標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 6620-1995 硅片翹曲度非接觸式測(cè)試方法》相對(duì)于《GB 6620-1986》,主要在以下幾個(gè)方面進(jìn)行了更新和調(diào)整:
首先,在標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)上,從GB變更為GB/T,這一變化意味著該標(biāo)準(zhǔn)由強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)為推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。這種轉(zhuǎn)變通常反映了行業(yè)或技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)對(duì)于標(biāo)準(zhǔn)化要求的更加靈活的態(tài)度。
其次,新版本對(duì)術(shù)語(yǔ)定義進(jìn)行了細(xì)化和完善,確保了與國(guó)際相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的一致性和準(zhǔn)確性。這有助于提高測(cè)試結(jié)果的可比性,并促進(jìn)國(guó)際貿(mào)易和技術(shù)交流。
再者,《GB/T 6620-1995》增加了關(guān)于測(cè)試設(shè)備的要求,包括但不限于光源、探測(cè)器等關(guān)鍵組件的技術(shù)參數(shù)規(guī)定。這些新增內(nèi)容旨在規(guī)范測(cè)試條件,減少因設(shè)備差異導(dǎo)致的數(shù)據(jù)偏差,從而保證測(cè)量結(jié)果的一致性和可靠性。
此外,新版標(biāo)準(zhǔn)還明確了具體的測(cè)試步驟及數(shù)據(jù)處理方法,提供了更詳細(xì)的指導(dǎo)信息,幫助使用者正確執(zhí)行實(shí)驗(yàn)操作并準(zhǔn)確計(jì)算出硅片的翹曲度值。
如需獲取更多詳盡信息,請(qǐng)直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。
....
查看全部
- 被代替
- 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替,建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 6620-2009
- 1995-04-18 頒布
- 1995-12-01 實(shí)施


文檔簡(jiǎn)介
UDC.669.782-415:620:173:26H21中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T6620-1995硅片翹曲度非接觸式測(cè)試方法Testmethodformeasuringwarponsiliconslicesbynoncontactscanning1995-04-18發(fā)布1995-12-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)硅片翹曲度非接觸式測(cè)試方法CB/T6620-1995Testmethodrormeasuringwarponsilicon代替6620-86sltcesbynoncontactscanning主題內(nèi)客與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單品切割片、研磨片、拋光片(以下筒稱硅片)翹曲度的非接觸式測(cè)量方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量直徑大于50mm,厚度為150~1000m的圓形硅片的翹曲度。本標(biāo)準(zhǔn)也適用于測(cè)量其他半導(dǎo)體圓片的翹曲度方法原理硅片置于基準(zhǔn)環(huán)的3個(gè)支點(diǎn)上,3支點(diǎn)形成一基準(zhǔn)平面。硅片上、下表面相對(duì)于測(cè)量?jī)x的一對(duì)探頭沿規(guī)定路徑同時(shí)進(jìn)行掃描,成對(duì)地給出上、下探頭與硅片最近表面之間的距離,求其一系列差值。差值中最大值與最小值相減除以2,所得數(shù)值表示硅片翹曲度。掃描路徑如圖1所示。翹曲度的示意圖如圖2所示。一掃描制形圖1測(cè)量掃描路徑圖國(guó)家技
溫馨提示
- 1. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)文本僅供個(gè)人學(xué)習(xí)、研究之用,未經(jīng)授權(quán),嚴(yán)禁復(fù)制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡(luò)傳播等,侵權(quán)必究。
- 2. 本站所提供的標(biāo)準(zhǔn)均為PDF格式電子版文本(可閱讀打?。驍?shù)字商品的特殊性,一經(jīng)售出,不提供退換貨服務(wù)。
- 3. 標(biāo)準(zhǔn)文檔要求電子版與印刷版保持一致,所以下載的文檔中可能包含空白頁(yè),非文檔質(zhì)量問(wèn)題。
最新文檔
- 機(jī)場(chǎng)車輛機(jī)坪作業(yè)安全規(guī)范知識(shí)測(cè)試題附答案
- 儀器分析分類題庫(kù)及答案
- 心靈驛站高考試題及答案
- 2025年生物高中競(jìng)賽真題及答案
- 化學(xué)與航天強(qiáng)國(guó)戰(zhàn)略(推進(jìn)劑)聯(lián)系試題
- 化學(xué)模型(原子、平衡)認(rèn)知水平測(cè)評(píng)試題
- 古代詩(shī)人考試題目及答案
- 供電保障考試題目及答案
- 2025年高考物理“專項(xiàng)突破”針對(duì)性強(qiáng)化試題(一)
- 杭二模擬考試題及答案
- 一二年級(jí)科學(xué)試卷及答案
- 2025-2030中國(guó)脫硝催化劑行業(yè)市場(chǎng)發(fā)展趨勢(shì)與前景展望戰(zhàn)略研究報(bào)告
- 水手船員考試題及答案
- GB/T 45356-2025無(wú)壓埋地排污、排水用聚丙烯(PP)管道系統(tǒng)
- 眼內(nèi)炎的預(yù)防控制措施
- 2025年度化肥生產(chǎn)設(shè)備租賃與維護(hù)合同書
- 廣東學(xué)校安全條例課件
- 畢氏族譜完整版本
- 中華民族共同體概論教案第十二講-民族危亡與中華民族意識(shí)覺醒
- ICU患者的護(hù)理常規(guī)
- 六年級(jí)語(yǔ)文上冊(cè)第三單元習(xí)作-讓生活更美好課件
評(píng)論
0/150
提交評(píng)論