標準解讀

《YS/T 1063-2015 鉬靶材》是一項針對鉬靶材料制定的標準，適用于濺射沉積工藝中使用的鉬靶材。該標準詳細規(guī)定了鉬靶材的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和貯存等方面的內(nèi)容。

根據(jù)標準，鉬靶材按照純度分為不同級別，主要成分是鉬，同時對雜質(zhì)元素如鐵、銅、鎳等的含量有嚴格限制。這些化學(xué)成分的要求確保了鉬靶材在特定應(yīng)用中的性能表現(xiàn)。此外，標準還對鉬靶材的物理性能提出要求，包括密度、硬度、導(dǎo)電率等，這些都是評估材料是否適合用于制造高質(zhì)量薄膜的關(guān)鍵指標。

對于尺寸公差與表面質(zhì)量，該標準也給出了明確規(guī)定，以保證鉬靶材能夠滿足不同設(shè)備的需求。例如，在平面度、粗糙度方面都有具體數(shù)值范圍，這直接影響到最終產(chǎn)品的質(zhì)量和一致性。

試驗方法部分涵蓋了化學(xué)分析方法、力學(xué)性能測試及無損檢測技術(shù)等，旨在通過科學(xué)手段驗證產(chǎn)品是否符合上述各項技術(shù)要求。其中，化學(xué)成分分析通常采用光譜法或其他認可的方法進行；而力學(xué)性能則可能涉及拉伸試驗、硬度測量等。

檢驗規(guī)則方面，本標準明確了抽樣方案、合格判定條件等內(nèi)容，指導(dǎo)生產(chǎn)者如何實施有效的質(zhì)量控制過程。只有當(dāng)所有規(guī)定的檢查項目均達到要求時，才能認定一批鉬靶材為合格品。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2015-04-30 頒布
  • 2015-10-01 實施
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文檔簡介

ICS77160

H72.

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標準

YS/T1063—2015

鉬靶材

Molybdenumtarget

2015-04-30發(fā)布2015-10-01實施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T1063—2015

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標準由全國有色金屬標準化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC243)。

本標準起草單位西安瑞福萊鎢鉬有限公司北京天龍鎢鉬科技股份有限公司寧波江豐電子材料

:、、

股份有限公司北礦新材科技有限公司湖南有色新材料科技有限公司宜興市科興合金材料有限公司

、、、、

有研億金新材料有限公司

。

本標準主要起草人淡新國侯軍濤李長亮蘇國平王學(xué)澤劉家均李鵬俞葉熊曉東

:、、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1063—2015

鉬靶材

1范圍

本標準規(guī)定了濺射鍍膜用鉬靶材的要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸貯存質(zhì)量證明書

、、、、、、、

和合同或訂貨單內(nèi)容

()。

本標準適用于采用粉末冶金燒結(jié)方法和燒結(jié)后再壓力加工方法制造的鉬靶材該靶材主要適用于

,

光伏太陽能面板平面顯示器和觸摸屏面板制造等行業(yè)

、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

鉬及鉬合金板

GB/T3876

鎢鉬條密度測定方法

GB/T4196、

鎢鉬及其合金的燒結(jié)坯條棒材晶粒度測試方法

GB/T4197、、

所有部分鉬化學(xué)分析方法

GB/T4325()

鉬及鉬合金棒

GB/T17792

濺射靶材背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗方法

YS/T837-

接觸式超聲縱波直射探傷方法

JB/T4009

3要求

31產(chǎn)品分類

.

產(chǎn)品按供貨狀態(tài)分為燒結(jié)態(tài)和壓力加工態(tài)兩類其制造方法供貨狀態(tài)及形狀見表

,、1。

表1產(chǎn)品制造方法供貨狀態(tài)及形狀

、

制造方法供貨狀態(tài)形狀

燒結(jié)機加工燒結(jié)態(tài)

—矩形管形

燒結(jié)壓力加工再結(jié)晶退火機加工壓力加工態(tài)、

———

32化學(xué)成分

.

靶材的化學(xué)成分應(yīng)符合表的規(guī)定

2。

33密度

.

燒結(jié)態(tài)靶材的密度應(yīng)大于3壓力加工態(tài)靶材的密度應(yīng)大于3

9.6g/cm;10.0g/cm。

34晶粒尺寸

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