河北省地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范

JJF（冀）××××—××××

體視顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

CalibrationSpecificationforStereomicroscope

（報(bào)批稿）

××××-××-××發(fā)布××××-××-××

實(shí)施

河北省市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布

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體視顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

1范圍

本規(guī)范適用于體視顯微鏡的校準(zhǔn)。

2引用文件

本規(guī)范引用下列文件：

JJF1059.1-2012《測(cè)量不確定度評(píng)定與表示》

JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫原則》

凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)范；凡是不注日期的引用文件，

其最新版本（包括所有的修改單）適用于本規(guī)范。

3術(shù)語(yǔ)

變倍齊中差：變倍時(shí)像平面的橫向位移。

4概述

體視顯微鏡是通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)將微小物體所成的像放大后，由雙目顯微鏡中兩組同樣的

成像光路，獲得具有立體感覺(jué)的清晰圖像，用于觀察物體的表面形貌及組織結(jié)構(gòu)，對(duì)于目

鏡帶有分劃尺的，可利用分劃尺上的刻度測(cè)量物體的幾何尺寸。

體視顯微鏡按結(jié)構(gòu)形式可分為連續(xù)變倍型、有級(jí)變換型、物鏡卸換型三種，按照技術(shù)

性能可分為普及型、高性能和數(shù)碼體視顯微鏡三種。

1

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圖1高性能體視顯微鏡的外形圖

1—調(diào)焦手輪；2—變倍手輪；3—光源；4—彈性壓片；5—載物臺(tái)；6—物鏡；7—目鏡。

圖2數(shù)碼體視顯微鏡的外形圖

1—數(shù)碼裝置；2—調(diào)焦手輪；3—變倍手輪；4—彈性壓片；5—載物臺(tái)；6—物鏡；7—顯示裝置；

8—目鏡。

5計(jì)量特性

5.1變倍齊中差

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5.2分辨力

5.3物鏡放大倍數(shù)誤差

5.4左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍數(shù)差

6校準(zhǔn)條件

6.1環(huán)境條件

6.1.1溫濕度條件：校準(zhǔn)室內(nèi)溫度為室溫，相對(duì)濕度不大于80%。

6.1.2其他條件：校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無(wú)影響測(cè)量的灰塵、震動(dòng)、氣流和腐蝕性氣體。

6.2校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)用設(shè)備

校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)用設(shè)備見(jiàn)表1。

表1校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)用設(shè)備

序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)設(shè)備

十字分劃目鏡：分度值0.1mm

1變倍齊中差MPE：±0.01mm；

十字分劃板

板號(hào)A4、A5或A7分辨力板（見(jiàn)附錄

2分辨力

A）

十字分劃目鏡：分度值0.1mm

MPE：±0.01mm；

3物鏡放大倍數(shù)誤差

玻璃線紋尺:分度值0.1mm和

0.01mm，MPE：±0.01mm；

倍率計(jì)：分度值0.1mm，MPE：

±0.01mm；

4左右光學(xué)系統(tǒng)放大倍數(shù)差

玻璃線紋尺:分度值0.1mm和

0.01mm，MPE：±0.01mm；

注：也可采用滿足測(cè)量不確定度要求的其它設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)。

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7校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

校準(zhǔn)前，目視檢查體視顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)系統(tǒng)應(yīng)成像清晰，視場(chǎng)內(nèi)不應(yīng)有影響

測(cè)量的霉斑、異物、劃痕等因素，視場(chǎng)范圍內(nèi)照明均勻。顯微鏡左右光學(xué)系統(tǒng)各倍物鏡應(yīng)

從高倍到低倍變換時(shí)不需調(diào)焦，仍能看清物體輪廓。

在確定無(wú)影響計(jì)量特性的因素后，再進(jìn)行校準(zhǔn)。

7.1變倍齊中差

將十字分劃板置于載物臺(tái)上，被檢顯微鏡左側(cè)目鏡筒內(nèi)插入十字分劃目鏡，在顯微鏡

最高倍率下對(duì)分劃板調(diào)焦，調(diào)整目鏡分劃板上的刻度與物方十字分劃板的十字像位于同一

像面，使兩者間無(wú)視差。然后調(diào)整物方分劃板使物方分劃板像的中心與十字分劃目鏡的分

劃板中心重合，從最高倍數(shù)至最低倍數(shù)變換過(guò)程中，找出物方十字分劃線像中心的最大偏

移位置，用十字分劃目鏡測(cè)量其偏移的大小即為左側(cè)目鏡的變倍齊中差△左，按上述測(cè)量

方法測(cè)得右側(cè)目鏡的變倍齊中差△右，取左、右兩側(cè)目鏡所得到的測(cè)量結(jié)果中的較大值作為

變倍齊中差的測(cè)量結(jié)果。

7.2分辨力

選用合適板號(hào)的分辨力板置于載物臺(tái)上，利用調(diào)焦手輪與左右目鏡的視度調(diào)節(jié)圈對(duì)視

場(chǎng)中的分辨力板圖案像調(diào)焦，盡可能使圖案像清晰的面積為最大，觀察圖案中各個(gè)不同線

寬單元中的圖案，記下清晰的圖案中線寬最小的圖案單元的號(hào)碼。

根據(jù)分辨力板號(hào)與圖案單元的號(hào)碼，從附錄A（柵格狀分辨率板線寬表)查出線寬度b

值。依據(jù)式（1）可求出分辨力N。

（線對(duì)/）（1）

1000mm

=2