標(biāo)準(zhǔn)解讀
GB/T 37254-2018《高純碳化硅 微量元素的測定》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純碳化硅材料中多種微量元素含量測定的方法。這些微量元素包括但不限于鐵(Fe)、鋁(Al)、鈣(Ca)、鎂(Mg)等雜質(zhì)元素,它們在半導(dǎo)體工業(yè)和電子工業(yè)等領(lǐng)域中的應(yīng)用至關(guān)重要,因?yàn)榧词故呛艿蜐舛鹊碾s質(zhì)也可能對最終產(chǎn)品的性能產(chǎn)生顯著影響。
根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn),樣品處理采用濕法消解技術(shù),即將一定量的高純碳化硅粉末與強(qiáng)酸混合,在高溫條件下使樣品溶解,從而將待測元素轉(zhuǎn)化為可溶性鹽的形式。之后,通過電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法(ICP-AES)或電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)進(jìn)行定量分析。這兩種方法都具有較高的靈敏度和準(zhǔn)確性,能夠滿足對于微量甚至痕量級元素檢測的需求。
此外,標(biāo)準(zhǔn)還詳細(xì)描述了實(shí)驗(yàn)所需儀器設(shè)備的基本要求、試劑的選擇與配制、操作步驟及注意事項(xiàng)等內(nèi)容,并給出了不同元素的具體測定條件。同時(shí),為了保證測試結(jié)果的可靠性,GB/T 37254-2018也制定了質(zhì)量控制措施,比如使用已知濃度的標(biāo)準(zhǔn)溶液來進(jìn)行校準(zhǔn)曲線繪制,以及定期開展實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部比對實(shí)驗(yàn)以驗(yàn)證方法的有效性。
該文件適用于從事高純碳化硅生產(chǎn)、研究及相關(guān)領(lǐng)域工作的單位和個(gè)人參考執(zhí)行,有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量管理水平,促進(jìn)相關(guān)行業(yè)健康發(fā)展。
如需獲取更多詳盡信息,請直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標(biāo)準(zhǔn)文檔。
....
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2018-12-28 頒布
- 2019-09-01 實(shí)施



文檔簡介
ICS7104050
A43..
中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)
GB/T37254—2018
高純碳化硅微量元素的測定
Highpuritysiliconcarbide—Determinationoftraceelements
2018-12-28發(fā)布2019-09-01實(shí)施
國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布
中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
GB/T37254—2018
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標(biāo)準(zhǔn)由中國建筑材料聯(lián)合會提出
。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國工業(yè)陶瓷標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口
(SAC/TC194)。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所寧波伏爾肯機(jī)械密封件制造有限公司
:、。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人陳奕睿鄔國平朱燕屈海云汪正鄒慧君黃偉峰謝方民
:、、、、、、、。
Ⅰ
GB/T37254—2018
高純碳化硅微量元素的測定
警示———使用本標(biāo)準(zhǔn)的人員應(yīng)有正規(guī)實(shí)驗(yàn)室工作的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)本標(biāo)準(zhǔn)并未指出所有可能的安全問
。
題使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈WC符合國家有關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件
。,。
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法和電感耦合等離子體質(zhì)譜
(ICP-OES)(ICP-
法測定高純碳化硅中微量元素含量的方法
MS)。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于碳化硅質(zhì)量分?jǐn)?shù)含量大于或等于的高純碳化硅材料中鋁砷鈣鉻銅鐵
99.9%、、、、、、
汞鉀鎂錳鈉鎳鉛硫鈦鋅等種元素的測定各元素的測定范圍見表以質(zhì)量分?jǐn)?shù)計(jì)
、、、、、、、、、16。1()。
表1元素的測定范圍
元素測定范圍元素測定范圍
/%/%
鋁鎂
(Al)0.0001~0.1(Mg)0.0001~0.1
砷錳
(As)0.0001~0.1(Mn)0.0001~0.1
鈣鈉
(Ca)0.0001~0.1(Na)0.0001~0.1
鉻鎳
(Cr)0.0001~0.1(Ni)0.0001~0.1
銅鉛
(Cu)0.0001~0.1(Pb)0.0001~0.1
鐵硫
(Fe)0.0001~0.1(S)0.001~0.1
汞鈦
(Hg)0.0005~0.1(Ti)0.0001~0.1
鉀鋅
(K)0.0001~0.1(Zn)0.0001~0.1
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
化學(xué)試劑雜質(zhì)測定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備
GB/T602
分析實(shí)驗(yàn)室用水規(guī)格和試驗(yàn)方法
GB/T6682
3原理
31ICP-OES法
.
樣品用碳酸鈉硼砂高溫熔融分解或者用酸加壓溶解后在電感耦合等離子體炬焰中激發(fā)發(fā)射出
、,,
所含元素的特征譜線根據(jù)待測元素特征譜線的強(qiáng)度測定相應(yīng)元素的含量
,。
32ICP-MS法
.
樣品用酸加壓溶解后在電感耦合等離子體炬焰中激發(fā)電離后的離子通過四極桿分離后由光電
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