中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF1100—2016

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforFlatEqualThicknessInterferometers

2016-11-30發(fā)布2017-05-30實(shí)施

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中華人民共和國(guó)

國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

JJF1100—2016

國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

*

中國(guó)質(zhì)檢出版社出版發(fā)行

北京市朝陽(yáng)區(qū)和平里西街甲號(hào)

2(100029)

北京市西城區(qū)三里河北街號(hào)

16(100045)

網(wǎng)址

:

服務(wù)熱線

:400-168-0010

年月第一版

20175

*

書號(hào)

:155026·J-3437

版權(quán)專有侵權(quán)必究

JJF1100—2016

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范??

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代?替JJF1100—2003?

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FlatEqualThicknessInterferometers

歸口單位全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)

:

主要起草單位中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

:

中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

參加起草單位中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

:

中測(cè)測(cè)試科技有限公司

本規(guī)范委托全國(guó)幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋

JJF1100—2016

本規(guī)范主要起草人

:

冉慶中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

張恒中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

趙小萍中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

康巖輝中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院

()

參加起草人

:

吳時(shí)彬中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所

()

徐德宇中國(guó)測(cè)試技術(shù)研究院

()

卿光亞中測(cè)測(cè)試科技有限公司

()

JJF1100—2016

目錄

引言

………………………(Ⅱ)

范圍

1……………………(1)

引用文件

2………………(1)

概述

3……………………(1)

計(jì)量特性

4………………(3)

干涉條紋間距測(cè)量的重復(fù)性

4.1………(3)

測(cè)微目鏡的示值誤差

4.2………………(3)

物鏡系統(tǒng)引起的干涉條紋彎曲量

4.3…………………(3)

儀器的示值誤差

4.4……………………(3)

校準(zhǔn)條件

5………………(3)

環(huán)境條件

5.1……………(3)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)及其他設(shè)備

5.2…………………(3)

校準(zhǔn)方法

6………………(4)

干涉條紋間距測(cè)量的重復(fù)性

6.1………(4)

測(cè)微目鏡的示值誤差

6.2………………(4)

物鏡系統(tǒng)引起的干涉條紋彎曲量

6.3…………………(4)

儀器的示值誤差

6.4……………………(5)

校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)

7………………………(5)

復(fù)校時(shí)間間隔

8…………(5)

附錄平面等厚干涉條紋測(cè)量方法的圖解與簡(jiǎn)介

A…………………(6)

附錄平面等厚干涉儀示值誤差校準(zhǔn)不確定度評(píng)定示例

B…………(7)

附錄校準(zhǔn)證書內(nèi)頁(yè)信息及格式

C……………………(10)

Ⅰ

JJF1100—2016

引言

國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則通用計(jì)量術(shù)語(yǔ)及

JJF1071—2010《》、JJF1001—2011《

定義和測(cè)量不確定度評(píng)定與表示共同構(gòu)成支撐本校準(zhǔn)規(guī)范修訂

》JJF1059.1—2012《》

工作的基礎(chǔ)性系列規(guī)范

。

與平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范相比本規(guī)范除編輯性修改外主

JJF1100—2003《》,,

要技術(shù)變化如下

:

本規(guī)范取消了按儀器示值誤差對(duì)平面等厚干涉儀分級(jí)

———;

本規(guī)范取消了不帶標(biāo)準(zhǔn)平面平晶平面等厚干涉儀的示值誤差可以不測(cè)量這

———“”

條規(guī)定

;

本規(guī)范增加了附錄平面等厚干涉條紋測(cè)量方法的圖解與簡(jiǎn)介

———A:;

本規(guī)范中平面等厚干涉儀示值誤差的測(cè)量推薦由二塊?一等標(biāo)準(zhǔn)平面

———150mm

平晶按其兩測(cè)量截面一一對(duì)應(yīng)測(cè)量方法得到并保留原規(guī)范用三塊二等平面平晶互檢

,

方法

;

本規(guī)范取消復(fù)校時(shí)間間隔中建議一般不超過(guò)年條款校準(zhǔn)時(shí)間間隔由用

———“1”,

戶根據(jù)自身企業(yè)情況確定

。

本規(guī)范的歷次版本發(fā)布情況

:

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

———JJF1100—2003《》;

平面等厚干涉儀

———JJG336—1983《》。

Ⅱ

JJF1100—2016

平面等厚干涉儀校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于平面等厚干涉儀的校準(zhǔn)

。

2引用文件

本規(guī)范引用下列文件

:

平晶

JJG28—2000

平面平晶

JB/T7401—1994

凡是注日