ICS81.060.30H72ZZBAlumiumdopedzincoxidemagnetronsputteringtar浙江省品牌建設(shè)聯(lián)合會發(fā)布IT/ZZB0639—2018前言 12規(guī)范性引用文件 13術(shù)語和定義 14基本要求 15技術(shù)要求 26試驗方法 47檢驗規(guī)則 5 9質(zhì)量承諾 7附錄A（規(guī)范性附錄）氧化鋅鋁靶材失氧率測定方法 8T/ZZB0639—2018本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。本標(biāo)準(zhǔn)由浙江省品牌建設(shè)聯(lián)合會提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)由寧波市標(biāo)準(zhǔn)化研究院牽頭組織制定。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：寧波森利電子材料有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)參與起草單位：寧波市標(biāo)準(zhǔn)化研究院、中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所、國標(biāo)（北京）認(rèn)證有限公司、漢能裝備科技集團(tuán)有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司（排名不分先后）。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：楊曄、周山山、何偉、蘭品軍、朱永明、李翔、宋偉杰、李勇、馬通達(dá)、楊立紅、宋云娜、張鳳戈。本標(biāo)準(zhǔn)由寧波市標(biāo)準(zhǔn)化研究院負(fù)責(zé)解釋。T/ZZB0639—20181氧化鋅鋁磁控濺射靶材本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氧化鋅鋁磁控濺射靶材的術(shù)語和定義、基本要求、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存、質(zhì)量承諾等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于粉末冶金生產(chǎn)的用于磁控濺射沉積節(jié)能Low-E玻璃的功能介質(zhì)層以及薄膜太陽能電池透明電極層等膜層的氧化鋅鋁磁控濺射靶材。2規(guī)范性引用文件下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T191包裝儲運(yùn)圖示標(biāo)志（GB/T191—2008，ISO780：1997，MOD）GB/T1031產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)表面結(jié)構(gòu)輪廓法表面粗糙度參數(shù)及其數(shù)值GB/T1410固體絕緣材料體積電阻率和表面電阻率試驗方法（GB/T1410—2006，IEC60093：1980，GB/T6394金屬平均晶粒度測定方法GB/T7234產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)圓度測量術(shù)語、定義及參數(shù)GB/T7235產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范(GPS)評定圓度誤差的方法半徑變化量測量GB/T8651金屬板材超聲板波探傷方法GB/T11336直線度誤差檢測GB/T11337平面度誤差檢測GB/T11942彩色建筑材料色度測量方法GB/T12969.1鈦及鈦合金管材超聲波探傷方法GB/T13298金屬顯微組織檢驗方法GB/T20967無損檢測目視檢測總則GB/T23768無機(jī)化工產(chǎn)品火焰原子吸收光譜法通則GB/T25995精細(xì)陶瓷密度和顯氣孔率試驗方法（GB/T25995—2010，ISO18754：2003，MOD）GB/T30905無機(jī)化工產(chǎn)品元素含量的測定X射線熒光光譜法YS/T837濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗方法JC/T2201—2013鍍膜玻璃用靶材3術(shù)語和定義JC/T2201—2013界定的術(shù)語和定義適用于本文件。4基本要求T/ZZB0639—201824.1設(shè)計研發(fā)4.1.1具備不同摻雜類型靶材的成分設(shè)計、小尺寸靶材快速制備以及鍍膜與薄膜性能驗證的能力。4.1.2具備批量化納米級粉體原料的表面修飾與高濃度分散的能力。4.1.3具備大尺寸坯體的高致密成型與低溫致密燒結(jié)的能力。4.1.4具備生產(chǎn)優(yōu)化以及提升生產(chǎn)效率的能力。4.2原材料氧化鋅以及氧化鋁原料粉體的化學(xué)成分應(yīng)分別符合表1和表2的規(guī)定。表1氧化鋅粉體原料的化學(xué)成分表表2氧化鋁粉體原料的化學(xué)成分表4.3生產(chǎn)制造具備溫濕度可控的生產(chǎn)廠房；具備燒結(jié)全過程的實時監(jiān)控手段；具備硬脆陶瓷材料的柔性機(jī)加工手段；具備易脆陶瓷靶材在背板以及背管表面高質(zhì)量綁定的能力。4.4檢驗檢測具備靶材密度、靶材電阻率、靶材本體和綁定接觸面超聲波無損探傷等項目的檢測能力。5技術(shù)要求5.1化學(xué)成分5.1.1主要成分T/ZZB0639—201835.1.1.1在典型應(yīng)用的氧化鋅鋁靶材中，氧化鋅和氧化鋁的質(zhì)量比例有如下兩種：a)ZnO:Al2O3=98:2，氧化鋁的質(zhì)量比例偏差為±0.2；b)ZnO:Al2O3=98.85:1.15，氧化鋁的質(zhì)量比例偏差為±0.1。5.1.1.2特殊比例規(guī)格，由供需雙方商定。5.1.2純度和雜質(zhì)5.1.2.1靶材純度應(yīng)不小于99.95wt%。5.1.2.2主要雜質(zhì)成分應(yīng)符合表3的規(guī)定。表3氧化鋅鋁磁控濺射靶材的主要雜質(zhì)成分要求5.2靶材表觀密度和相對密度靶材的表觀密度和相對密度要求見表4所示。表4氧化鋅鋁靶材的表觀密度和相對密度要求wt%%25.3表面質(zhì)量5.3.1應(yīng)無裂紋，無明顯崩邊，無氣孔，且無任何外來夾雜物、缺陷和污染物，接縫處應(yīng)無綁定材料殘留。5.3.2在同一根/支靶材中每一節(jié)靶材之間的顏色色差△Eab*應(yīng)不大于3。5.4內(nèi)部缺陷5.4.1靶材本體缺陷應(yīng)無夾雜，無孔徑大于2mm的孔洞。5.4.2靶材綁定缺陷綁定靶材的有效粘接面積應(yīng)大于靶材和襯管/襯板接觸面積的95%。5.5尺寸規(guī)格T/ZZB0639—201845.5.1尺寸與形位公差靶材包括襯管/襯板，應(yīng)符合圖紙所規(guī)定的尺寸公差和形位公差等要求。5.5.2旋轉(zhuǎn)靶材的尺寸要求在無特殊規(guī)定下，旋轉(zhuǎn)靶材的尺寸要求見表5。表5旋轉(zhuǎn)靶材的尺寸要求5.5.3平面靶材的尺寸要求在無特殊規(guī)定下，平面靶材的尺寸要求見表6。表6平面靶材的尺寸要求≤0.4mm（單塊靶材面積<1m）5.6靶材失氧率氧化鋅鋁靶材的失氧率應(yīng)不大于5%。5.7靶材電阻率5.8晶粒平均直徑晶粒平均直徑應(yīng)不大于20μm，最大晶粒直徑不超過50μm，且晶粒直徑分布大致均勻。6試驗方法6.1化學(xué)成分6.1.1氧化鋅鋁靶材摻雜濃度T/ZZB0639—20185氧化鋅鋁靶材中氧化鋁的摻雜濃度采用GB/T30905規(guī)定的方法進(jìn)行檢驗。6.1.2氧化鋅鋁靶材雜質(zhì)氧化鋅鋁靶材中的雜質(zhì)含量采用GB/T23768規(guī)定的方法進(jìn)行檢驗。6.2靶材密度按GB/T25995的規(guī)定對產(chǎn)品進(jìn)行檢測。6.3表面質(zhì)量6.3.1按照GB/T20967的規(guī)定對產(chǎn)品進(jìn)行表面質(zhì)量檢測。6.3.2按照GB/T11942的規(guī)定測量靶材的色差。6.4內(nèi)部缺陷6.4.1平面靶材的內(nèi)部缺陷參照GB/T8651規(guī)定的方法進(jìn)行測試，旋轉(zhuǎn)靶材的內(nèi)部缺陷參照GB/T12969.1規(guī)定的方法進(jìn)行測試。6.4.2綁定靶材的有效粘接面積采用YS/T837規(guī)定方法進(jìn)行檢驗。6.5尺寸規(guī)格6.5.1靶材尺寸逐件測量，靶材尺寸用直尺、卡尺、角度尺、深度尺和百分表測量。6.5.2旋轉(zhuǎn)靶材和襯管的直度按照GB/T11336的規(guī)定測量。6.5.3平面靶和襯板的平面度按照GB/T11337的規(guī)定測量。6.5.4靶材的表面粗糙度按照GB/T1031的規(guī)定測量。6.5.5旋轉(zhuǎn)靶的同軸度測量，按照GB/T7234的方法檢驗襯管圓度和靶材圓度，并做比較衡量同軸度。6.5.6圓度誤差分析按照GB/T7235的規(guī)定。6.6靶材失氧率氧化鋅鋁靶材的失氧率按照附錄A的規(guī)定進(jìn)行。6.7靶材電阻率樣品按照GB/T1410規(guī)定的方法進(jìn)行測定。6.8晶粒平均直徑樣品參照GB/T13298制備，采用GB/T6394的規(guī)定進(jìn)行晶粒平均直徑檢驗。7檢驗規(guī)則7.1組批每批料應(yīng)由同一配方、同一工藝的產(chǎn)品組成，每一批次不大于800片（節(jié)）。7.2檢驗分類檢驗分為出廠檢驗和型式檢驗。7.3出廠檢驗T/ZZB0639—201867.3.1每根/支產(chǎn)品均進(jìn)行出廠檢驗，經(jīng)質(zhì)檢部門確認(rèn)合格，并出具產(chǎn)品質(zhì)量證明書后方能出廠。7.3.2每批靶材抽樣一份，留樣期為2年。7.3.3出廠檢驗項目見表7的規(guī)定。7.3.4出廠檢驗項目均合格為合格，不合格品不能出廠。7.4型式檢驗7.4.1有下列情況之一時，產(chǎn)品應(yīng)進(jìn)行型式檢驗：a)新產(chǎn)品或老產(chǎn)品轉(zhuǎn)廠生產(chǎn)的試制定型鑒定；b)正式生產(chǎn)后，如結(jié)構(gòu)、材料和工藝等有較大改變，可能影響產(chǎn)品性能時；c)正式生產(chǎn)時，定期或累積一定產(chǎn)量后；d)產(chǎn)品長期停產(chǎn)后，恢復(fù)生產(chǎn)時；e)出廠檢驗結(jié)果與上次型式檢驗有較大差異時。7.4.2型式檢驗項目見表7的規(guī)定。7.4.3型式檢驗在同一件樣品上完成，所有項目合格為型式檢驗合格，否則為不合格。7.5檢測項目出廠檢驗和型式檢驗項目見表7。表7出廠檢驗和型式檢驗項目○√○√√√○√√√√√○√○√○√8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存8.1標(biāo)志8.1.1靶材包裝標(biāo)志按GB/T191的規(guī)定，每個靶材的包裝袋上必須標(biāo)明靶材的種類、生產(chǎn)批號和襯管（板）編號等。8.1.2每根旋轉(zhuǎn)靶材的端部標(biāo)識靶材產(chǎn)品編號，每根襯管有獨(dú)立于靶材的編號，在端口內(nèi)側(cè)的襯管上分別標(biāo)識。T/ZZB0639—201878.1.3每塊平面靶材邊緣部位標(biāo)識靶材產(chǎn)品編號，每塊襯板有獨(dú)立于靶材的編號，在襯板邊緣部位分別標(biāo)識。8.1.4每件出廠的產(chǎn)品都應(yīng)附有質(zhì)量合格證書，證書中應(yīng)標(biāo)明出廠檢驗項目的檢驗結(jié)果，或另附批次檢驗報告。8.2包裝靶材用軟性材料密封真空包裝，旋轉(zhuǎn)靶材兩端做防變形保護(hù)，靶材與靶材之間、靶材與箱子之間使用防護(hù)材料間隔；注意防潮、防銹、防碰撞。8.3運(yùn)輸靶材在運(yùn)輸中應(yīng)防潮、防震、防碰撞，避免重壓，旋轉(zhuǎn)靶應(yīng)防止?jié)L動。8.4貯存靶材應(yīng)密封在真空塑封袋中，貯存于干燥通風(fēng)處。8.5質(zhì)量證明書每批產(chǎn)品應(yīng)附上質(zhì)量證明書，其上應(yīng)標(biāo)明：a)供方名稱及地址；b)產(chǎn)品名稱；c)產(chǎn)品規(guī)格；e)凈重和數(shù)量；f)檢測報告；9質(zhì)量承諾9.1在正常運(yùn)輸、存儲和使用的情況下，自使用者購買之日起一年內(nèi)，因制造質(zhì)量問題發(fā)生損壞或者不能正常工作時，制造商應(yīng)免費(fèi)更換。9.2產(chǎn)品在使用過程中出現(xiàn)任何問題，制造商接到客戶電話和傳真后應(yīng)在24小時內(nèi)作出響應(yīng)。T/ZZB0639—20188（規(guī)范性附錄）氧化鋅鋁靶材失氧率測定方法A.1范圍本附錄規(guī)定了氧化鋅鋁磁控濺射靶材失氧率的測試方法。A.2方法原理A.2.1氧化鋅鋁磁控濺射靶材的失氧率應(yīng)按式（A.1）計算：×100%...............................(A.1)M——理論氧含量，單位為克（gA.2.2由于氧化鋅鋁磁控濺射靶材中氧為基體元素，含量很高，無法準(zhǔn)確測定；本標(biāo)準(zhǔn)采用熱減重的方式測定靶材制備過程中的失氧率，先測定氧化鋅鋁靶材坯體在熱處理前的實際質(zhì)量，然后在空氣氣氛下以5℃/min的速度升溫至燒結(jié)溫度后保溫4h，然后降溫至室溫，再測量經(jīng)過熱處理后的質(zhì)量，推算出靶材的失氧率，按式（A.2）計算：×100%.................................(A.2)W——熱處理前的恒重，單位為克（gA.3儀器設(shè)備儀器設(shè)備包括：a)馬弗爐（控溫精度±5℃);b)天平（感量0.1gc)氧化鋯坩堝。A.4試樣試樣制備要求：T/ZZB0639—20189a)去除氧化鋅鋁靶材坯體中的各種添加劑；b)制樣過程中不能帶入任何影響檢