超精密加工與納米加工技術(shù)背景20世紀(jì)60年代為了適應(yīng)核能、大規(guī)模集成電路、激光和航天等尖端技術(shù)的需要而發(fā)展起來(lái)的精度極高的加工技術(shù)。超精密加工的精度比傳統(tǒng)的精密加工提高了一個(gè)以上的數(shù)量級(jí)。到20世紀(jì)80年代，加工尺寸精度可達(dá)10納米(1×10-8米)，表面粗糙度達(dá)1納米。超精密加工對(duì)工件材質(zhì)、加工設(shè)備、工具、測(cè)量和環(huán)境等條件都有特殊的要求，需要綜合應(yīng)用精密機(jī)械、精密測(cè)量、精密伺服系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制以及其他先進(jìn)技術(shù)。工件材質(zhì)必須極為細(xì)致均勻，并經(jīng)適當(dāng)處理以消除內(nèi)部殘余應(yīng)力,保證高度的尺寸穩(wěn)定性,防止加工后發(fā)生變形。加工設(shè)備要有極高的運(yùn)動(dòng)精度，導(dǎo)軌直線性和主軸回轉(zhuǎn)精度要達(dá)到0.1微米級(jí),微量進(jìn)給和定位精度要達(dá)到0.01微米級(jí)。對(duì)環(huán)境條件要求嚴(yán)格，須保持恒溫、恒濕和空氣潔凈，并采取有效的防振措施。加工系統(tǒng)的系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差都應(yīng)控制在0.1微米級(jí)或更小。這些條件是靠綜合應(yīng)用精密機(jī)械、精密測(cè)量、精密伺服系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制等各種先進(jìn)技術(shù)獲得的。。通常，按加工精度劃分，機(jī)械加工可分為一般加工、精密加工、超精密加工三個(gè)階段。目前，精密加工是指加工精度為1~0.1μm，表面粗糙度為Ra0.1~0.01μm的加工技術(shù)，但這個(gè)界限是隨著加工技術(shù)的進(jìn)步不斷變化的，今天的精密加工可能就是明天的一般加工。發(fā)展歷史20世紀(jì)50年代至80年代為技術(shù)開(kāi)創(chuàng)期。20世紀(jì)50年代末，出于航天、國(guó)防等尖端技術(shù)發(fā)展的需要，美國(guó)率先發(fā)展了超精密加工技術(shù)，開(kāi)發(fā)了金剛石刀具超精密切削——單點(diǎn)金剛石切削技術(shù)，又稱(chēng)為“微英寸技術(shù)”，用于加工激光核聚變反射鏡、戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈及載人飛船用球面、非球面大型零件等。從1966年起，美國(guó)的unionCarbide公司、荷蘭Philips公司和美國(guó)LawrenceLivemoreLaboratories陸續(xù)推出各自的超精密金剛石車(chē)床，但其應(yīng)用限于少數(shù)大公司與研究單位的試驗(yàn)研究，并以國(guó)防用途或科學(xué)研究用途的產(chǎn)品加工為主。這一時(shí)期，金剛石車(chē)床主要用于銅、鋁等軟金屬的加工，也可以加工形狀較復(fù)雜的工件，但只限于軸對(duì)稱(chēng)形狀的工件例如非球面鏡等。20世紀(jì)80年代至90年代為民間工業(yè)應(yīng)用初期。在20世紀(jì)80年代，美國(guó)政府推動(dòng)數(shù)家民間公司MooreSpecialTool和PneumoPrecision公司開(kāi)始超精密加工設(shè)備的商品化，而日本數(shù)家公司如Toshiba和Hitachi與歐洲的Cmfield大學(xué)等也陸續(xù)推出產(chǎn)品，這些設(shè)備開(kāi)始面向一般民間工業(yè)光學(xué)組件商品的制造。但此時(shí)的超精密加工設(shè)備依然高貴而稀少，主要以專(zhuān)用機(jī)的形式訂作。在這一時(shí)期，除了加工軟質(zhì)金屬的金剛石車(chē)床外，可加工硬質(zhì)金屬和硬脆性材料的超精密金剛石磨削也被開(kāi)發(fā)出來(lái)。該技術(shù)特點(diǎn)是使用高剛性機(jī)構(gòu)，以極小切深對(duì)脆性材料進(jìn)行延性研磨，可使硬質(zhì)金屬和脆性材料獲得納米級(jí)表面粗糙度。當(dāng)然，其加工效率和機(jī)構(gòu)的復(fù)雜性無(wú)法和金剛石車(chē)床相比。20世紀(jì)80年代后期，美國(guó)通過(guò)能源部“激光核聚變項(xiàng)目”和陸、海、空三軍“先進(jìn)制造技術(shù)開(kāi)發(fā)計(jì)劃”對(duì)超精密金剛石切削機(jī)床的開(kāi)發(fā)研究，投入了巨額資金和大量人力，實(shí)現(xiàn)了大型零件的微英寸超精密加工。美國(guó)LLNL國(guó)家實(shí)驗(yàn)室研制出的大型光學(xué)金剛石車(chē)床成為超精密加工史上的經(jīng)典之作。這是一臺(tái)最大加工直徑為1．625m的立式車(chē)床，定位精度可達(dá)28nm，借助在線誤差補(bǔ)償能力，可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)度超過(guò)1m、而直線度誤差只有士25nm的加工。20世紀(jì)90年代至今為民間工業(yè)應(yīng)用成熟期。

從1990年起，由于汽車(chē)、能源、醫(yī)療器材、信息、光電和通信等產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，超精密加工機(jī)的需求急劇增加，在工業(yè)界的應(yīng)用包括非球面光學(xué)鏡片、Fresnel鏡片、超精密模具、磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器磁頭、磁盤(pán)基板加工、半導(dǎo)體晶片切割等。在這一時(shí)期，超精密加工設(shè)備的相關(guān)技術(shù)，例如控制器、激光干涉儀、空氣軸承精密主軸、空氣軸承導(dǎo)軌、油壓軸承導(dǎo)軌、摩擦驅(qū)動(dòng)進(jìn)給軸也逐漸成熟，超精密加工設(shè)備變?yōu)楣I(yè)界常見(jiàn)的生產(chǎn)機(jī)器設(shè)備，許多公司，甚至是小公司也紛紛推出量產(chǎn)型設(shè)備。此外，設(shè)備精度也逐漸接近納米級(jí)水平，加工行程變得更大，加工應(yīng)用也逐漸增廣，除了金剛石車(chē)床和超精密研磨外，超精密五軸銑削和飛切技術(shù)也被開(kāi)發(fā)出來(lái)，并且可以加工非軸對(duì)稱(chēng)非球面的光學(xué)鏡片。發(fā)展趨勢(shì)

精密化

智能化

自動(dòng)化

高效化

信息化

柔性化

集成化

超精密加工關(guān)鍵技術(shù)超精密機(jī)床技術(shù)對(duì)超精密機(jī)床的要求：高精度：幾何精度、定位精度和重復(fù)定位精度、分辨率。高剛度：靜剛度、動(dòng)剛度、接觸剛度、工藝系統(tǒng)剛度高穩(wěn)定性：長(zhǎng)時(shí)間保持精度，抗干擾，工作穩(wěn)定。耐磨性、抗振性、無(wú)熱變形高自動(dòng)化：納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工，即原子和分子的去除、搬遷和重組是納米技術(shù)主要內(nèi)容之一。納米加工技術(shù)擔(dān)負(fù)著支持最新科學(xué)技術(shù)步的重要使命。國(guó)防戰(zhàn)略發(fā)展的需要和納米級(jí)精度產(chǎn)品高利潤(rùn)市場(chǎng)的吸引，促使了納米加工技術(shù)產(chǎn)生并迅速發(fā)展。例如，現(xiàn)代武器慣導(dǎo)儀表的精密陀螺、激光核聚變反射鏡、大型天體望遠(yuǎn)鏡反射鏡和多面棱鏡、大規(guī)模集成電路硅片、計(jì)算機(jī)磁盤(pán)及復(fù)印機(jī)磁鼓等都需要進(jìn)行納米級(jí)加工。納米加工技術(shù)的發(fā)展也促進(jìn)了機(jī)械、電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、傳感器和測(cè)量技術(shù)以及材料科學(xué)的發(fā)展。納米加工技術(shù)是一門(mén)新興的綜合性加工技術(shù)。它集成了現(xiàn)代機(jī)械學(xué)、光學(xué)、電子、計(jì)算機(jī)、測(cè)量及材料等先進(jìn)技術(shù)成就，使得加工的精度從20世紀(jì)60年代初的微米級(jí)提高到目前的10nm級(jí)，在短短幾十年內(nèi)使產(chǎn)品的加工精度提高了1～2個(gè)數(shù)量級(jí)，極大的改善了產(chǎn)品的性能和可靠性。目前，納米加工技術(shù)已成為國(guó)家科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。隨著各種新型功能陶瓷材料的不斷研制成功，以及用這些材料作為關(guān)鍵元件的各類(lèi)裝置的高性能化，要求功能陶瓷元件的加工精度達(dá)到納米級(jí)甚至更高，這些都有力地促進(jìn)了納米加工技術(shù)的進(jìn)步。近年來(lái)，納米技術(shù)的出現(xiàn)促使納米加工向其極限加工精度—原子級(jí)加工進(jìn)行挑戰(zhàn)。什么是納米加工？納米級(jí)精度的加工和納米級(jí)表層的加工，即原子和分子的去除、搬遷和重組。是納米技術(shù)主要內(nèi)容之一。精度為3～O．3μm，粗糙度為O．3～O·03μm的叫精密加工；精度為0．3～0．03μm，粗糙度為0．03～0．005μm的叫超精密加工，或亞微米加工；精度為0．03μm（30納米），粗糙度優(yōu)于0．005μm以上的則稱(chēng)為納米（nm）加工。納米加工的實(shí)質(zhì)就是要切斷原子間的結(jié)合，實(shí)現(xiàn)原子或分子的去除，切斷原子間結(jié)合所需要的能量，必然要求超過(guò)該物質(zhì)的原子間結(jié)合能。

納米加工技術(shù)簡(jiǎn)介包括切削加工（精密切削等）、化學(xué)腐蝕（電化學(xué)等）、復(fù)合加工、掃描隧道顯微技術(shù)加工等多種方法納米加工分類(lèi)納米技術(shù)包含下列四個(gè)主要方面：

1、納米材料；⒉、納米動(dòng)力學(xué)；3、納米生物學(xué)和納米藥物學(xué)；4、納米電子學(xué)。納米加工技術(shù)的內(nèi)容納米加工技術(shù)的應(yīng)用幾種新興的納米加工技術(shù)1利用掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡的納米加工技術(shù)2化學(xué)合成方法化學(xué)合成方法是制備納米尺度電子學(xué)器件的另一種途徑——用化學(xué)過(guò)程“自下而上”地把微觀體系的物質(zhì)單元組裝成納米器件。由于用納米探針進(jìn)行機(jī)械合成很難同時(shí)組裝數(shù)目巨大的納米結(jié)構(gòu)和器件，所以研究化學(xué)合成方法非常重要。3聚焦離子束技術(shù)聚焦離子束(FIB)技術(shù)是在電場(chǎng)和磁場(chǎng)的作用下，將離子束聚焦到亞微米甚至納米量級(jí)，通過(guò)偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)及加速系統(tǒng)控制離子束，實(shí)現(xiàn)微細(xì)圖形的檢測(cè)分析和納米結(jié)構(gòu)的無(wú)掩模加工。4準(zhǔn)分子激光直寫(xiě)納米加工技術(shù)準(zhǔn)分子激光(excimerlaser)以其高分辨率、光子能量大、冷加工、“直寫(xiě)”特點(diǎn)、無(wú)環(huán)境污染以及對(duì)加工材料廣泛的適應(yīng)性，使其成為一種重要的MEMs和納米加工