標(biāo)準(zhǔn)解讀
《GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化鎵襯底》是一項(xiàng)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),它針對(duì)用于LED外延生長(zhǎng)的磷化鎵(GaP)襯底材料制定了詳細(xì)的技術(shù)要求和測(cè)試方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于以磷化鎵作為基材生產(chǎn)的各種類(lèi)型的LED外延片制造過(guò)程中的質(zhì)量控制。
標(biāo)準(zhǔn)首先定義了相關(guān)術(shù)語(yǔ)與定義,明確了“磷化鎵襯底”、“位錯(cuò)密度”等專(zhuān)業(yè)詞匯的確切含義。接著,在技術(shù)要求部分,對(duì)磷化鎵襯底的關(guān)鍵性能指標(biāo)進(jìn)行了規(guī)定,包括但不限于尺寸精度、表面粗糙度、晶體完整性以及電學(xué)特性等方面的要求。例如,對(duì)于直徑小于等于兩英寸的圓片,其厚度偏差不應(yīng)超過(guò)±0.05mm;而直徑大于兩英寸但不超過(guò)四英寸時(shí),則允許的最大厚度偏差放寬至±0.1mm。
此外,《GB/T 30855-2014》還列出了詳細(xì)的試驗(yàn)方法來(lái)檢測(cè)上述各項(xiàng)指標(biāo)是否達(dá)標(biāo)。這些方法涵蓋了外觀檢查、幾何參數(shù)測(cè)量、X射線(xiàn)衍射分析等多個(gè)方面,確保能夠全面準(zhǔn)確地評(píng)估磷化鎵襯底的質(zhì)量狀況。通過(guò)采用標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試流程,可以有效保證不同廠家生產(chǎn)的產(chǎn)品之間具有良好的可比性和一致性。
最后,該文件也提供了關(guān)于包裝、標(biāo)志及運(yùn)輸?shù)确矫娴闹笇?dǎo)原則,旨在保護(hù)產(chǎn)品在整個(gè)供應(yīng)鏈過(guò)程中免受損害,并便于用戶(hù)識(shí)別和使用。
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- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2014-07-24 頒布
- 2015-04-01 實(shí)施



文檔簡(jiǎn)介
ICS29045
H83.
中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
GB/T30855—2014
LED外延芯片用磷化鎵襯底
GaPsubstratesforLEDepitaxialchips
2014-07-24發(fā)布2015-04-01實(shí)施
中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布
中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
GB/T30855—2014
前言
本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)及材料分技術(shù)委員會(huì)
(SAC/TC203)(SAC/TC
共同提出并歸口
203/SC2)。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所有研光電新材料有限公司云南中科鑫圓晶體材
:、、
料有限公司
。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人趙有文提劉旺林泉惠峰趙堅(jiān)強(qiáng)
:、、、、。
Ⅰ
GB/T30855—2014
LED外延芯片用磷化鎵襯底
1范圍
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了外延芯片用磷化鎵單晶襯底片以下簡(jiǎn)稱(chēng)襯底的要求檢驗(yàn)方法以及標(biāo)志包
LED()、、
裝運(yùn)輸儲(chǔ)存質(zhì)量證明書(shū)與訂貨單或合同內(nèi)容
、、、()。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于外延芯片的磷化鎵單晶襯底
LED。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
包裝儲(chǔ)運(yùn)圖示標(biāo)志
GB/T191
半導(dǎo)體單晶晶向測(cè)定方法
GB/T1555
計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序第部分按接收質(zhì)量限檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃
GB/T2828.11:(AQL)
非本征半導(dǎo)體單晶霍爾遷移率和霍爾系數(shù)測(cè)量方法
GB/T4326
半導(dǎo)體硅片電阻率及硅薄膜層電阻測(cè)試方法非接觸渦流法
GB/T6616
硅片厚度和總厚度變化測(cè)試方法
GB/T6618
硅片翹曲度非接觸式測(cè)試方法
GB/T6620
硅片表面平整度測(cè)試方法
GB/T6621
硅拋光片表面質(zhì)量目測(cè)檢驗(yàn)方法
GB/T6624
硅及其他電子材料晶片參考面長(zhǎng)度測(cè)量方法
GB/T13387
硅片參考面結(jié)晶學(xué)取向射線(xiàn)測(cè)試方法
GB/T13388X
硅片直徑測(cè)量方法
GB/T14140
半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)
GB/T14264
半導(dǎo)體材料牌號(hào)表示方法
GB/T14844
磷化鎵單晶片規(guī)范
GJB3076—1997
3術(shù)語(yǔ)和定義
界定的術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件
GB/T14264。
4要求
41分類(lèi)
.
磷化鎵襯底按導(dǎo)電類(lèi)型分為型和型兩種類(lèi)型
np。
42牌號(hào)
.
磷化鎵襯底牌號(hào)
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