ICS7110020

G86..

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T34091—2017

電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

Gasforelectronicindustry—Hexafluoroethane

2017-07-31發(fā)布2017-11-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T34091—2017

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位浙江省化工研究院有限公司廣東華特氣體股份有限公司四川中測(cè)標(biāo)物科技有

:、、

限公司高麥儀器公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司東莞市聯(lián)臣電

、、、、

子科技有限公司國(guó)家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心福建天津長(zhǎng)蘆華信化工股份有限公司

、()、、

中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人史婉君廖恒易杜漢盛白占旗方正潘義牛艷東方華王鴻陳熔林宇巍

:、、、、、、、、、、、

鄧建平李健周鵬云

、、。

Ⅰ

GB/T34091—2017

電子工業(yè)用氣體六氟乙烷

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用六氟乙烷的技術(shù)要求試驗(yàn)方法包裝標(biāo)志貯運(yùn)及安全

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于工業(yè)用六氟乙烷經(jīng)精制提純而得的高純六氟乙烷產(chǎn)品主要在電子工業(yè)等離子蝕刻

。

工藝中作為蝕刻氣體或作為電子器元件清洗劑

。

分子式

:C2F6。

相對(duì)分子質(zhì)量按年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量

:138.0124(2013)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶

GB/T5099

氣體分析微量水分的測(cè)定第部分電解法

GB/T5832.11:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

特種氣體儲(chǔ)存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

TSGR0006

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例年版

(2002)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例年版

(2009)

3技術(shù)要求

六氟乙烷的質(zhì)量應(yīng)符合表的要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

六氟乙烷純度體積分?jǐn)?shù)-2

(C2F6)()/10≥99.999

氫含量體積分?jǐn)?shù)-6

(H2)()/10<0.5

氧氬含量體積分?jǐn)?shù)-6

(+)(O2+Ar)()/10<1

氮含量體積分?jǐn)?shù)-6

(N2)()/10<