ICS31260

CCSL.97

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T43725—2024

直寫成像式曝光設(shè)備

Directwritingimagingexposureequipment

2024-03-15發(fā)布2024-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T43725—2024

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

分類與結(jié)構(gòu)

4………………3

技術(shù)要求

5…………………4

測試方法

6…………………8

檢驗規(guī)則

7…………………11

標(biāo)識標(biāo)志包裝運輸和貯存

8、、、…………12

產(chǎn)品隨機文件

9……………13

Ⅰ

GB/T43725—2024

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本文件起草單位合肥芯碁微電子裝備股份有限公司廣州興森快捷電路科技有限公司安徽省工

:、、

業(yè)和信息化研究院深南電路股份有限公司四創(chuàng)電子股份有限公司中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院合肥

、、、、

矽邁微電子科技有限公司深圳市克洛諾斯科技有限公司深圳拜波赫技術(shù)有限公司

、、。

本文件主要起草人何少鋒陳新邱醒亞喬書曉沈桂珍朱穎陳黎陽方林曲魯杰許靜平

:、、、、、、、、、、

陳東崔良端陸培良吳怡然曹可慰趙俊莎李香濱嚴(yán)孝年魯男李娜李照輝吳新民

、、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T43725—2024

直寫成像式曝光設(shè)備

1范圍

本文件規(guī)定了直寫成像式曝光設(shè)備的分類與結(jié)構(gòu)技術(shù)要求檢驗規(guī)則標(biāo)志包裝運輸和貯存及

、、、、、

產(chǎn)品隨機文件的要求描述了測試方法包括試驗一般條件外觀和尺寸檢查性能測試安全性測試和

,,、、、

噪聲測試

。

本文件適用于印制電路板及集成電路封裝基板用直寫成像式曝光設(shè)備的設(shè)計研發(fā)驗證制造使

、、、、

用及檢驗等過程

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

包裝儲運圖示標(biāo)志

GB/T191

圖形符號安全色和安全標(biāo)志第部分產(chǎn)品安全標(biāo)簽的設(shè)計原則

GB/T2893.22:

聲學(xué)聲壓法測定噪聲源聲功率級和聲能量級采用反射面上方包絡(luò)測量面的簡

GB/T3768

易法

電聲學(xué)聲級計第部分規(guī)范

GB/T3785.11:

機械電氣安全機械電氣設(shè)備第部分通用技術(shù)條件

GB/T5226.1—20191:

運輸包裝收發(fā)貨標(biāo)志

GB/T6388

標(biāo)牌

GB/T13306

機電產(chǎn)品包裝通用技術(shù)條件

GB/T13384

運輸包裝件尺寸與質(zhì)量界限

GB/T16471

機械電氣安全指示標(biāo)志和操作第部分標(biāo)志要求

GB/T18209.2—2010、2:

電子組裝技術(shù)術(shù)語

SJ/T10668—2023

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

SJ/T10668—2023。

31

.

空間光調(diào)制器spatiallightmodulator

采用光反射電光相互作用聲光相互作用等方式改變光