標準解讀

《YS/T 791-2012 鉑靶》是中國有色金屬行業(yè)標準之一，專門針對鉑靶材制定的技術(shù)規(guī)范。該標準詳細規(guī)定了用于物理氣相沉積（PVD）等工藝中的高純度鉑靶的要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的內(nèi)容。

根據(jù)標準要求，鉑靶按照其形狀可以分為平板型和平面旋轉(zhuǎn)圓柱型兩大類；而依據(jù)化學(xué)成分的不同，則進一步細分為多個牌號，每個牌號都有具體的雜質(zhì)含量限制，以確保材料的高純度特性。此外，對于不同應(yīng)用領(lǐng)域或特定需求下使用的鉑靶，還設(shè)定了更加嚴格的特殊要求。

在質(zhì)量控制方面，《YS/T 791-2012 鉑靶》明確了外觀檢查、尺寸測量、密度測定及純度分析等多項檢測項目，并給出了相應(yīng)的測試方法與合格判定標準。其中，純度是評價鉑靶品質(zhì)的關(guān)鍵指標之一，通常需要通過ICP-AES（電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法）或其他認可的方法進行精確測量。

關(guān)于驗收流程，本標準提出了明確的規(guī)定：首先由供方負責按照合同約定的技術(shù)條件對產(chǎn)品進行全面自檢；隨后，在需方收貨時也應(yīng)按批次隨機抽取樣品進行復(fù)驗。如果初次檢驗不合格，則允許供需雙方協(xié)商后重新取樣再次檢驗直至達成一致意見為止。


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....

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  • 2012-11-07 頒布
  • 2013-03-01 實施
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文檔簡介

ICS7712099

H68..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T791—2012

鉑靶

Platinumtarget

2012-11-07發(fā)布2013-03-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T791—2012

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC243)。

本標準由有研億金新材料股份有限公司負責起草

。

本標準主要起草人王永輝朱曉光楊永剛楊華程軼歐雷繼鋒熊曉東江軒

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T791—2012

鉑靶

1范圍

本標準規(guī)定了鉑靶的要求試驗方法檢驗規(guī)則和標志包裝運輸貯存及合同或訂貨單

、、、、、。

本標準適用于半導(dǎo)體器件用的各類鉑濺射靶材以下簡稱鉑靶其他用途的鉑靶材也可參照使用

(),。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范幾何公差形狀方向位置和跳動公差標注

GB/T1182(GPS)、、

海綿鉑

GB/T1419—2004

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077—2008

3要求

31產(chǎn)品分類

.

鉑靶按照純度分為兩個牌號外形主要為圓形和矩形

IC-Pt99.95、IC-Pt99.99。。

32化學(xué)成分

.

鉑靶的化學(xué)成分應(yīng)符合中的及的規(guī)定未規(guī)定元素和揮發(fā)物

GB/T1419—2004Pt99.95Pt99.99,

控制限及分析方法的由供需雙方協(xié)商確定

,。

33外觀質(zhì)量

.

331鉑靶表面應(yīng)平整無劃傷裂紋凸起等缺陷無顆粒附加物和其他沾污應(yīng)清潔光滑無指痕無

..,、、;;,,

油污和銹蝕

。

332鉑靶表面粗糙度Ra值應(yīng)不大于

..1.6μm。

34幾何尺寸與允許偏差

.

341圓形鉑靶的直徑?主要有厚度通常為

..25mm~300mm,1mm~10mm。

342矩形鉑靶的尺寸主要有長度寬度厚度通常為

..:20mm~300mm,20mm~300mm,1mm~

倒角半徑R通常為

10mm,0.5mm~3mm。

343圓形和矩形鉑靶的尺寸及其允許偏差應(yīng)符合表的規(guī)定經(jīng)雙方協(xié)商可提供其他規(guī)格及允許

..1。,

偏差的鉑靶

。

344鉑靶的幾何公差平行度垂直度等若需方有特殊要求可按技術(shù)協(xié)議或

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