至___________Pa。4.3溫濕度控制精度為溫度___________℃±___________℃，相對濕度___________%±___________%。第五條設(shè)備與材料要求5.1乙方采用的空氣過濾設(shè)備需符合___________（標準編號），并提供設(shè)備出廠檢驗報告及第三方認證證書。5.2監(jiān)測設(shè)備應(yīng)具備實時數(shù)據(jù)傳輸功能，數(shù)據(jù)存儲周期不少于___________（天數(shù)），采樣頻率不低于___________次/分鐘。5.3所有材料應(yīng)出具無化學(xué)污染物釋放證明，且符合___________（行業(yè)標準或法規(guī)名稱）。第六條人員資質(zhì)6.1乙方項目實施團隊須包含至少___________名具有___________（認證名稱，如潔凈室工程師）資質(zhì)的專業(yè)人員。6.2關(guān)鍵崗位操作人員需持有___________（證書名稱），并提供近___________年內(nèi)的培訓(xùn)記錄。第七條驗收標準與方法7.1潔凈度驗收分為初步驗收與最終驗收兩個階段：（1）初步驗收：系統(tǒng)安裝完成后___________日內(nèi)，甲方對設(shè)備安裝完整性及基礎(chǔ)功能進行確認；（2）最終驗收：系統(tǒng)連續(xù)穩(wěn)定運行___________日后，甲方委托___________（第三方檢測機構(gòu)名稱）進行全項檢測。7.2檢測方法依據(jù)___________（標準名稱），檢測點數(shù)量不少于___________個/百平方米，檢測報告需加蓋CMA/CNAS認證章。第八條驗收不合格處理8.1若檢測結(jié)果未達到本合同第四條要求，乙方應(yīng)在___________日內(nèi)完成整改并重新提交驗收申請。8.2重新檢測費用由___________（責(zé)任方）承擔(dān)；若累計整改次數(shù)超過___________次，甲方有權(quán)終止合同并要求賠償。第九條付款方式9.1本合同總金額為人民幣___________元（大寫：___________），分階段支付：（1）合同簽訂后___________日內(nèi)，甲方支付合同總額的___________%；（2）初步驗收合格后___________日內(nèi)，支付合同總額的___________%；（3）最終驗收通過且質(zhì)保期滿后___________日內(nèi)，支付尾款___________%。9.2乙方需在付款前開具合法有效的___________（發(fā)票類型）發(fā)票。第十條保密義務(wù)10.1雙方應(yīng)對本合同涉及的商業(yè)秘密、技術(shù)數(shù)據(jù)及檢測結(jié)果保密，保密期限自合同生效日起___________年。10.2未經(jīng)甲方書面同意，乙方不得將甲方提供的___________（具體資料名稱）用于其他項目或向第三方披露。第十一條知識產(chǎn)權(quán)11.1乙方為履行本合同開發(fā)的軟件、設(shè)計方案等成果的知識產(chǎn)權(quán)歸___________（甲方/乙方）所有。11.2甲方提供的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)、工藝參數(shù)等內(nèi)容的著作權(quán)及其他權(quán)益歸屬甲方。第十二條違約責(zé)任12.1乙方未按合同約定期限完成系統(tǒng)交付的，每逾期一日按合同總額的___________%支付違約金。12.2甲方未按時支付款項的，每逾期一日按未付金額的___________%支付滯納金。第十三條不可抗力13.1因地震、戰(zhàn)爭、重大疫情等不可抗力導(dǎo)致合同無法履行的，受影響方可免除責(zé)任，但需在事件發(fā)生后___________日內(nèi)提供證明文件。13.2不可抗力事件持續(xù)超過___________日的，任何一方有權(quán)解除合同。第十四條爭議解決14.1因本合同產(chǎn)生的爭議，雙方應(yīng)協(xié)商解決；協(xié)商不成的，提交___________（仲裁委員會名稱）仲裁。14.2仲裁期間，除爭議事項外，合同其他條款仍需履行。第十五條合同變更15.1任何合同條款的修改需經(jīng)雙方書面同意并簽署補充協(xié)議。15.2補充協(xié)議與本合同具有同等法律效力。第十六條合同終止（1）乙方擅自將項目轉(zhuǎn)包或分包；（2）乙方累計整改后仍無法通過驗收。16.2合同終止后，乙方應(yīng)在___________日內(nèi)退還甲方已支付的全部款項，并賠償由此造成的損失。第十七條質(zhì)量保證17.1乙方承諾潔凈度控制系統(tǒng)質(zhì)保期為___________年，自最終驗收合格之日起計算。17.2質(zhì)保期內(nèi)，乙方應(yīng)免費提供系統(tǒng)維護、故障修復(fù)及濾材更換服務(wù)（耗材費用另計）。第十八條通知與送達甲方地址：___________；乙方地址：___________。18.2送達方式包括但不限于郵寄、電子郵件，以對方簽收或系統(tǒng)顯示發(fā)送成功為準。第十九條合同生效19.1本合同自雙方蓋章或授權(quán)代表簽字之日起生效，一式___________份，雙方各執(zhí)___________份。19.2本合同未盡事宜，按國家相關(guān)法律法規(guī)執(zhí)行。第二部分：第三方介入后的修正第二十條第三方定義與類型（1）檢測認證機構(gòu)：負責(zé)潔凈度控制系統(tǒng)的獨立檢測、驗收或出具認證報告；（2）技術(shù)監(jiān)理方：對乙方實施過程進行監(jiān)督、評估及技術(shù)指導(dǎo)；（3）設(shè)備供應(yīng)方：提供本合同約定外的專用設(shè)備或耗材；（4）其他協(xié)作方：___________（具體說明第三方服務(wù)內(nèi)容）。20.2第三方的選擇需符合___________（行業(yè)資質(zhì)要求或甲方內(nèi)部供應(yīng)商名錄標準）。第二十一條第三方介入程序21.1甲乙任一方提議引入第三方時，應(yīng)向?qū)Ψ教峤粫嫔暾垼忻鞯谌矫Q、服務(wù)內(nèi)容、費用預(yù)算及必要性分析。21.2雙方應(yīng)在___________日內(nèi)共同審核第三方資質(zhì)，審核通過后簽署《第三方服務(wù)確認書》，作為本合同附件。21.3第三方服務(wù)范圍超出原合同約定的，需另行簽訂補充協(xié)議并明確費用分攤比例。第二十二條第三方責(zé)任與義務(wù)22.1第三方須獨立履行其服務(wù)內(nèi)容，并對出具的報告、數(shù)據(jù)或結(jié)論承擔(dān)法律責(zé)任。22.2第三方應(yīng)遵守本合同保密條款，不得將甲方工藝參數(shù)、乙方技術(shù)方案或檢測結(jié)果用于其他商業(yè)用途。22.3第三方需按___________（時間周期）向甲乙雙方提交服務(wù)進展報告，重大事項需即時書面通報。第二十三條第三方權(quán)利23.1第三方有權(quán)要求甲方或乙方提供與履行服務(wù)相關(guān)的必要資料及現(xiàn)場配合，包括但不限于___________（列舉如潔凈室訪問權(quán)限、設(shè)備參數(shù)表等）。23.2第三方因履行服務(wù)產(chǎn)生的合理費用，按《第三方服務(wù)確認書》約定由___________（甲方/乙方/雙方按比例）承擔(dān)。23.3第三方對其獨立開發(fā)的檢測方法、評估模型等知識產(chǎn)權(quán)保留所有權(quán)，但需授予甲方非排他性使用權(quán)。第二十四條甲乙雙方對第三方的管理24.1甲方有權(quán)對第三方服務(wù)質(zhì)量進行抽查，發(fā)現(xiàn)不符合___________（標準名稱）要求的，可要求第三方重新檢測或更換服務(wù)機構(gòu)。24.2乙方應(yīng)配合第三方開展現(xiàn)場工作，因乙方原因?qū)е碌谌椒?wù)延誤的，乙方承擔(dān)由此產(chǎn)生的額外費用。24.3第三方與乙方存在關(guān)聯(lián)關(guān)系的，需在介入前向甲方披露，否則視為乙方違約。第二十五條第三方服務(wù)驗收（1）加蓋第三方公章及CMA/CNAS認證標識；（2）檢測方法符合___________（標準編號）；（3）數(shù)據(jù)采樣覆蓋甲方指定的___________（區(qū)域或設(shè)備點位）。25.2甲方對第三方報告有異議的，可委托___________（更高層級機構(gòu)）進行復(fù)檢，復(fù)檢結(jié)果與原報告沖突的，以復(fù)檢結(jié)果為準。第二十六條第三方違約責(zé)任26.1第三方因故意或重大過失導(dǎo)致檢測數(shù)據(jù)失實、設(shè)備損壞或工期延誤的，應(yīng)承擔(dān)直接經(jīng)濟損失的___________%作為違約金。26.2第三方未按約定履行保密義務(wù)的，甲乙雙方有權(quán)共同追究其法律責(zé)任，并索賠不低于人民幣___________元的違約金。第二十七條第三方替換與退出（1）第三方喪失相關(guān)資質(zhì)或主要技術(shù)人員離職；（2）連續(xù)___________次未按時提交服務(wù)成果；（3）服務(wù)過程中存在___________（列舉如賄賂、數(shù)據(jù)造假等）違法行為。27.2第三方退出前需完成工作交接，并向甲方移交全部原始數(shù)據(jù)及過程文件。第二十八條連帶責(zé)任劃分（1）甲方選擇第三方存在重大疏漏的，甲方承擔(dān)___________%責(zé)任；（2）乙方未履行配合義務(wù)的，乙方承擔(dān)___________%責(zé)任；（3）第三方獨立行為造成的損失，由第三方全額承擔(dān)。28.2甲乙雙方對第三方的索賠權(quán)利不影響彼此間的合同權(quán)利義務(wù)。第二十九條第三方服務(wù)費用支付（1）甲方直接支付：甲方按《第三方服務(wù)確認書》約定向第三方支付費用；（2）乙方代付：乙方墊付后憑發(fā)票向甲方申請報銷，甲方需在___________日內(nèi)完成審核。29.2第三方發(fā)票內(nèi)容需明確列明服務(wù)項目、單價及總價，并與合同約定一致。第三十條爭議解決擴展條款30.1因第三方介入引發(fā)的爭議，優(yōu)先由甲乙雙方與第三方協(xié)商解決；協(xié)商不成的，按本合同第十四條約定執(zhí)行。30.2第三方同意接受___________（仲裁委員會名稱）的仲裁管轄，并與甲乙雙方簽署單獨的仲裁協(xié)議。第三十一條合同生效條件變更31.1本合同自甲乙雙方及第三方簽署《三方權(quán)利義務(wù)確認書》之日起生效。31.2未簽署確認書的第三方介入行為視為無效，相關(guān)后果由提議方承擔(dān)。第三十二條其他補充條款32.1第三方人員進入甲方潔凈室前，須接受___________（小時數(shù)）的潔凈服穿戴及行為規(guī)范培訓(xùn)。32.2第三方設(shè)備帶入現(xiàn)場前需提供___________（如靜電防護測試報告）等證明文件。甲方（蓋章）：名稱：___________地址：___________法定代表人/授權(quán)代表簽字：___________日期：__________