ICS31.030

CCSL90

SOECC

蘇州市光電產(chǎn)業(yè)商會團體標(biāo)準

T/SOECCXXXX—2025

LCD顯示彩膜用彩色光刻膠性能測試方法

ThetestmethodforperformanceofthecolorphotoresistusedinLCDdisplaycolor

film

（征求意見稿）

2025-XX-XX發(fā)布2025-XX-XX實施

蘇州市光電產(chǎn)業(yè)商會??發(fā)布

LCD顯示彩膜用彩色光刻膠性能測試方法

1范圍

本文件介紹了LCD顯示彩膜用彩色光刻膠本身及成膜性能的測試條件與測試方法。

本文件適用于LCD顯示用彩色光刻膠的制造、質(zhì)量控制、測試與研發(fā)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文

件。

GB/T13173-2021表面活性劑洗滌劑試驗方法

GB/T15357-2014表面活性劑和洗滌劑旋轉(zhuǎn)粘度計測定液體產(chǎn)品的粘度和流動性質(zhì)

GB/T43793.1-2024平板顯示用彩色光刻膠測試方法第1部分：理化性能

3術(shù)語和定義、縮略語

3.1術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1.1

線寬criticaldimension（CD）

光刻過程中所形成的圖形的尺寸。

3.2縮略語

下列縮略語適用于本文件。

CD：關(guān)鍵尺寸（criticaldimension）

VCD：真空干燥（VacuumDrying）

4測試環(huán)境要求

4.1潔凈度要求

制片環(huán)節(jié)需要在百級無塵室進行。

測試環(huán)節(jié)可以在千級無塵室進行。

4.2環(huán)境條件

除非另有規(guī)定，測試應(yīng)在下列條件下進行：

a)環(huán)境溫度：23℃±2℃；

b)相對濕度：30％~70%；

c)大氣壓強：86kPa~106kPa。

1

4.3回溫

樣品取出后放置于常溫環(huán)境下15min。

4.4儲存要求

光刻膠的儲存要求如下：

a)環(huán)境溫度：5℃±5℃；

b)相對濕度：30％~70%。

光刻膠制得的樣片的儲存要求如下：

a)環(huán)境溫度：23℃±2℃；

b)相對濕度：30％~70%。

5測試方法

5.1固含量

5.1.1儀器

電子天平（精度：0.001g）。

5.1.2測試條件

固含量測試條件應(yīng)符合以下規(guī)定：

a)應(yīng)符合測試環(huán)境要求規(guī)定；

b)黃光條件下檢測，可為實驗室中光源加濾光膜，濾除500nm以下的光波。

5.1.3測試步驟

參考GB/T43793.1-2024中5固含量規(guī)定的測試方法，測試步驟如下：

a)使用電子天平稱量培養(yǎng)皿質(zhì)量，精確至1mg，記為m；

b)取1g±0.01g樣品于培養(yǎng)皿中，稱其質(zhì)量，精確至1mg；記為M1；輕輕晃動容器使樣品在培養(yǎng)

皿（直徑60mm）皿底充分攤平，使其鋪滿底蓋并保持液膜厚度均勻；

c)將盛有樣品的培養(yǎng)皿放入已預(yù)先達到測試溫度（110±2℃）的熱風(fēng)循環(huán)烘箱內(nèi)，測試時間為180min

±5min；

d)從烘箱中取出盛有測試樣品的培養(yǎng)皿，放入干燥器中冷卻至室溫，稱其質(zhì)量，精確至1mg，該質(zhì)量

記為M2；

e)測試樣品的固含量以X（質(zhì)量分數(shù)）表示，按公式（1）計算：

（1）

式中:

?=?2???1??×100%

M1——烘干前測試樣品和培養(yǎng)皿的質(zhì)量,單位為克(g)；

m——培養(yǎng)皿的質(zhì)量,單位為克(g)；

M2——烘干后測試樣品和培養(yǎng)皿的質(zhì)量,單位為克(g)。

f)樣品的固含量按步驟a）~步驟e）進行3次測試,或同時進行3個樣品測試，取平均值,保留3位有

效數(shù)字,相對標(biāo)準偏差(RSD)應(yīng)不超過5%。

5.2粘度

5.2.1儀器與試劑

2

a)恒溫水槽（用于保持樣品在溫度25℃±0.1℃以內(nèi)）；

b)旋轉(zhuǎn)粘度計（1mPa·s~105mPa·s，按照JJG1002的規(guī)定檢定和校準黏度計）。

標(biāo)引序號說明：

1——電機；

2——處理中心，提供轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)子型號輸入功能、粘度顯示功能；

3——電機彈簧部件，提供主軸與電機彈簧之間角度偏差測量數(shù)據(jù)給處理中心；

4——溫度測量裝置；

5——保護套；

6——恒溫液體；

7——燒杯；

8——轉(zhuǎn)子。

圖1粘度計工作原理示意圖

5.2.2測試條件

粘度測試條件應(yīng)符合以下規(guī)定：

a)應(yīng)符合測試環(huán)境要求規(guī)定；

b)黃光條件下檢測，可為實驗室中光源加濾光膜，濾除500nm以下的光波。

5.2.3測試步驟

按照以下步驟順序進行測試：

a)按照GB/T13173-2021中第4章的規(guī)定制備和保存均勻的實驗室樣品，在室溫下靜置至空氣泡消除；

b)取出測試樣品，避免產(chǎn)生空氣泡；

c)將盛有測試樣品的容器置于恒溫水箱中，直至測試樣品溫度達到選定的測試溫度；

d)應(yīng)按GB/T15357-2014中6.3的規(guī)定選擇轉(zhuǎn)子、剪切速率和剪切時間；

e)將所選的轉(zhuǎn)子放入測量容器內(nèi)接到轉(zhuǎn)軸上，轉(zhuǎn)子浸在測試樣品中心，測試樣品液面在轉(zhuǎn)子液位標(biāo)線，

并防止轉(zhuǎn)子產(chǎn)生氣泡；

f)選擇適宜的轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)速，使黏度計讀數(shù)在刻度盤的20%~80%范圍內(nèi)；

g)每次測試后，應(yīng)用溶劑將容器和轉(zhuǎn)子清洗、擦拭干凈，應(yīng)使用乙醇溶劑，晾干或吹干后再進行下一

次測試；

h)連續(xù)進行測試黏度，直至3次連續(xù)測試結(jié)果的相對標(biāo)準偏差（RSD）不超過2％。記錄3次測試的粘

度值V1，V2，V3；

i)測試樣品的粘度以V表示，按公式（2）計算：

（）（2）

?=?1+?2+?33

3

式中:

V——平均粘度，單位為毫帕秒(mPa·s)；

V1，V2，V3——實測粘度數(shù)據(jù)，單位為毫帕秒(mPa·s)。

5.3水分

5.3.1儀器或試劑

a)水分儀：

基于卡爾·費休法，利用碘氧化二氧化硫時，需要一定量的水參加反應(yīng)：

在電解過程中，電極反?5應(yīng)?如5?下+：?2+??2+?2?