ICS77040

H17.

中華人民共和國(guó)有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T983—2014

多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的

測(cè)定方法

Testmethodformeasuringcompositionofpolysilicon

depositionreactorandTCStoSTCconverterventgas

2014-10-14發(fā)布2015-04-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部發(fā)布

中華人民共和國(guó)有色金屬

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的

測(cè)定方法

YS/T983—2014

*

中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線(xiàn)

:400-168-0010

年月第一版

20152

*

書(shū)號(hào)

:155066·2-28287

版權(quán)專(zhuān)有侵權(quán)必究

YS/T983—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司

:。

本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位天威四川硅業(yè)有限責(zé)任公司樂(lè)山樂(lè)電天威硅業(yè)科技有限責(zé)任公司峨嵋半

:、、

導(dǎo)體材料研究所陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司洛陽(yáng)中硅高科技有限公司

、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人敖細(xì)平王波梁洪劉暢張華端古行乾王阿麗

:、、、、、、。

Ⅰ

YS/T983—2014

多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的

測(cè)定方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了多晶硅還原爐和氫化爐尾氣成分的測(cè)定方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于改良西門(mén)子法工藝還原爐和氫化爐尾氣成分氫氣氯化氫三氯氫硅二氯二氫硅和

(、、、

四氯化硅的測(cè)定檢測(cè)范圍為體積分?jǐn)?shù)

)。0.1%~100%。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

純氫高純氫和超純氫

GB/T7445、

純氮高純氮和超純氮

GB/T8979、

3方法提要

根據(jù)尾氣中各個(gè)組分的沸點(diǎn)極性及吸附性的差異利用氣相色譜將各個(gè)組分從色譜柱中分離采

、,,

用熱導(dǎo)檢測(cè)器檢測(cè)其含量

(TCD)。

4干擾因素

41樣品溫度應(yīng)不低于否則樣品中部分氯硅烷組分會(huì)出現(xiàn)冷凝使分析結(jié)果失去代表性

.50℃,,。

42尾氣壓力應(yīng)保持在合適的范圍太大不易操作且不安全太小容易導(dǎo)致樣品無(wú)法采集至取樣容

.,,

器內(nèi)

。

43取樣容器應(yīng)保持密閉性否則樣品泄漏會(huì)影響分析結(jié)果的準(zhǔn)確性

.,,。

5試劑和材料

除非另有說(shuō)明分析時(shí)均使用符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的試劑或材料

,。

51高純氫氣應(yīng)符合的規(guī)定

.,GB/T7445。

52高純氮?dú)鈶?yīng)符合的規(guī)定

.,GB/T8979。

6儀器和設(shè)備

61氣相色譜儀具備熱導(dǎo)檢測(cè)器

.:。

62進(jìn)樣器氣密玻璃注射器

.:1mL。

63采樣容器容積約

.:250mL。

64色譜柱長(zhǎng)內(nèi)徑內(nèi)填充